【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が高速度に可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】スライド弁１は、可動弁部４０の回転軸２０を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、可動弁部を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段とを有し、復動式エアシリンダがピニオンを駆動する第２ピストンと、弁開度を設定するように第２ピストンの停止位置を規制する第１ピストンとを有し、可動弁部の閉塞解除動作と回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有し、かつ、可動弁部の停止位置を設定するエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備している。 （もっと読む）

【課題】この発明は、流路を高速に開閉することができ、流路を開いたときの媒体の流量を所望する値に素早くコントロールできる流路開閉装置、および紙葉類処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】流路開閉装置２０は、吸気管および排気管をそれぞれ接続した２つの通気孔をそれぞれ有する円柱形の２つの筐体２６、２７、回転の途中で吸気管の流路および排気管の流路に重なる４つの流通孔をそれぞれ有する２枚の回転板２３、２４、および各回転板２３、２４をそれぞれ独立して回転させる２つのモータ２８、２９を有する。一方の回転板２３を回転させて２つの流路を交互に開閉すると同時に、他方の回転板２４の回転量を制御して、開いた流路に対する流通孔の重なり具合を調節して、流路を流れる空気の流量をコントロールする。 （もっと読む）

【課題】 上流側の圧力とと下流側の圧力との圧力差の、ピストンの変位量に対する変化量を調整することのできる、汎用性の高い圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 圧力制御装置１０は、ピストン１１と、シリンダ１２とを含んで構成される。シリンダ１２は、流体が流れる管路内に設けられ、ピストン１１を内部空間１４に収容する。シリンダ１２には、複数の連通孔１３が形成される。連通孔１３は、内部空間１４と外部空間１６とを連通る。複数の連通孔１３のうちの少なくとも一部は、個別に閉塞可能に形成される。 （もっと読む）

【課題】メインスプールの位置誤差を修正する位置フィードバック機構を、メインスプールの軸方向両端部に軸方向移動自在に嵌合されるサブスプールを用いて構成するにあたり、メインスプールおよびサブスプールを中立位置に保持するスプリング数を減少させて、コストダウンを図る。
【解決手段】中立位置保持機構６３を、パイロット室２２に収納される第一スプリング受け部材２５と、サブスプール突出部７ａの基端側に軸方向移動自在に外嵌される第二スプリング受け部材２６と、サブスプール突出部７ａの突出先端部に固定される第三スプリング受け部材２７と、第一スプリング受け部材２５とパイロット室２２の反ボディ側面部２２ａとの間に介装されるメインスプール用スプリング１８と、第二スプリング受け部材２６と第三スプリング受け部材２７との間に介装されるサブスプール用スプリング２０とを用いて構成した。 （もっと読む）

【課題】 従来の閉止栓装置の問題点を解決し、弁体の操作トルクを軽減した閉止栓装置を提供する。
【解決手段】 閉止栓装置１は、ガスの流動を開閉する円筒状回動部材３とそれを摺動自在に保持するケース２とを備えている。回動部材３は、連通口３１ａ、３１ｂを有する円筒状の弁体３０とその外周面に固着された弾性体からなるライニング層３２とその表面に塗布された潤滑剤を有するとともに、ライニング層３２の表面に、潤滑剤を保持するためにＶ溝３２１が形成されている。Ｖ溝３２１は連通口３１ａ、３１ｂよりも長く形成するとともに弁体３０の回転軸を中心として対称に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】大きな吐口面積のジェットフローゲートの製造を可能とする。
【解決手段】放水用流路１に介設された弁胴体の径方向に移動可能に設けられて放水用流路１を開閉する扉体２を備えたジェットフローゲートである。扉体２と相対する放水用流路１の吐口１ａの形状を、たとえば上下に配置した同一半径の半円弧ｒｆ１，ｒｆ２を直線ｓ１，ｓ２で結んだ形状とする。必要に応じて、扉体２の縁部に、閉扉時には放水用流路外に位置し、開扉動作に伴い放水用流路１を開放する欠円状の切欠き２ｂを形成する。
【効果】より大きな吐口面積のジェットフローゲートの製造が可能になる。また、同じ吐口面積の場合は、最小流量制御量を小さくすることができる。また、欠円状の切欠きを形成すれば、切欠きに起因する剛性低下や応力集中を抑制しつつ、容易に、水理的な流れの不安定現象を軽減して高い精度で微量放流時の放水量の調整が行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】 低コストで信頼性の高い真空処理装置を提供する。
【解決手段】 ２つの真空容器２０３，２０４の間に配置され各々を連通して一方から他方に処理対象の試料が搬送される封止されたゲート１１０と、このゲートの経路上に配置され第１の開口２０５および第２の開口２０６の各々に面する第１の弁体２１０ａおよび第２の弁体２１０ｂとこれら弁体が連結されたシャフト２１１とを有して前記開口の各々を選択的に開閉するゲートバルブ２０８とを備えた真空処理装置であって、ゲートバルブ２０８は、２１１シャフトの他端側に連結されシャフトをその軸の方向に移動させる軸方向駆動部３０１と、シャフト２１１の一端側と他端側との間に配置されシャフト２１１の軸と交差する所定の回転軸２０７の周りにシャフトを回転させる回転駆動部２１３とを有し、シャフト２１１の軸方向について回転軸２０７と他端との間のシャフト上の部位に回転させる力が伝達される。 （もっと読む）

