【課題】冷媒流量の微調整を高精度に行うことのできる電子膨張弁および空気調和機を提供する。
【解決手段】電子膨張弁は、先端に弁部が形成された弁体と、この弁体が弁軸方向に移動することによりこの弁部との間に可変絞り部を形成する弁座と、パルス数に応じて弁部を移動させるステッピングモータとを備えている。そして、弁部の側面の少なくとも一部分は、開度比が一定となる形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】保持部材に対して弁体が回動し過ぎることを抑止して、圧力調整機能を確保することが可能な圧力調整装置を提供すること。
【解決手段】弁体５２は、略半球状の調芯ボール部５２ａと調芯ボール部５２ａの下端から下方に延びる比較的高さが低い円柱状部５２ｂとにより構成されている。弁保持部５１には下面から凹んだ凹部５１ａが形成され、凹部５１ａ内に調芯ボール部５２ａが収容されて、弁保持部５１が弁体５２を回動可能に保持している。弁体５２の円柱状部５２ｂの一部は、調芯ボール部５２ａの球状外周面を下方へ仮想延長した面よりも外方に突出している。 （もっと読む）

【課題】弁体の振動を防止する防振ばねの弁開閉方向の寸法を短縮して弁装置の小型化を図る。
【解決手段】弁本体３０には、弁室３５とオリフィス３２ａとが形成されている。弁体ユニット５０において、オリフィス３２ａに接離して流量を調節する弁体５８は、弁支持体５３によって支持されており、圧縮コイルばね８ｃによってオリフィス３２ａを閉じる閉弁方向に付勢されている。弁支持体５１は、弁体５８を支持する弁押え部５３と、弁押え部５３に一体的に形成されるとともに弁室３５の側面３５ａに沿って弁開閉方向と交差する方向に延びる複数のばね腕部５４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウエハが出し入れされる方向に対して斜めに開閉駆動されるゲート弁において、プラズマが回り込みやすい側のシール部材の劣化を抑制する。
【解決手段】ゲート弁は、プラズマ処理装置のチャンバに対してウエハが出し入れされるゲートに設けられ、ウエハの出し入れの方向に対して斜めに交差する斜め方向に開閉駆動される。ゲート弁は、本体部１と、本体部１に設けられ、ゲート弁が閉じたときに、ゲート１０の周縁部に当接するシール部２と、本体部１におけるシール部２が設けられる面から突出し、シール部２の前方において、プラズマが回り込みやすい側に隙間の狭隘部３０を形成する突出部３とを備える。 （もっと読む）

【解決手段】弁装置６は、ハウジング１２に形成された流体通路は所定の軸方向に沿って内周面が縮小する断面テーパ形状１６ａを有し、また弁体１４の中心Ｃ２と回転軸１３の回転中心Ｃ３とが離隔している。さらに、上記弁体１４はその外周が楕円状で薄肉状で形成された当接部１４ａを備え、上記回転軸１３の回転中心Ｃ３を、上記当接部１４ａが形成する平面に直交するとともに当接部１４ａの中心を通過する弁体中心軸Ｃ４と交差するように設けている。上記弁体１４を上記流体通路を閉鎖した閉鎖状態とすると、上記弁体１４の当接部１４ａが形成する面が上記断面テーパ形状１６ａの軸方向Ｃ１に対して所定の角度で傾斜して、上記当接部１４ａの全周が上記ハウジング１２の断面テーパ形状１６ａに線接触するようになっている。
【効果】簡易な構成ながら気密性の高い弁装置６を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】流体が外部に漏れるおそれが小さいバルブを提供する。
【解決手段】バルブ１００は、内部に流路が形成された弁箱１１０と、弁箱１１０の流路に配置される弁体１２０と、弁体１２０が係止される弁座１１１と、弁箱１１０の流路に配置され、弁体１２０を押して移動させることによって流路を開閉する押棒１３０と、を備え、押棒１３０の少なくとも一部の外周面にネジ山を有し、弁箱１１０の内周面にネジ山の直径より大きい直径のネジ溝を有し、押棒１３０がネジ溝に偏心可能に螺合され、流路方向を軸に弁箱１１０を円運動させることによって、押棒１３０が自転して流路方向に直動し弁体を押す。 （もっと読む）

