【課題】蓋の目視検査性の向上を図ることができると共に、歩留まりをよくできるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル収納容器１は、ペリクル３を載置するペリクル載置台５と、ペリクル載置台５の上部を覆う蓋７と、を備え、蓋７は光線透過率が６０％以下の部分を有する。 （もっと読む）

【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体１０と、蓋体１０施錠用の施錠機構４０を備え、施錠機構４０を、蓋体１０に支持されてカバープレート３０側から操作される回転操作体４１と、回転操作体４１の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部６５を接離させる施錠バー６４とから構成し、回転操作体４１を第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに分割し、第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに、カムを形成する第一、第二のカム部５１・６０を形成し、第一、第二のカム部５１・６０に、蓋体１０の厚さ方向に揺動する施錠バー６４の末端部を挟持させる。 （もっと読む）

【課題】施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋体１０と、嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、施錠機構３０の回転操作リールに、進退動リンク３８の進退動用のカム溝部を形成し、カム溝部の変形を変形防止リブに防止させるようにする。施錠機構３０の施錠時に、回転操作リール３１が施錠方向に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０から容器本体１の施錠穴７内に直線的に進入し、この容器本体１の施錠穴７内に進入した施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０の厚さ方向に揺動して施錠穴７を区画する正面側壁面８に接触する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、キャリアテープにヒーターマークが形成されず、かつ、ポケットを設計通りの形状に成形しやすいキャリアテープの製造方法、およびキャリアテープを提供することである。
【解決手段】本発明にかかるキャリアテープ２００の製造方法は、加熱工程と、成形工程とを備える。加熱工程では、樹脂組成物シート２１０の所定の箇所が、電磁波および超音波の少なくとも一方で加熱される。成形工程では、加熱工程において加熱された樹脂組成物シート２１０の所定の箇所にポケット２２０が成形される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて収納する搬送用容器として、縦置きした場合にも、蓋体が容易に開いてしまわない嵌合状態を保持でき、しかも容器本体に対し蓋体を嵌合して被着する作業及び蓋体を開く作業も容易に行えるようにする。
【解決手段】容器本体１０と蓋体３０とが、容器本体１０の開口部に有する嵌合突縁１３と蓋体３０の周縁部に有する嵌合壁３３とが嵌合する構造にして、容器本体１０と蓋体３０の縦横一方の対向両辺部ａにおける嵌合突縁１３と嵌合壁３３の嵌合面部１５，３５に、それぞれ弾力的に嵌合して抜脱方向に係合する凹凸係合部１６ａ，３６ａ；１６ｃ，３６ｃを設け、一方側辺部ａの凹凸係合部１６ａ，３６ａを、他方側辺部ｃの凹凸係合部１６ｃ，３６ｃよりも抜脱に対する抵抗力が大きい係合構造にする。 （もっと読む）

【課題】各種の電子素子を収納して実用可能な形態とする容器であって、特に、経済的で、過酷な温度変化に対応することができる容器を提供する。
【解決手段】容器１０の一部が誘電体材料で構成され、容器１０内において電子素子３０に接続される内部電極２１と、容器１０外で回路に接続される外部電極２２とが、誘電体材料を介して電気的に接続されている。電子素子３０の収納空間を形成する枠体部１３と、枠体部１３の表裏を閉塞する表面板１１及び裏面板１２により構成される。裏面板１２が誘電体材料で構成され、内部電極２１及び前記外部電極２２が、裏面板１２の内外に対向して設けられている。 （もっと読む）

【課題】内部空間の雰囲気を仕切ることによって、相互汚染が生じるのを抑制することができる基板収容器を提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１に仕切り板ＤＰ１を装着すると、収容器本体３の内部空間５を複数の雰囲気（第１の空間ＳＰ１，第２の空間ＳＰ２）に仕切ることができる。したがって、内部空間５の仕切られた各雰囲気を使い分けることにより、基板の相互汚染を抑制することができる。また、特殊なＦＯＵＰ１ではなく、規格化された標準的なＦＯＵＰ１を用いることができるので、コストの上昇を仕切り板ＤＰ１に相当する分だけですませることができる。したがって、ＦＯＵＰ１内における内部空間５の雰囲気を容易に低コストで分離することができる。 （もっと読む）

