【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することにある。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも２つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、前記ピニオンギヤをそれぞれ独立に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成でもって幅の大きい被搬送物の搬送にも対応することができるコンベア装置を提供する。
【解決手段】コンベア装置本体２に配設された第１及び第２駆動ユニット４，５と、第１及び第２駆動ユニット４，５によって移動される第１及び第２搬送ガイドユニット１８，１９とを具備し、第１及び第２駆動ユニットは、第１及び第２移動用駆動源６，７によって移動される第１及び第２移動部材８，９とを備え、第１及び第２搬送ガイドユニット１８，１９は、被搬送物を搬送する第１及び第２搬送ベルト機構２２，２３と、被搬送物を案内するための第１及び第２ワークガイド２０，２１とを備え、第１ワークガイド２０が第１移動部材８に装着され、第２ワークガイド２１が第２移動部材９に装着され、第１及び第２ワークガイド２０，２１が被搬送物を搬送する移動レーンを規定する。 （もっと読む）

【課題】揺動コンベヤを駆動し、揺動コンベヤのトレーの前進速度、後退速度及び加速度を簡単に変更することができるモータの提供。
【解決手段】所定角度回転する都度パルス信号を出力する手段２４を有し、その出力したパルス信号に基づき、回転速度を制御するモータ２３。モータ軸又はモータ軸に連動する回転軸に設けられた基準点を検出する基準点検出器４３と、基準点検出器４３が基準点を検出してから、パルス信号又はパルス信号に基づく信号を計数する計数手段２２ａと、回転速度を、基準点検出器４３が基準点を検出したときにＮ２とし、計数手段２２ａの計数値がＣ１に到達したときに加速してＮ１（＞Ｎ２）とし、計数手段２２ａの計数値がＣ２（＞Ｃ１）に到達したときに減速してＮ２とし、基準点検出器４３が基準点を再度検出したときに、計数手段２２ａをリセットする速度制御手段２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高精度でかつ高速でワークを搬送することができ、しかも、振動も極めて小さくなる搬送装置を提供する。
【解決手段】第１可動部１０と、第１可動部１０を直線状に往復動させる第１駆動手段１１と、第２可動部１２と、第２可動部１２を第１可動部１０の移動方向と平行に直線状に往復動させる第２駆動手段１３とを備える。第１可動部１０と第２可動部１２とを連結機構１４を介して連結して、第２可動部１２を第２駆動手段１３の速度及び／又は加速度で移動させる。制御手段１５にて、第１駆動手段１１を制御して第１可動部１０を駆動させて連結機構１４を介して第２可動部１２を高速移動させる第１移動モードと、第２駆動手段１３を制御して第２可動部１２を低速移動させる第２移動モードとの切換えを行う。 （もっと読む）

【課題】搬送距離が大きく、かつ構造が簡易で低コストな搬送装置を提供する。
【解決手段】第１ベルト２３が巻回されてなる第１コンベアを上面に有する固定部２と、第１ベルトの下側部分に固定され第１ベルトから上方に延びる支持部材６と、支持部材に支持されて固定部の上方に配置され、かつ第２ベルトが巻回されてなる第２コンベアを上面に有する第１可動部３と、第２ベルトの上側部分に固定されて第１可動部の上方に配置され、搬送物を載置可能な第２可動部４とを有し、第２ベルトと第１ベルトの対向部分の一部８が互いに固定され、第１可動部は第１ベルトの進退方向に摺動可能であり、第２可動部は第１可動部に対し摺動可能であり、第１可動部が固定部に対して距離Ｌ摺動したとき、第２可動部は第１可動部に対して距離２Ｌだけ摺動し、第２可動部が固定部に対して距離３Ｌ摺動する搬送装置である。 （もっと読む）

【課題】環境問題と財政問題
本発明は環境を良くすることである。
地球温暖化をストップを少しでも効果がある
財政で税金や請求を収入事業とする公共事業である
【解決手段】国が資本金を出して公共事業を作る （もっと読む）

【課題】１つの駆動モータの駆動により互いに直交する２軸を含む複軸の移動・停止が可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】第１駆動ドラム１１に巻回された第１ワイヤ１３と、第２駆動ドラム２１に巻回された第２ワイヤ２３と、第１ワイヤ２３との連結・解除を選択する第１クラッチ１５を介して第１ワイヤ１３に取り付けられた第１取付部１０と、第２ワイヤ２３との連結・解除を選択する第２クラッチ２５を介して第２ワイヤ２３に取り付けられた第２取付部２０とを備え、第１または第２クラッチ１５（２５）の一方を連結状態とし、かつ、他方を解除状態とすることで、第１取付部１０の第１方向Ｄ１への移動と、第２取付部２０の第２方向Ｄ２への移動とを１つの駆動モータＭにより選択可能とした。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成でありかつ簡単な操作で、ガラス基板などの搬送対象部材を収納部に対して出し入れする搬送対象部材の出し入れ装置を提供する。
【解決手段】 スライダ２０は、フレーム２１によって軸が支持されているプーリ３１〜３３，３４〜３６，３７〜３９にベルト４１，４２，４３が掛けられて構成されていて、ベルト４１，４２，４３上にガラス基板が載置されている。ベルト４１，４３はカセット棚１６にねじ止めされており、取手２２，２３を引出すと、引出した長さの２倍分だけベルト４１，４２，４３が移動するので、ガラス基板の全長の半分の長さだけスライダ２０を引出せば、ガラス基板の全長を引出すことができる。 （もっと読む）

【課題】 移動床をスライド駆動する駆動装置を構成する３本の駆動シリンダのいずれか１本の駆動シリンダのピストンパッキンを交換するのにすべての油圧シリンダをシリンダボトム部から取り外す必要がなく、その交換作業性を大幅に向上させることができる。
【解決手段】 往復動コンベア式移動床の駆動装置において、３本の駆動シリンダ１６₁ ，１６₂ ，１６₃ は、それぞれシリンダチューブ１８と、その内部に摺動自在に嵌合されるピストン２４と、このピストン２４に連結されてシリンダチューブ１８外に延長されるシリンダロッド２５とを備え、３本のシリンダチューブ１８の一端は共用のシリンダヘッド部２０に着脱可能に取付けられ、また、それらの他端は各別のシリンダボトム部１９₁ ，１９₂ ，１９₃ に取付けられる。 （もっと読む）

【課題】 往復動コンベア式移動床の組立工数の低減と部品点数の削減とを達成してその大幅なコストダウンを図り、その上、移動床の重量軽減と、その嵩高の縮小とを可能とした。
【解決手段】 床フレーム４の複数本の横根太４ｊ上に、複数のベアリング４０を、直接移動しないように設け、それらのベアリング４０上に、往復動コンベア式移動床Ｆを構成する複数本のレール床１０をそれぞれスライド可能に支持させた。 （もっと読む）