【課題】所定のすきまを確保しつつ、水圧の変動が生じても、漏水が生じなく、またハンドルレバーの操作性が低下しない。
【解決手段】ハウジング底部に設けられたパッキンガイド８にパッキン７を介して固定され、上記パッキンガイドの流路に連通する弁孔を備えた固定弁体６と、この固定弁体に摺動自在に重ね合わされ、上記弁孔に連通する連通室を備えた可動弁体５との相互変位により止水または流量調節を行なう弁装置において、パッキンガイド８とともに固定弁体６側にもパッキン７を収容するパッキン溝が設けられ、該パッキン溝内にパッキンが収容されてなる。 （もっと読む）

【課題】 容器に充填する液体の乱流を抑制して、泡立ちの発生を防止しつつ液体充填をする。
【解決手段】貯液タンク３０内の液体３１は、液体供給管４０，充填ノズル部１０の流路１２及び充填ノズル１５を介して、容器３に充填される。充填開始時には液弁１３が全開となり充填終了時には液弁１３が全閉となる。充填期間において、流量可変手段１００は、液体３１の液量を充填初期では小流量としその後の期間では大流量とする流量制御をする。流量可変手段１００の下流側に配置した整流用縮流路２００では、液体３１の液流を絞り込むことにより乱流を抑制する。このため乱流成分が抑制された液体３１が、充填ノズル１５を介して容器３に充填されるため、泡立ちの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

総合的な流体流量制御を提供するプロセス装置（１０、１００）が提供される。装置（１０、１００）は、流導管（１６、１０４）中に設けられた閉止機構（１２、１０６）を含む。好ましくはアイリス型ダイヤフラムである閉止機構（１２、１０６）は可変性の内径を提供する。装置（１０、１００）は、ダイヤフラムの両側での差圧を感知するための差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）を含む。制御装置（１１２）が差圧の指示を受信し、制御信号をアクチュエータに発すると、そのアクチュエータが閉止機構（１２、１０６）を作動させる。閉止機構（１２、１０６）、差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）及び制御装置（１１２）が一つのプロセス装置（１０、１００）の中で閉ループ流量制御装置を形成する。
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【課題】 本発明の課題は、簡素な構造で少なくとも２系統の流路を相互に切り替えることができるマイクロ切替えバルブを提供することにある。
【解決手段】 マイクロ切替えバルブ１は、互いに相対回転不能となる二つの固定部１１，１２と、二つの固定部１１，１２に対して回動自在に摺接する回動部１３と、を備えている。二つの固定部１１，１２には、それぞれ第１貫通孔１１ｅ、第２貫通孔１１ｆ、第３貫通孔１２ｅおよび第４貫通孔１２ｆが形成されている。また、回動部１３には、第１貫通孔１１ｅと第３貫通孔１２ｅとを繋ぐ第１連通路Ｔ１、第２貫通孔１１ｆと第４貫通孔１２ｆとを繋ぐ第２連通路Ｔ２、および第３貫通孔１２ｅと第４貫通孔１２ｆとを繋ぐ第３連通路Ｔ３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ロータリバルブ３の作動不良およびバルブロックを回避し、且つアイドル運転時の弁洩れ量を略ゼロにすることを課題とする。
【解決手段】 エンジン停止時には、ロータリバルブ３の軸受部２３に作用するスプリングの付勢力によって、ロータリバルブ３が、ロータシャフト２のラジアル方向の開弁側に移動するので、バルブハウジング１とロータリバルブ３との間のクリアランスが最も広くなり、エンジン停止中にクリアランスに異物が噛み込み難くなる。また、アイドル運転時には、スプリングの付勢力よりも吸気管負圧が所定値以上の高負圧の時に発生する図示矢印方向の吸引力の方が勝り、ロータリバルブ３のシート部２１に作用する図示矢印方向の吸引力によって、ロータリバルブ３が、ロータシャフト２のラジアル方向の閉弁側に移動するので、クリアランスが最も狭くなり、アイドル運転時の弁洩れ量が略ゼロとなる。 （もっと読む）

本発明の一実施形態によれば、ダイバータバルブ（１０）は複数の入口（２０，５０）および出口（３０，４０）ポートを有する弁体（１２）を含む。ダイバータバルブは、更に二つのセラミックによるバルブセクション（６０Ａ，６０Ｂ）を含み、二つのバルブセクションは、相互に対して回転可能であり、弁体へ浸入する流体の使用者による幾つかの出口ポートの一つへの誘導を可能にする。第二実施形態によれば、本発明のダイバータバルブは一つまたはそれ以上の流れ調節器（２２）、流量計（５２）、および逆止弁（３２）を更に含む。
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