【課題】耐久性を十分に確保できるバタフライバルブを備えた燃料電池システムを提供することを目的とする。
【解決手段】燃料電池システム１には、空気の流量を制御するバタフライバルブ４０Ａが設けられる。バタフライバルブ４０Ａは、ノーマルクローズ構造であり、筒状のハウジング４１と、バルブ本体４２と、シート部４３と、を備える。バルブ本体４２のシール面４２３は、バルブ本体４２のシャフト４２２に対してオフセットしており、バルブ本体４２をシート部４３側に向けて、バルブ本体４２のシール面４２３をシート部４３に着座させることにより、バタフライバルブ４０Ａを閉鎖し、バルブ本体４２をシート部４３の反対側に向けて、ハウジング４１の流路断面積に対するバルブ本体４２の割合を調整することにより、バタフライバルブ４０Ａの流量を制御する。 （もっと読む）

バルブボディ、バルブ部材およびバルブシャフトを含むバルブ組立品。前記バルブボディは、入口と、出口と、前記入口と流体連通している第１流路と第２流路を含んでもよい。前記第１流路は少なくともバルブボディの一部を軸方向に通るように延び、前記第２流路は第１環状壁と第２環状壁により区画されて、少なくとも第１流路を部分的に取り囲んでおり、前記バルブ部材は、前記バルブボディに配置され、流体が前記第１流路を通ることを防ぐ第１ポジションと流体が前記第１流路を通ることを可能にする第２ポジションとの間を動くことができる。前記バルブシャフトは前記バルブボディに対する相対的な回転が可能なように、前記バルブボディに取り付けられ、前記バルブ部材に固定されている。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して材料コストを削減し得て、しかも、バルブ全体の小形化並びに軽量化に貢献することができるダイヤフラム弁を提供する。
【解決手段】流入通路１１ａの弁室流入口と流出通路１１ｂの弁室流出口とを有するバルブボディ１１と、流入通路１１ａの弁室流入口を取り巻くようにバルブボディ１１に設けた弁座１２と、弁座１２に接近・離反することで弁開閉を行うダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の外周縁部をバルブボディ１１とで挟持するボンネット１５と、を備え、ダイヤフラム１３の外周縁部とバルブボディ１１の外周及びボンネット１５の外周とが全周に渡って溶接により接合されている。 （もっと読む）

【課題】弾性体からなるシール部材の耐久性を高めることができると共に、高差圧から低差圧まで広いレンジでシール性を好適に維持することが可能な弁を提供する。
【解決手段】弁体（１）または弁座（２）に設けた弾性体からなるシール部材（５）を介して、弁体（１）と弁座（２）とが密接する弁（１００）において、弁体（１）および／または弁座（２）の形状により画定され、これらの間に構成される流路を狭める絞り部（３０）を有し、絞り部（３０）は、シール部材（５）の周辺に設けられた弁（１００）である。そして、この絞り部（３０）によって狭まる流路は、弁体（１）の閉動作の際に、シール部材（５）の直近の流路に優先して狭まるように設定されている。 （もっと読む）

