【課題】基板の全面に対して均一な処理を行えるようにした基板保持具を提供すると共に、その基板保持具を製造するための製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】長尺状の金属プレート１０をプレスすることにより、金属プレート１０の長手方向（Ｘ方向）に複数の波形形状を所定ピッチで形成し、波形形状における山部１１および谷部１２を金属プレート１０の幅方向（Ｙ方向）に沿って弓状に湾曲させた形状の基板保持具４を製造する際、金属プレート１０の長手方向に沿って所定ピッチで波形形状の谷部１２を１つずつ順次プレス形成していくことにより、基板９を保持する谷部１２の湾曲形状と、山部１１の湾曲形状とを順次形成していく。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス板等の板状体を損傷させることなく積層することができるとともに搬送することができる板状体積層体を提供する。
【解決手段】本発明のガラス板積層体１２は、ガラス板Ｇの下辺部Ｇ１から、合紙１０の下辺部１１がはみ出すことなくガラス板Ｇとガラス板Ｇとの間に合紙１０を介在させた。これにより、ガラス板積層体１２によれば、ガラス板Ｇを損傷させることなく積層することができるとともに搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の反射鏡基体Ｗを無駄なスペースを少なくして収容することができ、しかも、トレイ自身の薄肉化、軽量化によって運搬コストを低減させることができる反射鏡基体の収容トレイ１０を提供すること。
【解決手段】反射鏡基体（ＷＡ、ＷＢ）を伏せた姿勢で多数並列させて収容する収容トレイ（１０Ａ、１０Ｂ）において、各反射鏡基体（ＷＡ、ＷＢ）を収容する収容部１が、一の反射鏡基体ＷＢの椀状部Ｂの開口縁部が載置される底板部１１と、一の反射鏡基体ＷＢを水平方向に位置決めする突起部１２と、底板部１１の中央に形成され、口縁部１３１が他の反射鏡基体ＷＡの椀状部Ｂの外面に当接する支持開口部１３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 冷温での保管を行うと同時に、フィルムの特性に悪影響を与えることがないダイシングダイボンディングフィルムの梱包構造等を提供する。
【解決手段】 梱包箱３は断熱性を有する樹脂製である。梱包箱３の内部には、一対の仕切り部材９が設けられて内部の空間が仕切られる。梱包箱３の両側方の空間が保冷材収納部５となり、中央の空間が製品収納部７となる。梱包箱３の側壁の厚みをｔ１（ｍｍ）、仕切り部材の厚みをｔ２（ｍｍ）、前記梱包箱の底面の厚みをｔ３（ｍｍ）、前記保冷材収納部の側壁側の表面積の和をＡ１（ｍｍ^２）、前記保冷材収納部の仕切り部材側の表面積をＡ２（ｍｍ^２）、前記保冷材収納部の底面側の表面積をＡ３（ｍｍ^２）とした場合に、Ｔ１＝Ａ１／ｔ１、Ｔ２＝Ａ２／ｔ２、Ｔ３＝Ａ３／ｔ３とすると、（Ｔ２／Ｔ１）が１．１〜２．０であり、（Ｔ３／Ｔ１）が０．３以下で設定される。 （もっと読む）

【課題】被梱包物の取り出しを容易に行うことができ、被梱包物の取り出しを単なる引き抜き方向の荷重を加えるだけで自然に引き抜き方向を規定することができ、被梱包物の不測な破損を抑制することができる梱包容器を提供する。
【解決手段】本発明は、一対の突起部１１ａ，１１ｂと、一方の突起部１１ａが位置する側縁中途部から突出する第２の突起部１１ｃと、を備えた略板状の基板１１を収納する梱包容器であって、内方に向けて延びる天面パネル４４ｃ，４５ｃと、天面パネル部４５ｃから連続する内側縦パネル部４５ｄに跨って形成されて他方の突起部１１ｂと係合する切欠部４５ｇと、内側縦パネル部４４ｄにのみ開口して一方の突起部１１ａと係合する係合部４４ｇと、内側縦パネル部４４ｄの係合部４４ｇよりも下方で係合部４４ｇとは独立して開口して第２の突起部１１ｃと係合する第２の係合部４４ｈとを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に保管スペースの節減、輸送効率の向上と共に、製造装置の小型化、効率化が求められる。２メートル角程度の大サイズ薄板基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】中央部が下方に最適な撓み率で湾曲した前後の金属枠と該金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板を有し、平坦な左右の金属枠と該金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板を有し前後左右の金属枠と基板支持板と嵌合部を有し、基板保持用枠体を位置合わせし基板間隔を短縮して積み重ねることを可能にする基板保持枠体。 （もっと読む）