【課題】ガスケットのコーナ領域におけるシール性が悪化するのを防止し、基板が汚染したり、容器本体と蓋体が接触して発塵するおそれの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面２に嵌合される蓋体２０と、容器本体１と蓋体２０の間に介在されるシール用のガスケット４０とを備え、容器本体１の正面内周にガスケット用のシール形成面７を形成し、蓋体２０に、ガスケット用の嵌合取付溝２５を形成した基板収納容器であり、ガスケット４０を、蓋体２０の嵌合取付溝２５に嵌合される枠体４１と、枠体４１から突出して容器本体１のシール形成面７に変形接触してシールするリップ片４７とから形成し、リップ片４７の変形量を枠体４１のコーナ領域と他領域とで相違させる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造ラインにおいて、ＦＯＵＰ内へＮ２ガスを供給して、Ｎ２ガスパージを十分に行うことができ、且つパージ時間も短くすることができるノズルユニットを提供する。
【解決手段】上部にブリージングフィルターユニットの通気開口に密着するノズル先端部３６、下部に半球面シール部３７を備えると共に、上部と下部をガス通路３８が貫通した構造のノズル３５と、上部に前記ノズル３５の半球面シール部３７を受けて保持するための凹型半球面シール部４３を備え、且つ中心にガス通路４５を備えたノズル受け４２、更に、前記ノズル３５の可動性を維持したまま、該ノズル３５をノズル受け４２に保持すべく、ノズル３５とノズル受け４２にＯリング溝４６および保持用Ｏリング４７をそれぞれ設けてＮ２ガスパージ装置におけるノズルユニットを形成する。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器を自動で梱包可能であり、簡単な構造で、輸送時の振動や衝撃に対して確実にウェーハを保護できる基板収納容器の輸送箱を提供する。
【解決手段】 上部に開口部を有し基板収納容器を収納可能なコンテナと、該コンテナの開口部を閉鎖する上蓋とを有し、前記コンテナの内底部には、基板収納容器を載置する支承部材が設けられ、該支承部材の上面に、基板収納容器を所定の位置に誘導する位置決め機構と、輸送時の振動を吸収するための防振部材とが設けられ、前記開口部の上縁に第一の固定手段を有し、前記上蓋が、該第一の固定手段と係合する第二の固定手段と、基板収納容器を上部から固定する手段とを有していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】清潔性を確実に確保し、かつ、作業性を損なうことなく、レーザ光の出力強度のチェックを行うこと。
【解決手段】梱包容器本体１０は、レーザ光を入光する第１の端部４２と入力したレーザ光を出射する第２の端部４３とを有する光プローブ４０を収容し、収容した光プローブ４０の第１の端部４２を外部に導出して封止される導出部１５と、収容した光プローブ４０の第２の端部４３から出射されるレーザ光を外部に導出するための窓部１８とを有する。透光部材３０は、窓部１８を塞ぐものであり、レーザ光が透光可能な部材からなる。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の発光管の内部に高圧ガスが封入されたランプの保護カバーにおいて、破裂時の瞬間的な高圧ガスの圧力に耐久できる保護カバーを提供すること
【解決手段】ランプの発光部を囲繞するランプ保護カバーであって、軸部と、該軸部を中心として回転可能に連結され、開閉自在な２つの樹脂製の容器半体と、該容器半体の内側に設けられたランプ収容部と、該容器半体同士の対向する該ランプ収容部の縁部に設けられた軸方向に沿って延在する端面部と、少なくとも一方の容器半体の端面部より、該軸方向に対して直交する断面内で、ランプ収容部内に延伸させた突起部と、該保護カバーを閉じた状態のときに、該容器半体が回転することを規制するストッパーと、を備えること。 （もっと読む）

【課題】耐発塵性、耐熱性、非帯電性、フラット製などを改善し、半導体の搬送に適したトレーを、安価に提供すること。
【解決手段】 半導体デバイスを含む面実装電子部品をその製造工程または検査工程に搬送するために使用される面実装電子部品の搬送用トレーであって、導電性および〔１００〕℃以上の耐熱性の少なくとも何れかの特性を具備する材料からなるプレート部と、当該プレート部の少なくとも一方の面上にリブ状に設けられ、各面実装電子部品を収容する複数の空間を区画する樹脂製の仕切り部とからなり、当該プレート部と仕切り部とが一体化されている面実装電子部品の搬送用トレーとする。 （もっと読む）

