【課題】コンパクトで、不要に流体を排出することなく、乱流の発生を抑制できる液垂れ防止バルブを提供すること。
【解決手段】弁体１１とスプリング１２を収納する収納室７，８の内壁に弁座面１３が形成されており、収納室７，８に連通して薬液等を吐出するノズル流路９を備えるバルブ本体２を有し、スプリング１２の内部空間がノズル流路９と連通しており、スプリング１２のバネ荷重が、ノズル流路９から薬液等を吐出する場合に入力ポート５に供給される薬液等の流体圧より小さく設定され、入力流路６に接続される配管Ｌ１に残った薬液等の水頭圧では弁体１１を弁座面１３に当接させて弁閉する値に設定され、ノズル流路９の全長Ｄ４がスプリング１２の内部空間の全長Ｄ３より長い。 （もっと読む）

【課題】弁座と弁体との気密を良好に保持し、しかも両者の寿命を長くできるバタフライ弁の気密構造を提供する。
【解決手段】バタフライ弁の気密構造は、弁体の外周縁の弁軸の周りに形成され互いに外向きに突出する凸球面状の一対の摺接端と、弁座１の内周面１３にその周方向に延びるよう形成され弁体の外周縁を密接させる凹条部１５と、弁座１の両端９を限界とし弁座１の内周面１３の一対の軸孔１９の周りの領域を、内周面１３の内側へ向けて平面状に突出させた一対の可撓部１７と、一対の可撓部１７に形成され弁体の一対の摺接端をそれぞれ摺接させる凹球面状の一対の支軸部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁体と弁座の間の圧接荷重が小さい状況下で密閉性を維持でき、しかも、大きな圧接荷重が連続して作用する状況下で弁体と弁座の高い耐久性を維持することのできる高圧ガス用開閉バルブを提供する。
【解決手段】パイロットバルブ２６には、円錐状に突出する第１の当接面３２を設け、パイロット弁座２７には、第１の当接面３２との初期当接部が円弧断面３３ａである環状の第２の当接面３３を設ける。第１の当接面３２は弾性を有する樹脂によって形成し、第２の当接面３３は金属によって形成する。圧接荷重の小さいときには、第１の当接面３２と第２の当接面３３とが線接触し、圧接荷重が増大すると、第１の当接面３２と第２の当接面３３とが面接触する。 （もっと読む）

【課題】長期にわたってシールリングに対する摺動箇所の摩耗を抑えることのできる信頼性の高いＥＧＲバルブを提供する。
【解決手段】樹脂製の内側樹脂環５を金属製の外側金属環４内に圧入し、内側樹脂環５が圧入された外側金属環４をガス通路２内に圧入する。これにより、金属製のシールリング８が樹脂製の内側樹脂環５と摺動することになり、シールリング８とボア環９の摩耗を抑えることができ、ＥＧＲバルブ１の信頼性を高めることができる。また、内側樹脂環５を外側金属環４の内周面に圧入した後に、内側樹脂環５の内周面を切削研摩するため、内側樹脂環５の内径精度を高めることができ、精度低下による弁漏れを防ぐことができる。さらに、内側樹脂環５がボディ凸部１４と金属環凸部１５の間に支持されるため、内側樹脂環５の圧入代がクリープや線膨張によって小さくなったとしても、内側樹脂環５の位置ズレや、内側樹脂環５が外れる不具合を回避できる。 （もっと読む）

【課題】弁箱の流体路の内面にライニング層を必要とするバタフライ弁において、そのバタフライ弁の弁箱を、複数の構成部材に分割して製作可能とする。
【解決手段】内部に流体路を有する弁箱１と、その弁箱１の内部に設けられた弁軸２と、その弁軸２に取り付けられた弁体３とを備え、前記弁箱１は、前記流体路Ｆ周りに複数の金属製の構成部材１１に分割されてその複数の構成部材１１，１１を締結することにより前記流体路Ｆが構成されるバタフライ弁である。流体路Ｆの内面にゴム又は樹脂のライニング層１０が施され、前記複数の構成部材１１，１１は、対向する金属の素材同士が直接接触した状態で締結される。分割して製作された構成部材１１，１１同士は、金属の素材同士が直接接触した状態で締結されるので、流体路Ｆの内径寸法の精度の悪化を防ぐことができる。また、その接合部がメタルタッチであるから、経年による接合面間の緩みや隙間の発生を防ぐこともできる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い流体圧に耐えうる弁座体、およびこの弁座体を備えた弁装置を提供する。
【解決手段】弁装置２０は、弁体４と弁座体５とを備えている。弁座体５は、軸線方向Ｚに延びる厚肉円筒形状をなし、その外周に周方向に連続するシール溝５９を有し、その内周に軸線方向Ｚに連続する大径部５１および小径部５２を有し、大径部５１と小径部５２の間に弁体４が着座する弁座部５４を有している。シール溝５９の軸線方向Ｚの位置は、弁座部５４の軸線方向Ｚの位置と同じかそれよりも高圧側にある。 （もっと読む）

