【課題】耐コンタミ性が高く、且つ形状の自由度が高いクッションバルブ装置を提供する。
【解決手段】クッションバルブ装置１１は、バルブブロック１２を有しており、バルブブロック１２は、第１通路と第２通路と第１排出通路３１を有している。第１通路は、操作弁８Ｌの第１給排通路９ａと切換弁の第１パイロット通路７ａとの間に介在し、第１絞り２４ａを有している。第２通路は、操作弁８Ｌの第２給排通路９ｂと切換弁の第２パイロット通路７ｂとの間に介在している。第１排出通路３１は、第１通路とタンク１０とに繋がっており、ここには、第１チェック弁３３が設けられている。第１チェック弁３３は、弁座部に着座して第１排出通路３１を閉じるポペット弁体と、第２給排通路９ｂのパイロット油の圧力が所定圧力以上になるとポペット弁体を動かして第１排出通路３１を開くピストンとを有している。 （もっと読む）

【課題】複数の流体機器ユニットとそれらにセットで取り付けられる外部流体機器とを効率よくコンパクトに配置可能な流体機構を提供する。
【解決手段】各流体機器ユニットの長手方向側面同士を密着させて配置するとともに、外部流体機器Ｖ１、Ｖ２を、流体機器ユニットの幅方向外側に並べて配置するようにした。さらに、外部流体機器Ｖ１、Ｖ２と流体機器ユニットとを接続する流入経路９ｃ及び流出経路９ｄにおいて、短い流入経路９ｃは長い流出経路９ｄに接続するようにした。 （もっと読む）

【課題】電磁弁を介して給排される圧力流体の流量の大流量化を図ることのできる電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】弁ボディ３２の第１側面３２ｂをスプール弁体の軸方向一端側よりも軸方向他端側の方が弁孔から離間するように形成するとともに、弁ボディ３２の第２側面３２ｃをスプール弁体の軸方向他端側よりも軸方向一端側の方が弁孔から離間するように形成した。そして、マニホールドベース２の前面２ｂに開口する第１出力流路１４に接続される第１出力ポート３８の対向面３２ａでの開口部３８ａを、第１排気ポート３６の対向面３２ａでの開口部３６ａよりも第１側面３２ｂ側に膨出した形状に形成した。 （もっと読む）

【課題】流体送出システムの複数の空気圧弁を作動させるとともに、中断しない流れの流体を供給することができるソレノイド組立体を提供する。
【解決手段】ソレノイド組立体１０は、複数のソレノイド弁２とマニホールド４とを具備しており、各ソレノイド弁２は、加圧不活性気体を供給する第１の手段に流体連通する内部圧力ポートと、非通電状態において内部アクチュエータポートに流体連通する内部逃しポートとを具備しており、マニホールド４は、各内部圧力ポートに流体連通する外部圧力ポート３と、複数のソレノイド弁２の各々に専用の外部逃しポート８とを具備しており、専用の外部逃しポート８は、ソレノイド弁２の一つが非通電にされたとき、加圧不活性気体を供給する第２の手段が外部逃しポート８に接続されて、当該のソレノイド弁２によって作動されていた空気圧弁に圧力を供給することができるように、ソレノイド弁２の内部逃しポートに流体連通する。 （もっと読む）

【課題】 サーモスタットの設置を容易とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 温度計測が必要な流体制御機器6と支持部材9との間にスペースSが形成されている。サーモスタットユニット10が、スペースS内に配されて、サーモスタット11が温度計測が必要な流体制御機器6に当接させられている。サーモスタット11は、支持部材9に取り付けられた取付け治具12に支持されている。取付け治具12は、支持部材9に固定される第１治具13と、第１治具13に固定された第２治具14と、第２治具14に移動可能に取り付けられてサーモスタット11が固定される第３治具15とからなる。第１治具13と第３治具15との間に付勢部材が介在されている。 （もっと読む）

【課題】圧縮空気を用いて配管内の流体の流通を制御するピストン弁装置において、ピストン往復動制御用の電磁弁からシリンダ蓋までの長い空気用配管を不要にし、施工や保守性に優れ低コストで、かつ制御応答性に優れたピストン弁装置及びピストン弁装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】バルブ本体４０に連結されたヨーク５０の開口部端面と、内周面がピストン摺動面に形成されたシリンダ蓋６０の開口部端面とが連結されたピストンケーシングを備え、ピストン摺動面に嵌合されたピストン１０に、ヨーク内で軸方向に往復動可能に支持されるとともにその先端に弁体３０を有するステム２０が連結され、圧縮空気を用いて駆動されるピストンによるステムの往復動により、弁体の操作が行われるピストン弁装置の、シリンダ蓋の外側一面に、圧縮空気を切替制御する電磁弁３００を備えている。 （もっと読む）

