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Fターム[3F033HA06]の内容

ローラコンベア搬送用ローラ (2,155) | ローラのスリーブ (14) | 耐摩耗の機能を有するもの (4)

Fターム[3F033HA06]に分類される特許

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【課題】基板汚染の原因となるパーティクルを発生させることなく、基板を安定して搬送できるようにする。
【解決手段】基板Wを支持するローラ部181と、回転軸182と、回転軸182の一方端側に設けられた第1磁気部材11とを有する複数の搬送ローラ18と、各搬送ローラ18の回転軸182の他方端側を回転自在に支持する第1支持部101と、第1磁気部材11に対向する位置に第1磁気部材11と同一極性の第2磁気部材13が設けられ、基板搬送方向に直交する方向における基板の中央寄りに配置された各搬送ローラ18の回転軸182の前記一方端側を、第1磁気部材11と第2磁気部材13との間の反発力により軸支する第2支持部102と、駆動モータとを備え、搬送ローラ18は第1支持部101及び第2支持部102に支持され、隣り合う搬送ローラ18と一定間隔を空けて配置される。 (もっと読む)


【課題】搬送対象を容易に搬送するためのローラユニット及び搬送システムに関し、簡易な構成で、設置の自由度が高く、かつ、各種搬送対象を容易に移動可能なローラユニット及び搬送システムを提供することを目的とする。
【解決手段】搬送対象を搬送するためのローラユニットであって、ローラと、ローラを、複数個、互いに回転軸が並列となり、かつ、互いに近接した状態で回転自在に保持するホルダとを有するローラユニットを複数個、配置することにより搬送対象を搬送するための搬送路を構成する。 (もっと読む)


【課題】 熱延鋼材のような高温部材を、高速で搬送するためのホットランテーブルローラの如き搬送用ロールに対し、耐久性に優れた皮膜を形成する技術を提案すること、およびロール表面に均質な硬化層を形成することができ、かつその効果が長期に亘って維持でき、しかも、耐久性の良好な溶射皮膜を安価に形成することができる他、その溶射皮膜を有利に形成する方法と、この方法に用いる溶射材料とを提案すること。
【解決手段】 高温部材搬送用ロール基材の表面に、再溶融後のNi基自溶合金マトリックス中に鋳鉄粉末を分散含有する溶射皮膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】透明基板上に形成されたパターンの状態を良好に検査する検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置1は、ガラス基板Gを搬送する搬送手段10、および、搬送手段10により搬送中のガラス基板G上に形成されたパターンの状態を撮像するカメラ21を備えている。搬送手段10は、回転軸11と、回転軸11を中心に回転することによりガラス基板Gを搬送する搬送部材13と、を備えている。搬送部材13は、回転軸11の軸方向から見て略円状に形成され、ガラス基板Gに当接すると共に回転軸11の回転に伴ってガラス基板Gとの当接位置が回転軸11の軸方向に変化する外周面を有している。このため、撮像したガラス基板G上のパターンの状態に搬送部材13とガラス基板Gとの当接部分が写り込み、検査の支障になることを防ぐことができる。 (もっと読む)


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