【課題】高価な手段を用いることなく、したがって全体としてコスト的に有利に、真空ポンプ内部と真空ポンプ周囲との間の著しく改善された磁気減結合を達成する。
【解決手段】本発明は、真空ポンプがそれにより外部空間から磁気減結合される、真空ポンプにより使用される破損防止装置に関するものである。真空ポンプの吸込フランジ開口を覆う破損防止装置の構造部分を、高い相対透磁率係数μ_ｒを有する材料から製作することが提案される。 （もっと読む）

【課題】 ターボ分子ポンプの温度上昇勾配を変化させることができて、ターボ分子ポンプの損傷を防止できるターボ分子ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 温度センサ３は、ターボ分子ポンプ１の温度を検出して信号を第２制御部１２に出力する。また、第１制御部１１は、ターボ分子ポンプ１に内蔵されている機種判別抵抗に一定の電圧を印可して、その抵抗値を検出することにより、ターボ分子ポンプ１の機種を検出して目標温度および温度上昇勾配を設定して、信号を第２制御部１２に出力する。また、第２制御部１２は、温度センサ３からの信号と、第１制御部１１からの信号を受けて、ヒータ７の電源をオンオフ制御して、ターボ分子ポンプ１が上記目標温度に到達するまで、ターボ分子ポンプ１の温度を、上記温度上昇勾配に略沿うように上昇させるようになっている。 （もっと読む）