【課題】複数の支持片が配置された前面開閉一体型ポッド（ＦＯＵＰ）を提供する。
【解決手段】本ＦＯＵＰの複数の支持片の位置は、該支持片がポッド内のウェハを水平に支持するよう対称になるように較正される。また、天井吊下式搬送パッド（ＯＨＴパッド）がＦＯＵＰとウェハとの重量を均一に分配するので、ＯＨＴヘッドによるＦＯＵＰとウェハの搬送を更に安定化でき、プロセスの要求を満たすようより多くの重量を装填できる。 （もっと読む）

【課題】清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の洗浄を良好に行えるようにすることができる清浄気送風ユニットを提供する。
【解決手段】直方体状の基板収納器Ｋを収納する複数の収納部、基板収納器Ｋに対して基板１の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、収納部と基板搬出入部との間で基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される基板収納器Ｋに対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットＪであって、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの一つの側面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニットＦ、及び、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた２つの側面を覆う一対の遮蔽板１０が装備されている。 （もっと読む）

【課題】荷降ろしの際にロボットアームによってガラス板から合紙を取り除く作業を確実に行えるようにした、梱包容器、梱包体、および梱包方法を提供する。
【解決手段】複数のガラス板Ｇと、ガラス板Ｇ間に挟持される合紙とを縦置きに搭載する縦置き型の梱包容器１である。搭載するガラス板Ｇの底辺部を支持する底桟４と、ガラス板Ｇの一方の面側を受ける背板５とを有する。背板５は、搭載するガラス板Ｇ側となる受け面がガラス板Ｇの高さと略同一かこれより低い高さに形成され、かつ、その上端面が、受け面から背面に向かうに連れて高くなる傾斜面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に発塵による基板への異物付着や傷による製品の品質不良の発生を防止することが求められる。２メートル角程度の大サイズ基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】金属枠体の各部上面間において溝、段部および稜線を伴わない同一の連続した平面及び曲面で形成され、基板Ａが積載される金属枠体の上面にフィラーを含有し剛性を有する均一な厚みの樹脂層１７が形成され、上下の金属枠体同士が接触しないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体１１とカバープレートの間に介在され、回転操作リール３１の回転で施錠爪４１が出没する施錠機構３０と、回転操作リール３１の回転位置を制御する位置制御手段５０とを備え、位置制御手段５０を、回転操作リール３１の回転に応じて揺動するリンク５１と、回転操作リール３１とリンク５１に連結されるバネ５５と、リンク５１の接触溝５２と接触する位置規制ピン５７とから構成する。回転操作リール３１が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク５１を揺動させてその回転途中の回転操作リール３１に対する向きを変化させ、回転操作リール３１に作用する付勢力の方向を回転操作リール３１の回転方向に変更する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ同士の貼り付きを防止し、移送中の揺れによるウェハへのダメージを軽減するウェハカセットを得ること。
【解決手段】対向する一対の側面１ａの双方の内壁に、底面に対して傾きを有するように形成された複数の保持溝１１を備え、複数の保持溝１１の各々に、複数のウェハＷの各々を傾いた状態で収容する。ウェハカセットは、保持溝１１同士の間に設けられた複数のリブ１ｂを備え、複数のウェハＷの各々を複数のリブ１ｂの各々にもたれ掛かった状態で保持する。 （もっと読む）

