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Fターム[3H052CA15]の内容

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【課題】ウエハが出し入れされる方向に対して斜めに開閉駆動されるゲート弁において、プラズマが回り込みやすい側のシール部材の劣化を抑制する。
【解決手段】ゲート弁は、プラズマ処理装置のチャンバに対してウエハが出し入れされるゲートに設けられ、ウエハの出し入れの方向に対して斜めに交差する斜め方向に開閉駆動される。ゲート弁は、本体部1と、本体部1に設けられ、ゲート弁が閉じたときに、ゲート10の周縁部に当接するシール部2と、本体部1におけるシール部2が設けられる面から突出し、シール部2の前方において、プラズマが回り込みやすい側に隙間の狭隘部30を形成する突出部3とを備える。 (もっと読む)


【課題】弁座と弁体との気密を良好に保持し、しかも両者の寿命を長くできるバタフライ弁の気密構造を提供する。
【解決手段】バタフライ弁の気密構造は、弁体の外周縁の弁軸の周りに形成され互いに外向きに突出する凸球面状の一対の摺接端と、弁座1の内周面13にその周方向に延びるよう形成され弁体の外周縁を密接させる凹条部15と、弁座1の両端9を限界とし弁座1の内周面13の一対の軸孔19の周りの領域を、内周面13の内側へ向けて平面状に突出させた一対の可撓部17と、一対の可撓部17に形成され弁体の一対の摺接端をそれぞれ摺接させる凹球面状の一対の支軸部21とを備える。 (もっと読む)


【課題】弁体と弁座の間の圧接荷重が小さい状況下で密閉性を維持でき、しかも、大きな圧接荷重が連続して作用する状況下で弁体と弁座の高い耐久性を維持することのできる高圧ガス用開閉バルブを提供する。
【解決手段】パイロットバルブ26には、円錐状に突出する第1の当接面32を設け、パイロット弁座27には、第1の当接面32との初期当接部が円弧断面33aである環状の第2の当接面33を設ける。第1の当接面32は弾性を有する樹脂によって形成し、第2の当接面33は金属によって形成する。圧接荷重の小さいときには、第1の当接面32と第2の当接面33とが線接触し、圧接荷重が増大すると、第1の当接面32と第2の当接面33とが面接触する。 (もっと読む)


【課題】工具類の到達がし難く、また目視も困難な構造であっても、シャフトへの弁体の取り付けが容易なバルブユニットの提供。
【解決手段】バルブユニットは、流体通路11を備えるバルブハウジング1と、流体通路11を開閉するバタフライバルブ2とからなる。バタフライバルブ2は、流体通路11と交差して配されたシャフト3に、流体通路11の開度調整するための弁体4が、バネ力で固されている。シャフト3へ弁体4をバネ力で固着する手段としては、板状弾性体で弁体4を形成し、この弁体4の中央部を半筒状に曲げて略半筒部43を形成し、流体通路11に露出したシャフト3の中間部に外嵌めするか、またはシャフト3に、弁体4を、別体の固着バネを用いて固定する。 (もっと読む)


【課題】運転停止時に氷結した氷によって弁体が本体に対して移動不能となることを防止できるエジェクタを提供する。
【解決手段】本発明のエジェクタ18は、第1ガスの流れによって第2ガスを吸引し、第1ガスと第2ガスを混合して吐出する。エジェクタ18の本体40には、第1ガスと第2ガスの少なくとも一方が流れるガス通過口52が形成されている。ガス通過口52に対して進退動可能に弁体60が配置されており、弁体60はガス通過口52のガス通過面積を変化させる。弁体60を形成する材料の熱容量は、本体40を形成する材料の熱容量よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】制御流体の粘性変化の影響を少なくした流量調節弁を提供する。
【解決手段】軸方向に摺動可能に嵌合された摺動軸30および摺動円筒面21aと摺動軸を移動する移動機構40を有し、摺動軸30表面に形成された三角形状テーパ溝33と摺動円筒面21aとの間で流体の制御を行う。また、前記三角形状テーパ溝33は所定関数に従って漸減または漸増する形状とし、移動機構40の駆動軸30と摺動円筒面21aとを互いに熱膨張係数の異なる材料により構成し、温度変化による流路区間の変化と粘性抵抗の変化での流量変化量とが打ち消し合うよう構成の流量調節弁。 (もっと読む)