【課題】バタフライ弁４が全閉位置に保持されている時の弁漏れを抑制できるバルブユニットを提供する。
【解決手段】弁漏れ防止手段は、バルブ通路２ａの内周に圧入固定されるノズル（第１のノズル１６と第２のノズル１７）と、このノズルに形成される周溝１８に配置される２個のシールリング１９、２０と、両シールリング１９、２０の間に配置されるバックアップリング２１とで構成される。２個のシールリング１９、２０は、バタフライ弁４が全閉位置に保持されている時に、縮径方向に作用する自己の弾性復元力により、リング内周面がバタフライ弁４の外周面に押圧されて密着している。バックアップリング２１は、両シールリング１９、２０に形成される合口隙間の間を遮断している。バタフライ弁４は、全閉位置が多少ばらついた場合でも、シールリング１９、２０との間に隙間が生じないように、径方向の外周面が球面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁体と弁座の間の圧接荷重が小さい状況下で密閉性を維持でき、しかも、大きな圧接荷重が連続して作用する状況下で弁体と弁座の高い耐久性を維持することのできる高圧ガス用開閉バルブを提供する。
【解決手段】パイロットバルブ２６には、円錐状に突出する第１の当接面３２を設け、パイロット弁座２７には、第１の当接面３２との初期当接部が円弧断面３３ａである環状の第２の当接面３３を設ける。第１の当接面３２は弾性を有する樹脂によって形成し、第２の当接面３３は金属によって形成する。圧接荷重の小さいときには、第１の当接面３２と第２の当接面３３とが線接触し、圧接荷重が増大すると、第１の当接面３２と第２の当接面３３とが面接触する。 （もっと読む）

【課題】高温で使用してもリークが生じない弁を提供する。
【解決手段】環状の弁座７と、弁座７と反対側に向かって外側に開いた、弁座７側に凸状の板状の弁体８と、弁体８の中央部を支持する支持部材９とを有し、支持部材９は、弁体８を弁座７に押圧し、弁体８を弾性変形させることによって、弁体８を弁座７に密着させる。 （もっと読む）

【課題】圧縮コイルばねに偏心等が生じている場合及び弁口に軸ずれ等が生じている場合でも、弁開閉時における圧縮コイルばね周りの摺動摩擦抵抗を可及的に低減することのできる電動弁を提供する。
【解決手段】圧縮コイルばね２４の下側巻端がばね受け部材２６により係止され、このばね受け部材２６と弁体２５との間にボール４０がその上下２カ所で（ばね受け部材２６と弁体２５に）点接触するように配在されるとともに、ばね受け部材２６の下面ほぼ中央にその最深部が位置するように，実質的に球面、楕球面、円錐面等の曲面で構成された調芯用凹部２６ｃが設けられる。この調芯用凹部２６ａ及びボール４０の作用により、上記摺動摩擦抵抗を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】管路を流れる流体の中心軸を中心として流量調節体を回転させることにより回転量を長さで変換させ、コーン部との間隔調節によって通過流量を調節しうるようにして、螺合方式によって微細流量の調節が可能であるうえ、設置装置を減らして狭い空間にも装着して使用し得るようにした、精密な圧力および流量調節が可能なコーンバルブを提供する。
【解決手段】本発明の精密な圧力および流量調節が可能なコーンバルブは、長さ方向に流路が設けられ、該流路の内部にはコーン部を有する第１胴体と、一端を前記第１胴体に結合して回転させることにより、前記コーン部との間隔によって流量を調節する流量調節体と、前記流量調節体の他端を受け止め、パイプに連結される第２胴体とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】弁体とのシール性を確保しつつ、制御する流体を流し続けている間、その流量変動を小さく抑制することができる流体制御弁の弁座構造を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁体と、入力ポートと出力ポートとが形成されたボディ４０と、ボディ４０に設けた弁座部材５０とを有し、弁座部材５０に対し、ダイヤフラム弁体が当接または離間することにより、高温ガスの流れを制御するガス制御弁の弁座構造において、弁座部材５０は、リング状に形成され、ダイヤフラム弁体が当接する弁体当接離間部５１を有し、弁座部材５０の径方向ＣＲに対する弁体当接離間部５１の肉厚を、第１肉厚ｔ１とすると、当該ガス制御弁１の軸線方向ＡＸに沿う方向に対し、弁座部材５０の高さである第２肉厚ｔ２が、０．５ｔ１≦ｔ２≦１．５ｔ１の範囲内で形成されていることを特徴とする流体制御弁の弁座構造。 （もっと読む）