バルブ・システムが、貫通する流体の流れを有する導管と、バタフライ・バルブ・アセンブリとを含んでいる。バタフライ・バルブ・アセンブリは、導管内を斜めに延びるシャフトと、バタフライ・ディスクと、導管の外部表面上に位置する第１のベアリング・アセンブリと、を含む。バタフライ・ディスクは、シャフトを通して収容するサイズの通路を含む。バタフライ・ディスクは、バタフライ・バルブ・アセンブリが閉位置にあるときに、導管を通る流体流れを制限するように動作する。第１のベアリング・アセンブリが、シャフトの第１の端部を通して収容するように構成されている。第１のベアリング・アセンブリは、複数のテーパ・ローラ・ベアリングであって、ベアリング・レース内に周方向に離間に配置され、バタフライ・バルブ・アセンブリが閉位置にあるときにバタフライ・ディスクを実質的に一定の軸方向位置に保持するように構成されたテーパ・ローラ・ベアリングを含む。
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【課題】仕切弁の分解点検時に弁棒を取外す場合、メンテナンスし易くし、弁座シート部のＯリングの弁箱内への脱落を防止し、弁座シート部の取付け個所を減少して、窒素ガスがリークする可能性も低減する。
【解決手段】仕切弁の弁座シート部を弁箱と一体化し、シート部材であるＯリングを削除することにより、分解点検時のメンテナンス性が向上する。また、定検時に仕切弁を弁箱から取外す際のＯリング脱落の可能性も無くなり、ルースパーツ対策としても有効である。弁蓋と弁棒間にばねを設置することにより、弁閉時に弁棒をシート部に対して押付けることが可能となり、シート性能を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路中に取付けられる。この減圧排気弁１０は、前記排気路に接続される管部１１と、前記管部１１内において支持軸１４によって支持され、当該支持軸の軸芯回りに回転して前記排気路を開閉する偏平状に形成されたバタフライ弁１２により構成される。前記バタフライ弁１２は、その全体が通気孔を有する多孔質部材により形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる圧力調整弁において、弁体を加熱するようにするとともに、弁体および弁体加熱手段の交換を容易にし、弁体および弁体ホルダ等からなる弁部の厚みをできるだけ小さくした圧力調整弁を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力調整弁は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる圧力調整弁において、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付け、該弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】流体が弁板の貫通孔に流入する際に、流体の流速が急激に増加することを防止して、流体の圧力損失を低減することができる逆止弁を提供する。
【解決手段】弁座（シート２）には、弁座を貫通する複数の流体導入孔２ｂが形成され、弁受け（ガイド３）には、弁受けを貫通する複数の流体導出孔３ｃが形成され、流体導入孔２ｂと流体導出孔３ｃとは、弁板（プレート４）の法線方向から見てずれた位置に配置され、弁板には、弁板の法線方向から見て流体導入孔２ｂとは重ならず流体導出孔３ｃとは重なる位置に、弁板を貫通する複数の貫通孔４ａが形成され、流体導入孔２ｂは、弁板側に設けられた弁板側流路（プレート側流路２２）と、弁板の反対側に設けられた拡張流路２１と、を有し、拡張流路２１の弁板に平行な断面積は、弁板側流路の弁板に平行な断面積よりも拡大され、拡張流路２１の内壁２１ａは、弁板の法線方向と平行に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ３に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記減圧排気弁１０が、前記排気路５に接続される管部１１と、前記管部内に収容された、前記排気路５を開閉する開閉弁１２と、前記開閉弁１２に設けられた、通気孔を有する多孔質体部１３と、前記開閉弁１２の上流側または下流側の排気路中に設けられ、排気路５の遮蔽面積が可変となされた遮蔽量調整部１０Ｂとを備える （もっと読む）

【課題】 弁体の傾きを防止して弁体が弁口を完全閉止できるレバーフロート式ドレントラップを提供する。
【解決手段】 入口１と出口２を有する本体３に蓋体４を締結して内部に弁室６を有するケーシングを構成する。弁室６と出口２を連通する第１弁口７及び第２弁口８から成る弁口を弁室６の下部に形成する。弁室６内に支持された揺動軸１０の周りに回転するレバー１１を設ける。弁室６内の液位に応じて浮上降下するフロート１２をレバー１１に連結すると共に第１弁口７及び第２弁口８を開閉する第１弁体１８及び第２弁体１９から成る弁体１５をレバー１１に連結する。先端にほぼ半球状凸部２０を有する案内棒１６ａを弁体１５に設ける。案内棒１６ａの半球状凸部２０を第１弁口７及び第２弁口８から成る弁口の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部２１を本体３に設ける。 （もっと読む）

内部バルブ装置について説明する。例示的な内部バルブは、入口（２０６）と出口（２０８）との間に配置されたバルブシート（２０２）を有する本体（１０２）を含む。本体に動作可能に結合される流れ制御部材（１１０）は、流れ制御部材が、バルブを通る流体の流れを制限するために、バルブシートと係合する第１の位置と、流れ制御部材が、バルブを通る流体の流れを可能にするために、バルブシートから離間されている第２の位置との間を移動する。例示的な内部バルブは、さらに、流れ制御部材を、第１の位置と第２の位置との間で移動させるために、本体内に配置され、かつ、流体圧力に反応する、取り外し可能な作動部材（１１４）を含む。
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【課題】ダクト内におけるガスの流通を遮断し、ガスのリークを完全に止めることができるダクトダンパを提供する。
【解決手段】このダクトダンパ１０は、ガスが流通する開口２１を備えた弁座部２０と、開口２１を開閉する弁体部３０と、弁体部３０を駆動する駆動部４０とを備えている。弁座部２０は、開口２１の周りを囲んで形成された水槽２２を備え、弁体部３０は、水槽２２内の全周に渡って挿入されるシール板３２を備えている。水槽２２は、用水の供給口、排出口及び溢流口を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空領域内を圧力制御することに好適なバタフライ式圧力制御バルブであり、設置スペースが小さく、小さい操作力により高速制御して、弁閉時には弁閉状態を維持して高シール性を発揮し、流量制御時には微小流量から大流量まで正確に制御でき、一般的なバタフライバルブと同等の耐久性を発揮しつつ、単体でアイソレーション機能を発揮して大気圧から低真空までのソフト排気の排気時間を制御できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】バタフライ式圧力制御バルブは、バルブ開閉機構２２を有する。バルブ開閉機構２２は、エア流路２５へのエアの供給によりシートリング２４を弁体２３から離間させた状態でこの弁体２３を無摺動で回転させ、弁体２３を弁閉状態に回転したときにエア流路２５へのエアの供給とスプリング２６の付勢力とにより弁体２３にシートリング２４を接離させて流路２１内の圧力を制御する。 （もっと読む）