【課題】 容器に強い衝撃が加わった場合であっても、苺等の表面を傷付けることなく安全に収納することができる果実等の物品の収納容器を提供すること。
【解決手段】 上面開口有底容器の上面開口部に柔軟な収納凹部が形成された合成樹脂フィルムを張設し、上記凹部に苺を宙吊り収納する果実等の物品の収納容器において、上記各収納凹部の上記底部には切込線を各々貫設し、上記各々の収納凹部に嵌合させた苺の各下端部を上記各切込線を貫通して上記各収納凹部の下側に露出させ、上記露出した上記各苺の下端と上記有底容器の底板との間に空間を介在させた状態で、上記各苺を上記各収納凹部にて縦方向の宙吊り状態で支持し、かつ上記各収納凹部に収納された上記各苺の上端部を弾性シートで被覆し、上記弾性シートと上記上面開口有底容器とを接合部材にて一体に接合して果実等の物品の収納容器を形成する。 （もっと読む）

【課題】サンドイッチの包装を片手で容易に開封して手早く食べ始めることができる。
【解決手段】外側からサンドイッチＳを外側包装部材１で包むと共に、具Ｉの水分や油分の移行を防ぐためにパンＰとこの具との間に境界部材２を挿入する。また外側包装部材１には、サンドイッチＳを食べる際に開封する開封部１１を設けると共に、境界部材２には、中央付近から長手方向に二つ折りして折目部２１を設ける。そこで境界部材２で具Ｉを上下から挟むと折目部２１がパンＰの外縁より外側に突出すると共に、外側包装部材１でこのサンドイッチを包むと折目部が外側包装部の開封部と同一の方向に位置するようにすることにより、片手で開封部を容易に開けられるのみならず、開封直後に手早く境界部材を引き抜くことができる。 （もっと読む）

【課題】収容する果実の大きさのバラつきに対し融通性があり、少々大きい果実でも過度に圧迫することなく保持でき、しかも果実を収容した状態での段積みを可能にできる包装用容器を提供する。
【解決手段】本体１と蓋体２とをヒンジ部３を介して連接し、本体１には果実の下部側を保持する収容部１１を、蓋体２には果実の上部側を保持する収容部２１を、それぞれ平面部１２，２２に対し外面側へ膨出形成して複数列に並設し、蓋体２の各収容部２１を仕切る縦横の仕切り部の交差領域２４を、平面部２２に対して収容部２１の深さ範囲内の段差をなす段状面２４ａとして形成し、段状面２４ａの周縁を周りの収容部２１の周壁２５の一部に連続させ、収容部２１の開口縁側の一部が開放形をなすものとする。 （もっと読む）

【課題】 仕切り壁を設けて複数に区画した各収納部に板状体を上下に積み重ねて収納する板状体の搬送容器において、仕切り壁の破損を防いで繰り返し使用に耐えうる耐久性の高い搬送容器を提供する。
【解決手段】 発泡樹脂からなる蓋体２と容器本体１とを備えて、容器本体１の収納部１４に板状体を上下に積み重ねて収納するように構成された板状体の搬送容器であって、容器本体２の底部１０の内面１０ａには複数の収納部１４を形成すべく仕切り壁１３が突設され、蓋体２の内面には仕切り壁１３の横倒れを防止すべく仕切り壁１３の上部をその厚み方向に支持可能な仕切り壁支持部としての凹部３１が形成され、容器本体２と仕切り壁１３とは一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】空の板状体梱包容器を輸送する際に、板状体梱包容器の占有体積を低減し、保管効率及び輸送効率を上げる。
【解決手段】板状体を載置する板状体載置部と、前記板状体載置部を載置する載置面を有する台座と、前記載置面の周縁部の少なくとも一部に立設される支柱と、前記載置面の周縁部の少なくとも一部に設けられ、前記支柱を立設する支柱立設部と、を備え、前記支柱は、高さ方向に複数の段部に分割可能であり、前記支柱立設部に対して、前記複数の段部のうち全ての段部を高さ方向に積層して前記支柱を立設する、または前記複数の段部のうちいずれか一つの段部を前記支柱として立設することにより、前記支柱の高さを可変としたことを特徴とする板状体梱包容器を提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定められた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）