【課題】極めてシンプルな構造で、微細化・集積化が容易に可能で、高い耐久性を有し、高圧で粘度の高い流体または弁の出入口間における圧力差が大きくても弁が損傷することなく、安定かつ確実に弁の開閉動作が行われ、流路の開閉および流量調節を行える流量調整器を提供する。
【解決手段】微小球2が第1の位置に移動したときに、流路A,B内を流れる非磁性流体の流量は、微小球2が第2の位置に移動したときに、流路A,B内を流れる非磁性流体の流量よりも少ないので、極めてシンプルな構造で、微細化・集積化が容易に可能で、高い耐久性を有し、高圧で粘度の高い流体または微小球2の出入口間における圧力差が大きくても弁が損傷することなく、安定かつ確実に弁の開閉動作が行われ、流路の開閉および流量調節を行える流量調整器を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】 第1、第2弁体部で構成され、流体圧が作用する第1弁体部の外径が大きくても小さい力で開弁でき、閉弁時には第2弁体部を確実に弁座部に当接できる構造を得る。
【解決手段】 入口側の第1弁座部にある大径の第1弁体部と、出口側の第2弁座部にある小径の第2弁体部とを分離可能に重ね、弁体を構成し、第1弁体部を弾性材料で形成し、第2弁体部も弁座部と当接する部分以外を剛性材料で形成し、第1弁体部の中央には弁操作軸を貫通させる貫通孔を形成し、弁操作軸の先端を第2弁体部と接続し、第1弁体部と弁操作軸との間には、開弁時に、相互に係合して第1弁体部の中央部を第2弁体部から離反方向へ移動させる第1弁体部移動手段を備え、また弁操作軸の先端と第2弁体部の接続部には、第2弁体部の開弁動作を遅らせ、第1弁体部の移動動作を優先させ、第2弁体部を前記弁操作軸に対して直交する姿勢を保持させる第2弁体部開弁動作遅延手段を備えた。 (もっと読む)


オリフィス(52)を持つバルブ本体(16)と、バルブ本体に受け入れられ、軸線(A)に沿ってオリフィスに関して移動自在のバルブ部材(20)とを含むバルブ組立体(10)である。バルブ部材は、バルブ部材の端部(22)にカップ(24)を有し、このカップの端壁(25)がバルブ本体のオリフィスに面する。支点(28)が、カップの端壁からオリフィスに向かって延びており、プラグ(30)がカップに受け入れられて支点に当たり、バルブ本体のオリフィスと向き合っている。バルブ部材を軸線に沿ってオリフィスに向かって移動すると、プラグがバルブ本体と接触してオリフィスをシールする。バルブ組立体(10)は、更に、バルブ部材の端部に固定された外部分(34)と、プラグをカップ内に保持する可撓性アーム(36)とを持つ平らなばね(32)を含む。これにより、プラグは、支点を中心として関節連結でき、バルブ本体に関して適切に整合され、バルブ部材を軸線に沿ってオリフィスに向かって移動したとき、オリフィスを完全にシールする。
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【課題】 シート部と弁体との氷結による固着を防止する。
【解決手段】 シート部37を、その上端がバルブボディ内流路39の底面40aより上方位置となるように、シート部保持ばね45で弾性支持する。このときシート部37の側面に設けたバイパス通路37cがバルブボディ内流路39の水平流路40に開口している。システム停止時には、弁体35がシート部37に着座して開口部37eを塞いだ状態となり、燃料電池1からバルブ構造部に流れてきた水は、バイパス通路37cを通過してシート部内流路37dに流れ込み、下流に流れていく。このため、弁体35が着座しているシート部37の先端が水に漬かることを防止でき、燃料電池停止後に周囲温度が氷点下になったとしても、弁体35とシート部37との氷結による固着を防止できる。 (もっと読む)


穴18及び穴まで伸びるポート20を有する弁体と、穴内に受け入れられ、端部壁24及び側壁26を有するオリフィス部材22とを備え、オリフィス部材は、弁体のポートとの流体的連通状態を提供するオリフィス28を画成する弁組立体である。弁部材30がオリフィス部材内に受け入れられ且つ、軸線に沿ってオリフィスに対して可動であり、薄板ばね34がオリフィス部材の側壁に固定され、また、弁部材に固定されたアームを有している。弁座38は、端部壁に固定され且つ、オリフィスの上方の開口部を画成し、プラグ42は弁座に対向する弁部材の一端に固定され、弁部材が軸線に沿ってオリフィスに向けて動いたとき、プラグがシールに接触して開口部を密封する。
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