【課題】 フラットパネルディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状物品を始めとする種々の搬送品を、完全に無接触として高度な清澄状態を保って搬送でき、浮揚の負荷容量が大きく搬送手段としての信頼性に優れ、搬送速度や方向の制御が容易で設計自由度も大きい無接触搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送路１上で搬送品Ｐを下方から放出する流体Ｆの圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、搬送路１に沿って配設される弾性振動板４と、弾性振動板４に超音波振動を与えて撓み進行波Ｗを励起させる励振アクチュエータ５，５とを備え、撓み進行波Ｗを励起している弾性振動板４と、振動板４に対向した搬送品Ｐ表面との間に発生する音響粘性流Ｓにより、搬送路１上で浮揚している搬送品Ｐを所定方向へ搬送する。 （もっと読む）