【課題】 簡単な構成で支持体のコストを押し上げることがなく、かつ、既存の支持体に簡単な改良を施すだけで導入が可能なコンベア装置のローラ支持体を提供する。
【解決手段】 コンベア装置のフレームに設けられ、回転自在なローラ１の支持軸２を着脱自在に支持する支持体３において、支持軸２に形成された嵌挿部２ａが挿入される溝４と、この溝４の入口両側に形成された案内部４ａ，４ｂとを有し、案内部４ａ，４ｂは、円弧部Ｒ単体又は円弧部Ｒと直線部Ｃの複合体から形成されるとともに、溝４の入口両側で非対称に形成した。二つの円弧部分Ｒ及びこの二つの円弧部分の間に形成された直線部分Ｃの複合体から案内部４ａ，４ｂを形成し、前記入口両側で対称に形成してもよい。円弧部Ｒは、それぞれ嵌挿部２ａの幅Ｓの６５％〜８０％の半径を有するものとするとよい。 （もっと読む）

本発明は、移送ローラーユニット及びこれを利用した移送装置に関するものであり、被移送物と接触してローリングして被移送物を移送するローラーと、少なくとも一側が開口された桶形状を有して、ローラーが回転可能に結合されるハウジングと、直線または曲線の経路を形成するように相互接する一対のハウジングを相互回転可能に結合する連結手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】支持部材へのフランジの形成やローレット加工を不要としながら、支持部材に対する弾性ローラの滑りを効果的に抑制する。
【解決手段】非自走式キャリアの被駆動面又は自走式キャリアが走行するレールに外周面が圧接される円環状の弾性ローラ２及び弾性ローラ２に内嵌される支持部材３を備え、支持部材３を弾性ローラ２が着脱可能な分割構造としてなる搬送装置用フリクションローラ１であって、弾性ローラ２の内周面を、回転軸方向中間部から側端面に向かって径方向外側に広がるように傾斜させ、これら傾斜内周面２Ｃ，２Ｃのなす角度を略直角又は鋭角とするとともに、支持部材３の外周面を弾性ローラ２の傾斜内周面２Ｃ，２Ｃに対して面同士が当接する傾斜外周面６Ａ，６Ａとした。 （もっと読む）

プロファイルレールを有するローラ体コンベヤを提供する。
【課題】本発明は、基板（１１）と、前記基板（１１）に対する応力の影響で相互に回転するように形成され、基板（１１）に対して一定の角度をなして延びる二つの側壁（１２）とを有するプロファイルレールと（１）、前記側壁（１２）のベアリング開口（４）内の回転軸（３）に回転可能に支持される多数のローラ体（２）と、前記ベアリング開口（４）内の回転軸（３）の位置を固定する手段（１３）とを備え、前記ベアリング開口（４）は前記側壁（１２）の自由端から延びる対面凹部として設計されることを特徴とする収納品を搬送するローラトラックに関し、更に、基板（１１）と、前記基板（１１）に対する応力の影響で相互に回転するように形成され、基板（１１）に対して一定の角度をなして延びる二つの側壁（１２）とを有するプロファイルレール（１）と、前記側壁（１２）のベアリング開口（４）内の回転軸（３）に回転可能に支持される多数のローラ体（２）と、前記ベアリング開口（４）内の回転軸（３）の位置を固定する手段（１３）とを備える、収納品を搬送するローラトラックの製造方法であって、前記ローラ体（２）は、前記回転軸（３）と共に、実質的に前記側壁（１２）の方向に相互に挿入されることを特徴とする方法に関する。 （もっと読む）