【課題】弁体が非接触であり、排気能力が高く、応答速度も速いという長所を維持しつつ、気密性を向上させて、高圧力下における高速処理に対応しうる流路開閉装置を提供する。
【解決手段】流体を流すための流路２１を有するボディ２０と、流路２１内でこの流路２１に対して垂直な回転軸を中心として回転可能な弁体２３と、を備えたバタフライバルブであって、弁体２３の縁部に沿って、弁体２３の全閉時に形成されるボディ２０と弁体２３との隙間ａにおける流路方向のシール長Ｌを拡張するシール長拡張壁６６を突設している。 （もっと読む）

【課題】弁ポートをニードル弁で開閉して冷媒の流量を制御する電動弁において、弁ポートでの冷媒の流れを安定化して騒音を低減する。
【解決手段】弁座部１に断面円形状で内径Ｄ１の第１弁ポート１１と内径Ｄ２の第２弁ポート１２を形成する。二次継手管４２の内径Ｄ３に対して、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３とする。第１弁ポート１１と第２弁ポート１２の間にテーパ部１３を設ける。テーパ部１３の内側面の成す角度（α１）を５°≦α１≦３０°の範囲に設定する。テーパ部１３に対して第２弁ポート１２の内側面をストレートな円柱形状とする。ニードル弁５１との隙間を通った冷媒が、テーパ部１３を経由し二次継手管４２に到達する前に第２弁ポート１２内で流速を減速させる。さらに、ストレートな第２弁ポート１２を設けることで、二次継手管４２側で冷媒に自由せん断面が生じるのを抑え、冷媒が二次継手管４２に到達する前に流れを安定化させる。 （もっと読む）

【課題】弁体と弁座の当接位置間際においても比例的な流量制御を正確に行うことができ、全流量も最大流量を確保することができる三方弁を提供する。
【解決手段】本三方弁１は、第１、第２、第３のポート１１，１２，１３を開設するケーシング２内の流路１４に第１の弁座３１と第２の弁座３２とが対向して設けられ、第１の弁座３１と第２の弁座３２とに対してモータに連結する１本のシャフト４に取り付けられた第１の弁体５１と第２の弁体５２とがそれぞれ配置されている。第１、第２の各弁体５１，５２は、それが当接又は離間する第１、第２の各弁座３１，３２を形成する開口に向かって外径が縮径した形状に形成されるとともに、第１、第２の各弁座３１，３２との当接位置及びその付近の基部５３と、基部５３より先端側に突設された頭部５４とを有し、且つ基部５３の傾斜角θ１が頭部５４の傾斜角θ２よりもゆるやかに形成された外周面を備える。 （もっと読む）