【課題】開閉動作が迅速で、かつ、正確に行うことができるバルブ及びそれを用いた塗工装置を提供する。
【解決手段】バルブ１０の第１の出口１６からダイ１０４に塗工液を供給し、バルブ１０の第２の出口１８から塗工液のタンク１１０に塗工液を循環させ、バルブ１０の第１の出口１６の第１の弁体２６を第１のボイスコイルモータ３０によって開閉し、第２の出口１８の第２の弁体２８第２のボイスコイルモータ３２によって開閉することにより、走行するウエブＷに間欠塗工を行う。 （もっと読む）

【課題】開閉弁内部における液体の流れを蛇行させることなく、液体の圧力損失を低下させ、開閉弁の流路内に残留した液体を短時間で効率的に洗浄し得るようにする。
【解決手段】開閉弁は第１のポート１１と第２のポート１２とを連通させる連通室３６が形成された弁体収容ブロック１０を有し、弁体収容ブロック１０の弁体収容孔１３内には両方のポート１１，１２を連通状態と遮断状態に切り換える弁体１６が設けられている。第１のポート１１は連通室３６を形成する円錐面形状の円錐弁座面３４ａに開口しており、第２のポート１２は円錐弁座面３４ａよりも大径側部分で連通室３６に連通する。弁体１６と連通室３６の開口端との間はダイヤフラム３９によりシールされている。 （もっと読む）

【課題】「面圧発生クリアランスα」と「調芯用クリアランスβ」にデポジットが入り込む不具合を回避するとともに、シート部材に作用する「内径方向力Ｆｙ」を小さくできるＥＧＲバルブを提供する。
【解決手段】ＥＧＲバルブは、シート部材５のＥＧＲガス上流側および下流側より挿し入れられた上流側筒状シール部材９および下流側筒状シール部材１０によって「面圧発生クリアランスα」および「調芯用クリアランスβ」の上流側と下流側が閉塞されるため、デポジットがクリアランスを塞いでシート部材５がフローティングされなくなる不具合を回避できる。また、上流側および下流側より挿し入れられた可撓変形可能な上流側筒状シール部材９と下流側筒状シール部材１０によってシート部材５が径方向へ変位可能に支持されるため、シート部材５に作用する「内径方向力Ｆｙ」を小さくでき、ボール面４ａとシート面５ａに生じるコジリを弱くできる。 （もっと読む）