【課題】水置換が完了する間に進行する過剰な現像を抑制し、エアナイフによる水の残跡の発生を抑制し、パターン品質が損なわれない、現像装置における基板搬送方法、基板搬送装置を提供する。
【解決手段】現像槽から水洗槽へは、その初期には現像液２０を基板の先端部の現像液量を多くＤ１、中期には先端部及び末端部での現像液量を少なくＤ２、末期には先端部での現像液量を少なくＤ２保って行い、水置換は現像液量の少ない先端部から開始する。水洗槽からエアナイフへの基板搬送は、その初期には水を先端部で水量を多くＤ１、中期には先端部及び末端部で少なくＤ２、末期には先端部での水量を少なくＤ２保って行い、エアナイフでの水の排除は水量の少ない基板の先端部から開始する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で着脱が容易でかつ確実にとりつけができるローラコンベアを提供する。
【解決手段】ローラベアリング１はローラパイプ１０の両端に装備される着脱側ベアリング支持部２０と固定側ベアリング支持部１００を有する。着脱側ベアリング支持部２０のベアリングの内輪３２の内径部は六角穴４０に形成され、六角パイプ５０が摺動自在に挿入される。六角パイプはスプリング６０により、常時外側に向けて付勢される。六角パイプ５０をコンベアフレーム２の六角穴４に挿入して支持部２０をとりつける。固定側ベアリング支持部１００のベアリングの内輪１５０は、その延長部に六角面１５４が形成され、コンベアフレーム２の六角穴４に挿入、固定される。 （もっと読む）

【課題】ローラ体の着脱作業を容易かつ迅速に行えるコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】一方のコンベヤフレーム１１に形成したコンベヤ幅方向Ａの貫通部１５に軸受３７を設け、他方のコンベヤフレーム２１の上面側に、軸受３４の下部分が嵌入自在な凹部２５を形成するとともに、軸受の上部分が嵌入自在な押え部材２８を着脱自在に設けた。ローラ軸３１にローラ３２を外嵌して形成したローラ体３０は、ローラ軸の両端の軸受をそれぞれコンベヤフレーム側に定着したことで、高速度搬送であっても振動は生じ難いものにできる。ローラ体の取り換えは、ローラ軸の外端部分に対して軸受３７を離脱し、そして押え部材を離脱し、ローラ体をコンベヤ幅方向で内側へ移動させることで、ローラ体をコンベヤフレーム間から離脱できる。逆操作によってコンベヤフレーム間にローラ体を組み込める。各ローラ体の着脱作業を、それぞれ独立して容易かつ迅速に行える。 （もっと読む）

【課題】安定した搬送性能を有する搬送ローラ及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明は、各種基板（３）を搬送ローラ（４）によって搬送しながら各種処理を行うインライン方式の基板処理システムに用いられる基板搬送装置に関するものである。本発明による基板搬送装置は、基板搬送方向に沿って所定の間隔で配列した複数の搬送ローラ（４）と、前記複数の搬送ローラを部分的に包囲するチャンバ（６０，６２ａ，６２ｂ）と、搬送ローラに連結され、基板搬送ローラに回転駆動力を伝達する駆動機構（７０）と、搬送ローラに連結され、搬送ローラの水平度を調整する水平度調整機構（７１）とを具える。搬送ローラの水平度調整機構及び回転駆動機構はチャンバの外部に位置し、チャンバの外部から搬送ローラの水平度が調整される。 （もっと読む）

【課題】前後棧にレールが係脱可能に組み付けられる流動棚において、加工、組付けが容易で、レールの損傷が避けられ、作業性を向上させた流動棚を供する。
【解決手段】レール２０の端部に組み付け部材３０が着脱自在に装着され、前後棧１１に多数の切り欠き１３ａが形成され、組み付け部材の突起３６を棧１１の切り欠き１３ａに係合されて構成された流動棚。 （もっと読む）

【課題】 作業現場の環境の如何にかかわらず、安全かつ迅速にパイプコンベヤの蛇行走行を矯正できるようにしたパイプコンベヤにおけるローリング調整装置を提供する。
【解決手段】 パイプ状に丸めたベルト本体１が左右方向にローリングした際に、ベルト本体１を支承する複数のガイドローラ６の傾斜方向を調整してベルト本体１のローリングを矯正するためのローリング調整用ハンドル８を備えたパイプコンベヤにおけるローリング調整装置において、ガイドロ−ラ６の傾斜方向を調整するローリング調整用ハンドル８の先端を支持プレート２の上部に突出させた。 （もっと読む）

【課題】ローラフレームに対するローラの軸受部の耐久性を向上することができるローラコンベア用ローラユニットを提供する。
【解決手段】ローラフレーム１３を構成する第１及び第２分割フレーム１４，１５の第１側板１６の内側面に第１底板１８を一体に形成し、第２側板１７の内側面に第２底板１９を一体に形成する。前記第１底板１８の突合せ端面に連結ピン１８ｂ、係合孔１８ｃを交互に形成し、第２底板１９の突合せ端面に前記連結ピン１８ｂ、係合孔１８ｃに係合される連結ピン１９ｂ、係合孔を交互に形成する。前記第１及び第２側板１６，１７に、第１及び第２支軸２４，２５を介してローラ１２を支持する。前記ローラ１２の直下に位置するように、前記第１及び第２底板１８，１９の上面に補助支持突条１８ｅ，１９ｅを形成し、前記ローラ１２が過大な荷重を受けて下方へ変位したとき前記補助支持突条１８ｅ，１９ｅによってローラ１２を受け止める。 （もっと読む）