【課題】付勢手段によって弁座に付勢される弁体を弾性材料から形成した場合でもシール性が高い逆止弁を提供すること。
【解決手段】逆止弁１４は、上端開口２２５ｂが設けられた弁座１１１と、弁座１１１に当接して上端開口２２５ｂを塞ぐ弁体１１２と、弁体１１２を弁座１１１に付勢する圧縮コイルバネ１１３を備える。弁体１１２は、閉鎖部１１４と、上端開口２２５ｂの周りに当接する円環状突部１１５を備える。円環状突部１１５は、三角形状の径方向断面を有しており、弁座１１１と内周側傾斜面１１５ｂとが成す内周側当接角αが、弁座１１１と外周側傾斜面１１５ｃとが成す外周側当接角βよりも小さくなっている。この結果、弁体１１２が弁座１１１に付勢される際に、円環状突部１１５の変形を、頂部１１５ａが外周側にずれる方向に変形するように規定できるので、弁体１１２によるシール性が向上する。 （もっと読む）

【課題】円形断面の弁体によって通路を開閉するバルブ装置と提供すること。
【解決手段】弁室１２には弁座面１２３ａが形成され、弁座面１２３ａには上流端開口３ａが露出している。弁体１４は弁座面１２３ａとの間で弁体１４を転動可能に保持する傾斜面１５２ａと上流端開口３ａを開放する際に弁体１４を移動させる当接面１５２ｃを備える。傾斜面１５２ａは、弁体保持部材１５が第２位置１５Ｂに位置したときに、弁体保持部材１５が第１位置１５Ａに位置したときよりも弁座面１２３ａに接近するように傾斜している。第１位置１５Ａから第２位置１５Ｂへ弁体保持部材１５を移動させると、傾斜面１５２ａにより弁体１４が閉じ位置１４Ｂに移動させられて上流端開口３ａを閉鎖する。第２位置１５Ｂから第１位置１５Ａへ弁体保持部材１５を移動させると、当接面１５２ｃにより弁体１４が開き位置１４Ａに移動させられ上流端開口３ａを開放する。 （もっと読む）

【課題】要求流量の大きい給水設備や、設置スペースに制約のある供給設備に対しても設置できるように、小型化の可能な定流量弁を提供する。
【解決手段】 この定流量弁は、弁体をなす円錐形状のコイル状バネと、流体の流路を形成し、コイル状バネの小径端部側が流路の上流側を向くように当該コイル状バネを流路内に収容する筐体と、コイル状バネの各巻線間を通過する流体とは別個に流体を流すバイパスとを備える。 （もっと読む）

【課題】閉じ状態にある弁体にこれを押し開こうとする逆圧が作用した場合であっても、弁体によって開口部を確実に閉じて流体の漏れを防ぐことができる開閉バルブを提供すること。
【解決手段】バルブボディ２に開口する開口部３をバルブボディ２内を移動する弁体６によって開閉する開閉バルブ１において、前記弁体６の外周面にネジ６ａを刻設するとともに、前記バルブボディ２の前記開口部３近傍の内周面に、前記弁体６の外周面に刻設されたネジ６ａに選択的に螺合するネジ２ａを刻設し、弁体６側のネジ６ａがバルブボディ２側のネジ２ａに螺合している状態で弁体６を回転させてバルブボディ２の前記開口部３を弁体６によって開閉する。又、前記弁体６を駆動するアクチュエータとして、弁体６の直線運動と回転運動を複合的に行わせるロータリクランプシリンダ７を使用する。 （もっと読む）

【課題】開閉弁本体の肉厚等を厚くすることなく、弁本体寸法を大きくせずに開閉弁本体の弁座部に歪が発生し冷媒洩れすることを防止すること。
【解決手段】開閉弁１０の弁棒１５を受入れ螺着する開閉弁本体１１の弁棒受入部１６の弁座部１６ｂに樹脂コーティングしたことにより、弁棒１５と弁座部１６ｂの螺接精度を上げて冷媒漏れを低減し気密性を有することとなり、冷媒漏れを低減したので、液側三方弁本体１１の肉厚等を従来より薄くすることができ、弁本体寸法が小さくなり室外機の配管カバーサイズも小さくでき、コンパクトで設置性を向上させることができる。 （もっと読む）