【課題】開度上昇に伴う面圧の上昇を抑えて、長期に使用しても局部摩耗の発生を抑えることができる信頼性の高いＥＧＲバルブを提供する。
【解決手段】ＥＧＲバルブは、ＥＧＲ流路内で回転駆動されるボール弁体４と、このボール弁体４に向けて付勢されるシート部材５とを備え、ボール弁体４の外周縁に形成される「ボール面４ａの球面」と、シート部材５の端縁に形成される「シート面５ａの球面」は、曲率が一致するように設けられる。このシート部材５の上下には、シャフト８の投影面積に収まる凸部９が、内径方向に突出して設けられており、この凸部９によってシート面５ａを局部的に広げて、開度上昇に伴う面圧の増加を抑えている。これにより、体格の増加を防いで、局部摩耗を防ぐことができ、長期に亘ってＥＧＲガスの漏れを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 全開側の圧力損失を極めて小さく抑えることのできるＥＧＲバルブを提供する。
【解決手段】 ＥＧＲ流路１内においてシャフト４を分断することと、円板弁７、第１、第２弁支持部８、９の３者をプレス成形品で略コ字形に設けて弁本体３を極めて薄くすることにより、全開側における流路抵抗を極めて小さくすることができ、超低圧損を実現できる。また、弁本体３をプレス成形品で設けることで、弁本体３のコストを低く抑えることができる。さらに、ベローズ１４および３つの薄肉膨出部のバネ作用によって弁座リング１２を全三次元方向へ変位可能に支持することと、弁座リング１２に設けたテーパ面に円板弁７が調芯することにより、弁本体３をプレス成形品で設けることによる精度低下を吸収させることができ、閉弁時におけるＥＧＲガスの漏れを確実に防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 弾性スプリング５のセット荷重を低減することで、バタフライバルブ３または弾性スプリング５の摺動摩耗を低減してシール性能および耐久性を向上することを課題とする。
【解決手段】 バルブハウジング１に弾性スプリング５を組み付けた後、つまりバルブハウジング１の圧入部２５に弾性スプリング５の外周部を圧入固定した後に、バルブシャフト２の軸方向部４３の平面部４５にバタフライバルブ３を仮組み付けした状態（仮固定状態）で、弾性スプリング５自身の弾性力を利用して弾性スプリング平面方向へのバルブ位置調整を実施することで、弾性スプリング５の中心にバタフライバルブ３の中心軸を一致させることができる。したがって、弾性スプリング５のセット荷重を低減することができるので、シール性能および耐久性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】開口形成面に密着する弁体の円環状突部をつぶれやすくすることにより、開口部を確実に閉鎖できるバルブ装置を提供すること。
【解決手段】開口部１０が形成された開口形成面２１２ｂに対して垂直方向から押し付けられるダイヤフラム弁１１の円環状突部１２３は、一定高さの円環状の頂部１２３ａと、この頂部１２３ａに対して径方向内側で連接する内周側傾斜面１２３ｂと、頂部１２３ａに対して径方向外側で連接する外周側傾斜面１２３ｃとが全周にわたって形成された略三角形の径方向断面を有する。開口形成面２１２ｂと内周側傾斜面１２３ｂとが成す内周側当接角θ１を開口形成面２１２ｂと外周側傾斜面１２３ｃとが成す外周側当接角θ２よりも小さくしたので、円環状突部１２３がつぶれやすく、この結果、円環状突部が開口形成面に確実に密着し、これらの間のシール性が良好になり、開口部を確実に閉鎖できる。 （もっと読む）

【課題】サニタリー仕様の輸送配管に好適なベローズバルブとして、ベローズの収縮状態において液溜まりを生じず、スチーム滅菌における液溜まりに起因した滅菌不良や、送液稼働中の液溜まりの残留液による品質低下や衛生不良を確実に防止でき、ベローズによる圧損が少なく、合成樹脂製のベローズでも優れた耐久性が得られるものを提供する。
【解決手段】垂直方向に沿う弁作動軸２の昇降によって開閉する弁部を有し、弁ケース１における弁作動軸２の軸通部１１が弁開閉に伴って上下に伸縮するベローズ３によって封止されている。ベローズ３は、合成樹脂製で略円錐状をなし、小径端３ａ側で弁作動軸２の外周に嵌着し、大径端３ｂ側で弁ケース１側に嵌着し、収縮状態における環状凹凸部３０の縦断面がくの字形の反復屈曲によるジグザグ状に形成され、上方に臨む各環状外周面３０ａが外側へ下り勾配の傾斜面をなす。 （もっと読む）

【課題】流体の流入部や流出部に対して弁体が弁室側に向かって移動することで、流体の流れを止めることが可能なバルブ機構であって、小型化が可能なバルブ機構を提供すること。
【解決手段】バルブ機構４は、内部に弁室１０と流入部１２と流出部１３とが形成される本体部１１と、流入部１２を開閉するための弁体１４とを備えている。流入部１２には、小径部１２ａと大径部１２ｂとが形成され、小径部１２ａは、大径部１２ｂよりも弁室１０側に配置されている。弁体１４は、弁室１０および流入部１２に配置される軸部１４ｆと、軸部１４ｆと一体で形成され大径部１２ｂに配置される弁部１４ｃとを備えている。弁部１４ｃの径は、小径部１２ａの径よりも大きくかつ大径部１２ｂの径よりも小さく形成されており、弁部１４ｃは、小径部１２ａと大径部１２ｂとの境界部１２ｄを開閉する。 （もっと読む）

