【課題】作業に応じて自動的に出し入れする機械的な構造のストッパを備えた落下防止機能付き搬送装置を提供すること。
【解決手段】仮置き台２と搬送台３には搭載した搬送物が移動可能な移動手段１０を備え、レール４に従って移動する搬送台３を仮置き台２に突き合わせた状態で両者の間で搬送物の移動を可能とするものであり、その仮置き台２と搬送台３には、突き合わされる各突き合わせ部分３１，３２に落下防止手段５が設けられ、その落下防止手段５は、仮置き台２と搬送台３の一方に設けられた押圧部材４５と、他方に設けられたストッパ機構４１，４２，３５との組合せが複数設けられ、そのストッパ機構４１，４２，３５は、仮置き台２と搬送台３の接近による押圧部材４５の押し付けを受けて停止部材３５１を下降させるよう動作するリンク機構４０である落下防止機能付き搬送装置１。 （もっと読む）

【課題】基板のサイズに関わらず安定した搬送を実現する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板１に所定の加工を施すための加工領域が設けられた搬送路３と、搬送路３に搬入された基板１を上流から下流に向けて搬送する搬送コンベア４と、基板搬送方向に移動可能な移動体５と、移動体５に設けられて基板１を加工領域より上流側となる位置ｓ２で検知する第１センサ９と、移動体５の第１センサ９から基板搬送方向に所定の距離をおいた位置に設けられて搬送中の基板１に接触して停止させるストッパ１１と、第１センサ９が基板１を検知すると基板搬送速度より低い速度で移動体５の移動を開始させるとともに基板１がストッパ１１に接触した後に停止するように移動体５の移動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）