【課題】 微小流路の試薬量低減などの効果を維持しながら、粘度の異なる液体を混合すること。
【解決手段】 液体Ａ及び液体Ｂの各々において、流量制御装置５０のデータ設定部５９に所望の目標流量値５８を設定する。これによって流量制御装置５０において、各マイクロポンプから微小流路を介して輸送される液体Ａ，Ｂの流量が設定目標流量値５８となるように、圧電素子１１ａ，１１ｂを振動させるための印加電圧値６８Ａ，６８Ｂが求められ、これらの印加電圧値６８Ａ，６８Ｂの電圧ＥＡ，ＥＢが該当圧電素子１１ａ，１１ｂに印加される。 （もっと読む）

【課題】ノズル装置へ薬液(chemical liquid)を送給する薬液送給装置において、薬液送給初期の立ち上がりを良くして、薬液送給初期の時間を生産に使用できるようにして、生産性を向上させるようにすること。
【解決手段】ノズル装置に薬液を送給する薬液送給路の途中に設けられる主ポンプ及び副ポンプからなり、該主ポンプ及び該副ポンプは、立ち上がり時の送給流量が、主ポンプ≦副ポンプ、の関係にあり、定常送給時の送給流量が、主ポンプ＞副ポンプ、の関係にある。前記主ポンプと前記副ポンプは、立ち上がり時の内容積の膨らみ量が、主ポンプ＞副ポンプ、の関係にある。立ち上がり時の前記副ポンプの送給流量Ａと、立ち上がり時の前記主ポンプの内容積の膨らみ量と該薬液送給路の内容積の増加量の和Ｂが、Ａ≧Ｂ、の関係にある。 （もっと読む）