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Fターム[3E096FA11]の内容

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【課題】蓋の目視検査性の向上を図ることができると共に、歩留まりをよくできるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル収納容器1は、ペリクル3を載置するペリクル載置台5と、ペリクル載置台5の上部を覆う蓋7と、を備え、蓋7は光線透過率が60%以下の部分を有する。 (もっと読む)


【課題】ICタグのICチップトレイへの着脱が容易であり、ICタグをICチップトレイへ確実に止着し、さらに上下一対の成形型のみにより成形することができるICタグ装着機構を備えたICチップトレイを提供する。
【構成】上面に多数のICチップを収納する凹部13を備え、弾性、150°Cまでの耐熱性、を有するICチップトレイにおいて、トレイ本体11の上面内側の側壁15寄りに、上部が略半球型の凸部17を一対配し、凸部17の側壁と反対側に近接させて、側壁15内側面との間でICタグTを挟着するための第1挟着板19を配し、第1挟着板19と相対する側壁15内側上部に、トレイ本体11の上面内側面との間でICタグTを挟着するための第2挟着板21を配し、一対の凸部17両側外方の側壁にスリット23をそれぞれ配したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】より好適にウェーハを支持することによって、パーティクルの発生を効果的に防ぎ、ウェーハの更なる汚染防止を図ることができるウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】前側に開口3を有すると共に、円盤状のウェーハ2を支持する支持部材25を備える容器本体4と、開口3を塞ぐと共に、ウェーハ2を保持するリテーナ21を備える蓋体5と、からなるウェーハ収納容器1であって、ウェーハ2の外周部のうち、結晶方位に起因してエッジが形成される領域を非接触領域Aとして設定し、リテーナ21及び支持部材25は、非接触領域Aを避けた位置でウェーハ2と接触する。 (もっと読む)


【課題】物品収納凹部に収納した収納物品が物品収納凹部内を動き難く、しかも、収納物品が物品収納凹部内を動いた場合でも、収納物品の電極端子が支持部に当たるおそれの少ないキャリアテープを提供する。
【解決手段】キャリアテープ1の物品収納凹部2は、夫々、内周壁21、22、23と底壁25との境界部に、収納物品としての電子部品100の底面の周縁103を支持する支持部26a、26bを備えている。支持部26a、26bは、内周壁21、22、23と底壁25に行くに従い漸次高さが低くなるように、且つ、内周壁21、22、23と底壁25にかけて下方側に窪ませるようにして形成された断面円弧状に構成されている。 (もっと読む)


【課題】清潔性を確実に確保し、かつ、作業性を損なうことなく、レーザ光の出力強度のチェックを行うこと。
【解決手段】梱包容器本体10は、レーザ光を入光する第1の端部42と入力したレーザ光を出射する第2の端部43とを有する光プローブ40を収容し、収容した光プローブ40の第1の端部42を外部に導出して封止される導出部15と、収容した光プローブ40の第2の端部43から出射されるレーザ光を外部に導出するための窓部18とを有する。透光部材30は、窓部18を塞ぐものであり、レーザ光が透光可能な部材からなる。 (もっと読む)


【課題】高エネルギーの光の照射下においてもヘイズの発生を低減することができると共に、異物検査に優れたペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル枠体2は、アルミニウム材で枠状に形成されており、アルミニウム材は、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、リン酸、及びそれらの塩からなる群から選択される少なくとも1つの電解液で陽極酸化処理された陽極酸化皮膜Pが表面に形成されており、アルミニウム材の素材には、Cu:0.5〜3.0%、Mg:1.5〜4.5%、Zn:4.0〜7.0%を含む。 (もっと読む)


【課題】光学材料に対する粘着特性、経時粘着安定性、透明性、巻き戻し性および耐熱性に優れた表面保護フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】表面層(A)および粘着層(X)の少なくとも2層からなる表面保護フィルムであり、表面層(A)がポリオレフィン樹脂からなり、粘着層(X)が、メタロセン触媒を用いて得られる炭素数3以上のα−オレフィンを主成分とする低結晶性α−オレフィン(共)重合体(X−1)5〜95重量%、および融点が50〜130℃の範囲にあり、メタロセン触媒を用いて得られるプロピレン(共)重合体(X−2)95〜5重量%((X−1)および(X−2)の合計で100重量%とする)からなる組成物から形成されること特徴とする表面保護フィルム。 (もっと読む)


【課題】 素子搭載部材の配線パターンと搬送治具との接触不良を低減し、生産性を向上させることができる搬送治具を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の実施形態に係る搬送治具は、平板状に設けられ、素子搭載部材を収容するための第1の貫通穴部を有する金属板部と、第1の貫通穴部内に設けられ、素子搭載部材の2つの隅に当接して保持するための保持部と、保持部に接続され、保持部を前記第1の貫通穴部の中心点に近づく方向に押し付けるばね部と、保持部が、第1の貫通穴部の中心点から遠ざかる方向に保持部を移動させるための保持解除用穴部を有して構成されていることを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】粘着層の粘着力を調整し易い基板搬送用部材を提供すること。
【解決手段】搬送する基板16と接触(密着)する粘着層12と、粘着層12を固定する基材層14(以下、ベース14と称する)と、を備え、粘着層12を、粘着材と充填材とを含んで構成させる。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できるように構成した基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器である。容器本体の第1外壁面とこの第1外壁面と隣接する第2外壁面との稜線部に、識別プレートが第1外壁面側および第2外壁面側に延在された幅を有して取り付けられている。識別プレートは着色されている。 (もっと読む)