【課題】ローラコンベアにおいて、搬送ローラを支持する長スパンのシャフトを用いる場合、その中間位置に、メンテナンス性を損なうことなく、且つ、粉塵を発生させることなく中間ベアリングによって支持する。
【解決手段】ローラコンベア１０は、搬送用ローラ１４を支持するシャフト１２を中空のサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂとから構成し、このサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂを軸方向の隙間４０をあけてカップリング３８により連結し、このカップリング３８を中間ベアリング３２によって支持する。中間ベアリング３２の両側は、中間カバーケース３６によって囲まれ、中間ベアリング３２で発生した粉塵が、中間カバーケース３６のスリット状連通孔４１Ｂとカップリング３８のスリット状連通孔４１Ａを通って前記隙間４０を経て、サブ中空シャフト１３Ａ内の内側空間１３Ｃを介して、排出される。 （もっと読む）

【課題】高荷重下においても撓みを防止ができる搬送ローラ、および、該搬送ローラ等を使用し、かつ該搬送ローラの支持高さを一定に保持することで搬送能力に優れるとともに、組み立て性、汎用性等にも優れる搬送装置を提供する。
【解決手段】円筒状のローラ本体２と、該ローラ本体内部に設けられる軸受構造３と、該軸受構造により上記ローラ本体に対して回転自在に支持されるローラ軸４とを備えてなる搬送ローラであって、上記軸受構造は、上記ローラ本体の軸方向両端部に設けられ、かつ、上記ローラ本体の軸方向中間部に少なくとも１つ設けられる。即ち、軸受構造３は、ローラ本体２の軸方向両端部２ａと、ローラ本体２の軸方向中間部２ｂにそれぞれ設けられる。 （もっと読む）

【課題】 回転するシャフトの上に基板を乗せて搬送する構成の基板搬送装置において、搬送される基板の直下にシャフトを支持する機構を設けることなくシャフトのたわみを小さくでき、結果としてシャフト径を細くできるシャフト支持装置を提供する。
【解決手段】 シャフト２を複数本並べた構成の基板搬送装置１において、各シャフト２のたわみを小さくするため、シャフト両端をそれぞれ、２個のベアリング１２、１２を一定距離を離して設置した軸受ユニット１０、１０によって支持する構成とし、シャフト両端の支持強度を高め、シャフト中央部に生じるたわみを抑制する。 （もっと読む）

【課題】
搬送中の基板の反りを確実に防止する。
【解決手段】
基板Ｐの両側縁をそれぞれ表裏面から挟付ける１対のローラ列１，２を備えている。ローラ列１，２を構成する各ローラ１１，２１の回転軸の軸線Ｘは基板Ｐの送り方向と直交する線Ｙに対して基板Ｐの送り方向の先方側へ傾斜されている。 （もっと読む）

ホイールと、その両側に配置されホイールの車軸を回転自在に支持するサポート板とから成るホイール組立体をフレーム材の溝内へ組み入れて構成され、分解・掃除が容易で制振機能を備え、捕塵機能も備えたホイールコンベアを提供する。
ホイール５は車軸ピン６を有し、サポート板７にピン孔８が設けられており、車軸ピン６をピン孔８へ差し込んで回転自在に支持させてホイール組立体２が構成されている。フレーム材４の横断面形状は、リップ部４ａと一連に形成された第一溝形部４ｂが、サポート板７を長手方向へ移動可能に支持するように形成されており、底壁４ｃと一連に形成された底部溝形部４ｄはリップ４ａの口縁よりも外方へ膨らむ形に形成されており、二つの溝形部４ｂ、４ｄが繋ぎ部４ｅにより一連に繋がれている。フレーム材４の第一溝形部４ｂに沿って複数のホイール組立体２のサポート板７が挿入され複数のホイール５が列状に並んで構成されている。 （もっと読む）