【課題】 チャンバ内に反応生成物に起因する不純物が入り込むことを防止することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 対称状に配置された同一形状の２つの開閉弁2,3を有している。各開閉弁2,3の出口に、互いに平行となるように同じ長さの流体排出通路6,7,11,12が設けられている。２つの流体排出通路6,7,11,12の出口に、各流体排出通路6,7,11,12に通じる同じ長さの流体通路25,26を有しチャンバに取付け可能な接続部材10が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】マニホールドプレートの機能を取り入れ、入力流路を流れる流体をスムーズに流すことができるパイロット式電磁弁を提供すること。
【解決手段】パイロット弁部２と、流路ブロック体１０とを備えるパイロット式電磁弁１において、流路ブロック体１０は第１入力ポート１２Ａと第２入力ポート１２Ｂと出力ポート１３とが形成された直方体の本体部１１を有すること、第１入力ポート１２Ａと第２入力ポート１２Ｂは本体部１１の対向する第１側面１１Ｃ及び第２側面１１Ｄに形成されていること、出力ポート１３は第３側面１１Ｅに形成されていること、第１入力ポート１２Ａと第２入力ポート１２Ｂを連通する直線状流路１４が形成されていること、直線状流路１４と出力流路筒状部１８の筒状部下面１８Ｂの間、及び直線状流路１４と出力流路筒状部１８の筒状部側面１８Ａの間に断面Ｌ字型流路１４０が形成されたパイロット式電磁弁を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ライン支持部材の位置決めを容易にすることで、組立て時間の短縮化を可能とするとともに、流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 ベース部材30は、上横枠部材31および下横枠部材32とこれらに直交する左右縦枠部材33,34とによって方形の枠状に形成されている。各横枠部材31,32に、各ライン支持部材40を位置決めするための位置決め部が設けられて、各ライン支持部材40の上下端部は、各横枠部材31,32の位置決め部によって位置決めされた状態で、各横枠部材31,32とベース部材30に着脱可能に取り付けられた上下カバー部材37,38との間に挟持されている。 （もっと読む）

【課題】コイルを付勢するコイル付勢手段の構造を簡素化して製造コストを低減させること。
【解決手段】ハウジング１０２の中間壁１０２ｂとコイル１３０との間には、コイル１３０を中間壁１０２ｂから離間する方向に向かって付勢する板ばね１２０が設けられる。この板ばね１２０は、中間壁１０２ｂに取り付けられる基部１２０ａと、基部１２０ａから略並行に延設されてコイル１３０を押圧する弾性部１２０ｂとを有する。また、基部１２０ａには、中間壁１０２ｂの３つの係止突起１２２が嵌合される孔部１２１が形成される。 （もっと読む）

【課題】 下段部材の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とするとともに、弾性部材による振動吸収効果をさらに高めた下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置を提供する。
【解決手段】 下段部材2を一旦固定した後に、所要の下段部材2を弾性部材21の弾性力に抗して上方に移動させることで、複数の下段部材2の上面位置を微調整可能な構成とされている。弾性部材21は、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされ、その内周面の上部および下部に、上下方向の力に対して弾性部材21の弾性曲げ変形を可能とするための切欠き21a,21bが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ラインの増設・変更に容易に対応できる集積化流体制御装置およびこのような流体制御装置を備えたガス処理装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置は、各ラインA1,A2,A3,A4,A5,B1,B2,B3が複数のブラケット8,9,18,19,20を介して基板1に着脱可能に取り付けられ、通路接続手段47,48が上方に取り外し可能とされている。複数の継手部材11,12,13,14,15,16,17として、複数の管状継手部材13,15,17と複数のブロック状継手部材11,12,14,16とが使用されている。 （もっと読む）

【課題】 部材の構造が簡素化されており、かつ、取付け作業を容易に行うことができるボルトの緩み防止装置を提供する。
【解決手段】 複数本のボルト5の各頭部にそれぞれ相対回転不可能に嵌め合わせられる複数個の嵌合部材2,3と、複数個の嵌合部材2,3にまたがって嵌め合わせられる係合部材4とを有している。各嵌合部材2,3の外周面2b,3bが非円形とされ、係合部材4に、複数個の嵌合部材2,3の各非円形外周面2b,3bに対応する複数の係合孔（非円形係合部）8a,8bが設けられている。 （もっと読む）

【課題】薬液循環と水循環とを行いつつ必要に応じて薬液を取り出す用途に適し、薬液等の流体が凝固しにくいコンパクトな流体機器ユニット構造を提供する。
【解決手段】流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材１０に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、薬液循環を行う第１薬液流出流路１２Ａを形成して隣接する手動操作弁３０Ａ、空気圧操作弁２０Ａ間の連結流路１５が流れ方向上流側から下流側へ下向きに傾斜している。 （もっと読む）