本明細書において、バルブと共に用いられる流体流れ制御部材が記載される。バルブと共に用いられる例示的な流体流れ制御部材は、バルブを通過する流体流れを制御する第１の座面を有する本体を含む。本体は、バルブを通過する流体の流れを制御する第１の座面と反対側の第２の座面を形成する。更に、本体は、バルブの弁棒を受容する孔、及び第１の座面に囲まれ、シール又は摺動部材の少なくとも１つを受容するボアを形成し、シール及び摺動部材のそれぞれは、弁棒に連結されたバネ座の第２の表面と係合する第１の表面を有し、バルブを通過する流体流れを制御する。 （もっと読む）

【課題】被処理体に付着する異物粒子数を低減させた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】本発明では、被処理体を処理するための処理室と、該処理室にガスを供給するガス供給手段と、被処理体を戴置するための戴置電極と、前記処理室を減圧するターボ分子ポンプと、前記処理室の圧力を調整するために前記ターボ分子ポンプと前記処理室の間に設置されたバタフライバルブとを有する半導体製造装置において、前記バタフライバルブのフラッパーに異物粒子落下防止用のストッパーを設置した。 （もっと読む）

【課題】高温環境において使用された場合でもラジカルによりシール部材が劣化することを防止できるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁座６３に対して所定の距離が離間した状態で着座して開口部を閉塞する弁体と、弁体が弁座に着座したときに弁体と弁座との間をシールするシール部材と、を有するゲートバルブ装置であって、シール部材は、常温環境下で弁座を押圧することにより弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第１シール部５８と、高温環境下で熱膨張することにより弁座を押圧すると同時に弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第２シール部６０と、を有し、第１シール部５８の体積は第２シール部６０の体積よりも小さく設定され、第１シール部５８の弁座側の先端部は第２シール部６０の弁座側の先端部よりも弁座側に位置している。 （もっと読む）

【課題】バルブ本体とケレップとを螺合させるねじ部のかじりを防止することによってハンドル操作を滑らかにし、操作性の向上及び部品の長寿命化を図ることができるパック式バルブを提供する。
【解決手段】中空状のバルブ本体１０と、バルブ本体１０の一端開口に螺合して中空を密閉するグランドナット４０と、バルブ本体１０内の中空内壁に螺合して閉鎖弁室１６を形成するとともに、一端にガスの流入路１４を開閉させる弁体５１を有するケレップ５１と、一端がバルブ本体１０の中空内に収納され、他端がグランドナット４０を貫通する回動自在なスピンドル２０と、スピンドル２０の他端に取り付けられたハンドル３０とを備え、スピンドル２０とケレップ５０との間に、両者の回転軸Ｓの変位を吸収しつつ、スピンドル２０の回転をケレップ５０に伝達することが可能な回転伝達手段２１，６０（６１，６２），５２を設けた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 弁調整組立体を提供する。
【解決手段】 本発明は、入口ポート、出口ポートおよびバイパスポートを備えた１つの弁ハウジングを有するバイパス弁組立体であって、これらのポートすべてがその弁ハウジングの内部に形成されるバイパス弁組立体に関する。弁体部材は、弁ハウジングに操作可能に連結され、互いにほぼ反対方向に向かい合う第１弁プレートおよび第２弁プレートを含む。第１弁プレートは、弁体部材が第１位置にある時に、出口ポートについて緊密な遮蔽を形成するように関節動作し、第２弁プレートは、弁体部材が第２位置にある時に、バイパスポートについて緊密な遮蔽を形成するように関節動作する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングのガス通路の径方向段差部付近が腐食しにくい流量制御バルブおよびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】流量制御バルブ１は、第一筒部材収容部２１と第二筒部材収容部２２と径方向段差部２３とを有するガス通路２０が形成されたハウジング２と、第一筒部材収容部２１に収容される第一筒部材３と、第二筒部材収容部２２に収容される第二筒部材４と、第一筒部材３および第二筒部材４の径方向内側に回転可能に配置される弁体５と、を備える。ハウジング２は、鋳鉄製である。第一筒部材３および第二筒部材４の少なくとも表面は高耐食材製である。第一軸方向端面３０および第二軸方向端面４０のうち少なくとも一方は、径方向段差部２３と軸方向に対向する対向部４０１を有している。対向部４０１と径方向段差部２３との間には、ガスシール構造６１が配置されている。 （もっと読む）