【課題】閉弁時にリーク流通路以外からの流体の流出を抑制することができ、しかも閉弁時における微小流量の変更を容易に行うことができるダイヤフラム弁を提供する。
【解決手段】流入路１１ａと流出路１１ｂとを形成すると共にその経路中途部に弁室１１ｃを形成した弁箱１１と、弁室１１ｃの底壁に開口する流入路出口縁部を取り巻く厚肉筒体状の弁座補強部材としての弁座カラー１２と、弁座カラー１２から一部が突出するように嵌合保持された樹脂製の弁座１３と、弁座１３の突出部に接近・離反することで閉弁・開弁するダイヤフラム１５と、少なくとも弁座カラー１２を弁室１１ｃの底壁に向けて押圧する押圧部材としてのシートリング１４と、を備えると共に、弁座カラー１２に、流入路１１ａと流出路１１ｂとを連通するリーク流通路２０と、弁室１１ｃの底壁との接触面から突出する環状リブ１２ａと、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ディスペンスヘッド用ポペット弁を提供する。
【解決手段】 ディスペンスヘッド（４０）は再循環した流体をドラム挿入部（２２）の下パイプ（３２）を取り囲む環状の空間に吐出する帰還管路（５２）を有する。気泡減少装置（１９２）は再循環した流体により生成される気泡を最小にする。スプリング（７４）により付勢されたポペット弁（７０）は、ディスペンスヘッド（４０）が栓開口（３０）から取り外された場合に閉鎖される。密閉確認導管（５６）は、ディスペンスヘッド（４０）及びドラム挿入部（２２）の接合部分において２個の密閉部（１３８）の中間の空間と流体が流れるように連通する。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子の製造において反応容器内の圧力を、１つで調整することができ、圧力の調整範囲が広く、かつ反応容器内における異物の舞い上がりを防止することのできる半導体素子製造用の圧力調整弁およびこれを備える半導体素子製造装置を提供することである。
【解決手段】 半導体素子製造用の圧力制御弁２１は、筒体３３と、弁体３４と、弁体駆動部３７とを含んで構成される。筒体３３は、内部に筒体３３内空間が形成され、開口部３６と弁座３５とを有する。開口部３６は、外部空間に開口する。弁体３４の変位方向Ｚに垂直な断面の形状は、円形に形成され、弁体３４は、筒体３３内空間から弁座３５に向かって先細状に形成される。弁体３４の弁座３５側の先端における直径は、弁座３５に形成される弁口の内径よりも小さく設定される。弁体駆動部３７は、弁体３４を変位方向Ｚに変位させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂同士の超音波溶着を利用することで、金属部品である内機部品と樹脂製の弁本体を簡単で且つ安価な工程で一体化させることができる弁装置用の弁本体構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】弁座部材５は、環状の弁座５ａを提供する金属製の環状の弁シート３０の外側にインサート成形する等して樹脂層３１を予め形成することで構成されている。樹脂層３１は、弁本体２と同じ樹脂製とするのが好ましい。超音波ホーンで発生された超音波振動を弁シート３０に与えながら、弁座部材５を弁本体２の配管接続部３内に押し込むことで、樹脂層３１と弁本体２との寸法上重なる樹脂部分が摩擦熱によって溶融し溶け合って、冷却時に一体化される。 （もっと読む）

【課題】耐圧性に優れた流体制御バルブを有するマイクロチップを提供する
【解決手段】内部に流路ＦＡが形成されたチップ本体と、流路ＦＡを開閉する流体制御バルブ４０と、を備えたマイクロチップであって、流体制御バルブ４０は、チップ本体に形成され流路ＦＡに連通する孔部４１と、孔部４１に挿入された閉塞部材４２と、孔部４１と閉塞部材４２との間に充填され閉塞部材４２を流路ＦＡ側に変位可能に支持する充填部材４３と、充填部材４３の孔部４１からの離脱を防止する離脱防止手段４４と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）