【課題】流体分配ヘッド組立用部品またはモジュラユニットからなる改良された流体分配ヘッド組立体の提供。
【解決手段】他の流体分配ヘッド組立用モジュラユニット１０と共に固定される流体分配ヘッド組立用モジュラユニットを具備し、得られた所定大きさの流体分配ヘッド組立体が顧客の分配または付着用途の要求を満たすことができるようにする。各流体分配ヘッド組立用モジュラユニットは、６個、８個、１０個のような所定数の分配弁要素３０を収容しまたは取付けるように組立てられる。特定の顧客が１２個、１４個、１６個、１８個、２０個のような数の分配弁３０を組込んだ流体分配ヘッド組立体を要求したならば、複数の流体分配ヘッド組立用モジュラユニットが相互に固定され、得られた組立体が所望数の流体分配弁を含むようにする。 （もっと読む）

【課題】シリンダポートの位置を変更することができる電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】バルブブロック２０及び給排気ブロック１１は、互いの連結面となる左右の側面１１ａ，２０ａが正方形状なす四角ブロック状に形成されている。そして、各バルブブロック２０及び給排気ブロック１１の側面１１ａ，２０ａの中心には集中給気流路１４，２４が形成されるとともに、集中給気流路１４，２４の周りには正方形の辺数と同数の集中排気流路１５，２５が等間隔ピッチで形成されている。さらに、各バルブブロック２０及び給排気ブロック１１の側面１１ａ，２０ａには、集中給気流路１４，２４と集中排気流路１５，２５との間をシールするシール部材１７，２８が配設されている。 （もっと読む）

【課題】複数の弁機構を合理的に配置することによって一層の小形化を実現すると共に流路形成を容易にした多連式電磁弁を得る。
【解決手段】１つの弁ボディ１０の内部に４つ以上の弁孔１１が平行に形成され、各弁孔１１内に流路切換用のスプール４が収容されている主弁部３と、パイロット流体により前記スプール４を駆動する電磁操作式のパイロット弁６を備えたパイロット操作部５とを有し、前記弁孔１１は、前記弁ボディ１０の内部に上下２段に配置されていて、上段及び下段にそれぞれ複数の弁孔１１が属し、上段の弁孔１１ａと下段の弁孔１１ｂとが弁ボディ１０の幅方向の互いに異なる位置を占めると共に、弁ボディ１０の平面視において上段の弁孔１１ａと下段の弁孔１１ｂとが部分的に重複する位置を占めている。 （もっと読む）

【課題】弁ボディと連結ボディとを連結してなるバルブケーシング上に電磁駆動部が設けられたとしても、電磁駆動部の防水性を確保することができる電磁弁を提供する。
【解決手段】弁ボディ１２、第１ピストン室形成体２１及び第２ピストン室形成体２６の上面は略同一平面上に位置するとともに、弁ボディ１２、第１ピストン室形成体２１及び第２ピストン室形成体２６の上面と弁部カバー４１の開口縁部との間には、第１ガスケット４２が配設されている。さらに、弁ボディ１２と第１ピストン室形成体２１との第１連結部位、及び弁ボディ１２と第２ピストン室形成体２６との第２連結部位には、張出シール部５１ｂが第１ガスケット４２に密着して設けられている。 （もっと読む）

【課題】薬液流路の切り離しにおける薬液の漏洩を抑制する技術を提供する。
【解決手段】本発明は、第１連結流路と第２連結流路とにおいて薬液の流路の連結と切断とが可能な薬液流路用連結装置１１を提供する。薬液流路用連結装置１１は、第１連結ユニットと第２連結ユニットとを有している。第１連結ユニットは、第１薬液流路と第１連結流路と掃通流体供給流路とに連通する第１薬液弁室と、第１薬液弁室の第１内壁面に形成されているとともに第１薬液流路に連通している第１薬液開口部を開閉する第１弁体と、掃通流体供給流路を開閉する掃通流体供給制御弁とを有する。第２連結ユニットは、第２薬液流路と第２連結流路と掃通流体排出流路とに連通する第２薬液弁室と、第２薬液弁室の第２内壁面に形成されているとともに第２薬液流路に接続されている第２薬液開口部を開閉する第２弁体と、掃通流体排出制御弁と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ブレーキ液圧制御ユニットにおけるハウジングの高速押出成形法で製造されたハウジングのブロック体であっても、できる限り広くかつ平坦な制御機器の搭載面を取得することが可能となるハウジングの加工方法を提供する。
【解決手段】引き抜き若しくは押し出し成形により前記ハウジングの基体であるブロック体を略直方体に形成するブロック体形成工程と、前記ソレノイドバルブを組み付けるための複数の取付孔を前記ブロック体の第１の面に、前記モータを取り付けるための孔を前記第１の面に対向する第２の面に、夫々形成する取付孔形成工程と、前記ソレノイドバルブ、及びモータを前記取付孔に取り付ける取り付け工程と、前記取り付け工程前に、前記第１の面の全面を所定の深さで平坦に切削する切削工程を有する。 （もっと読む）