【課題】表面からだけでなく、端面からの酸素及び水蒸気の浸入も防ぐことができ、且つ透明性を兼ね備えたガスバリア性積層体、及び包装袋を提供する。
【解決手段】第１の透明ガスバリア性フィルム１ａ，１ｂと、該第１の透明ガスバリア性フィルム上に積層された粘着剤層２と、該粘着剤層上に積層された第２の透明ガスバリア性フィルムとを有する積層体であって、該粘着剤層がシランカップリング剤を含むことを特徴とするガスバリア性フィルム積層体。 （もっと読む）

【課題】
チップ型電子部品収納台紙からカバーテープを剥がす際の剥離強度が強く、台紙からのケバ立ちを抑制したチップ型電子部品収納台紙を提供する。さらには、カバーテープをヒートシールした後の経時や温湿度変化に対して安定な剥離強度を保持し、且つケバ立ちを抑制したチップ型電子部品収納台紙を提供する。
【解決手段】
多層抄板紙からなるチップ型電子部品収納台紙において、基材のカバーテープが接触する側に、アセトアセチル基変性ポリビニルアルコールを含有する塗工層を形成したチップ型電子部品収納台紙であり、さらに該塗工層はバーコーター、エアーナイフコーター、グラビアコーターのいずれかの塗工装置で塗工されることが好ましく、さらに、該塗工層上に架橋剤を含有する塗工液を塗工することが好ましく、さらに該架橋剤はアジピン酸ジヒドラジドであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対して搬送部材を新規な取り付け構造によって固定することにより、容器本体の変形を防ぎ、たとえばシール性の確保等が図れた信頼性のある基板収納容器を得る。
【解決手段】基板収納容器は、開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の天面、開口から観た左右のそれぞれの側壁面、および底面のうち隣接する複数の面に対向して取り付けられる取り付け枠体と、前記取り付け枠に取り付けられた搬送部材と、を備えて構成される。これにより、搬送部材は取り付け枠体を介在させて間接的に容器本体に取り付けられる。また、前記取り付け枠体は、前記容器本体よりも剛性の高い材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】シール性に優れ、エンボスキャリアテープに熱シールした後も弛みなくタイトなテーピングが可能となるカバーテープを提供する。
【解決手段】粘着付与剤を含むシール層１と、基材層２とを備え、加熱収縮性を有するカバーテープ１０であって、シール層１が前記粘着付与剤１０〜３０質量％と、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−脂肪族不飽和カルボン酸共重合体、エチレン不飽和カルボン酸エステル共重合体、ポリオレフィン系樹脂からなる群より選択される少なくとも１種類の樹脂４０〜８０質量％と、アイオノマー樹脂及びポリエーテル共重合体から選ばれる少なくとも１種の帯電防止剤１０〜３０質量％とを含み、基材層２が密度が０．９４２〜０．９７０ｇ／ｃｍ^３の高密度ポリエチレン（Ａ）及び高圧法低密度ポリエチレン（Ｂ）から選ばれる少なくとも１種類の樹脂を含むカバーテープ１０。 （もっと読む）

【課題】
大型のペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板のような大型精密部材を極めて清浄な状態を保ったまま保管、輸送できる大型精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】
本発明は、大型精密部材を収納し、その全体を覆って嵌合するトレイ３とカバーとを備える大型精密部材収納容器１において、トレイ３およびカバーのうち、少なくともトレイ３を鋳造部材とし、当該鋳造部材の少なくとも大型精密部材を収納する空間を形成する面に導電性塗膜４０を形成し、その導電性塗膜４０の表面を、５μｍ以下の算術平均粗さ（Ｒａ）で、かつ２０μｍ以下の十点平均粗さ（Ｒｚ）とする大型精密部材収納容器１に関する。 （もっと読む）

【課題】カバーテープの摩擦や剥離時に生じる静電気を抑え、カバーテープの細幅化に伴うテープ強度の低下や高温下で保管されるカバーテープの透明性の低下を抑え、且つピールオフ強度を適正範囲内に保持することが可能なチップ型電子部品包装用カバーテープを提供することを目的とする。
【解決手段】チップ型電子部品の収納ポケットを有するエンボスキャリアテープに熱シールされるチップ型電子部品包装用カバーテープであって、帯電防止剤を含む帯電防止層と、二軸延伸プラスチックフィルムの基材と、ポリエチレンからなる中間層と、基材と中間層を接着する接着剤層と、エンボスキャリアテープに熱シールされるシール層の多層構造を有し、シール層が熱可塑性エラストマー樹脂、粘着付与樹脂、アクリル樹脂の樹脂混合物に酸化金属の導電性微粉末が分散されていることを特徴とするチップ型電子部品包装用カバーテープ。 （もっと読む）