【課題】トレイに収容されたガラス基板に割れや欠けが存在するか否かを検知することが可能なガラス基板収納トレイを提供すること。
【解決手段】ガラス基板20を載置するトレイであって、該トレイの一端に光を発光する発光部21を設け対抗する一端に発光部に対する受光をする受光部22を設けたことを特徴とするガラス基板収納トレイであって、前記発光部が光ファイバー光源又は有機エレクトロルミネッセンス素子であり、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とするガラス基板収納トレイである。 (もっと読む)


【課題】積重した基板収納用トレイ10に適切な頻度で洗浄を施すために、適切な時点を外部から容易に判別できるパレットを提供する。
【解決手段】基板収納用トレイを積重するパレット70の側面部に測定部40と情報出力部50で構成される微小異物測定装置60が備えられ、測定部は定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が閾値を越えたときモニター52は適切な時点であると表示する。 (もっと読む)


【課題】 乱れの無い安定した層流状態の置換ガスの流れを得るには、供給管における置換ガスの圧力変動を断つ必要がある。
【解決手段】 基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、該蓋部材の内部に画定されるバッファ空間と、該バッファ空間に置換ガスを供給するための給気ポートと、前記本体容器の開口に挿嵌された状態において、該本体容器の中空部に対向する該蓋部材の内面と該バッファ空間との間に連通するように配置され、該バッファ空間に供給された置換ガスを該中空部に送出する複数の孔とを備える基板収納ポッドにより解決する。 (もっと読む)


【課題】収容部内の気密性を確保することができる回路基板収容ケースを提供する。
【解決手段】カバー部材2とベース部材3を接合し、グロープラグの制御基板10を収容部9内に収容したコントローラボックス1を形成する。グロープラグの接続ケーブルの末端のコネクタ(プラグ)を接続する機器側のコネクタ(レセプタクル4)内に、収容部9内に連通する連通孔45を設ける。連通孔45を介して収容部9内を減圧し、気密性試験を行う。接合部からの気密漏れがなければ、密封材49で連通孔45を塞ぐ。 (もっと読む)


【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク10の左右および下側の外周端面11bが収納保持されている保持溝43、45が形成されており、保持溝43(45)は、溝底面43a(45a)と溝側面43b、43c(45b、45c)の入り隅の角度θaを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク10の遮光膜およびレジスト膜の端14に干渉しないようにしてある。 (もっと読む)


【課題】 検査中に平滑性が悪化する恐れのない収納体を提供する。
【解決手段】本発明の収納体は、可視光の透過率が50%以上であるカバー33a、33bを有しており、カバー33a、33bは、厚さ2mmにおける可視光の透過率が50%以上、70%以下であるポリプロピレンで構成されている。 (もっと読む)


【課題】基板を規則正しく整列させることのできる基板整列治具を提供し、また、当該基板整列治具を用いた基板の移送方法を提供する。
【解決手段】基板11収納する基板カセットに用いられる基板整列治具25であって、前記基板カセットは、上部及び下部が開放したカセット本体2を備え、前記カセット本体2内部には、基板11を整列させるために、相対向する一対の面に、上部から下部に向かって溝部7が設けられており、前記基板整列治具25は、前記カセット本体2の開放した下部に設けられ、基板11を整列させて保持するための溝23が設けられたコーム24が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】トレイからガラス基板を取り出してガラス基板の確認をするのではなく、パレットに収納された基板枚数、基板の種別(以下、基板種別)を判定することを可能としたガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットを提供する。
【解決手段】ガラス基板を収納したトレイを段積みするパレットであって、段積みパレットの蓋部または段積みパレットの土台部に備えられたレーザー発光手段と、段積みパレットの土台部または段積みパレットの蓋部に備えられたレーザー検知手段と、レーザー発光手段とレーザー検知手段の間にガラス基板の種別によって異なる形状を有する1角を配置し、1角を透過したレーザー光を検知手段によって得られた検知情報を出力する情報出力部と、検知情報を処理する情報処理部と、を有することを特徴とするガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態でも、トレイの各々にガラス基板20が収納されているか否かを、トレイの外部から容易に判定できるガラス基板収納用トレイ30を提供する。
【解決手段】基板サポート部3上にガラス基板20が積載されているか否かの表示機構で、a)支持部2上のバネ6により上昇し、その上部が基板サポート部3上面より突出し、また、積載したガラス基板の重量により、その上部が基板サポート部3上面と同一面まで下降する昇降部材13と、b)フレーム部に設けた確認窓7とで構成される機構が設けられ、表示機構は、a)ガラス基板が積載されている時は確認窓に昇降部材側面13Cを表示し、b)ガラス基板が積載されてない時は該側面を表示しない。 (もっと読む)


【課題】 宣伝事項その他の各種必要事項を印刷した印刷体を、容器から剥離する操作を全く必要とすることなく、これらの印刷体や紙片の付着しない使用済み容器を資源として再利用することができ、市場における展示状態において、容器内に収容された鶏卵のサイズを誤りなく確実に選定できる利点を備えた鶏卵包装体と、その包装方法の提供。
【解決手段】 鶏卵全体をすっぽりと収容するに足る深さと、鶏卵を個々に収容する個別凹部11を備えた容器本体1を主体容器とする樹脂シート製の鶏卵包装用容器Cであって、該容器本体1における前記個別凹部11に鶏卵が収容された状態で、その開口部12が開口状態のままか、適宜の蓋体6で閉塞された閉蓋状態で、収容鶏卵Eのサイズを表示するサイズ識別表示色に彩色された内部透視可能な可撓性のある薄いフィルム4でその外周面を、簀巻き状、または全周面包装状に覆って包装する。 (もっと読む)


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