【課題】容器に設けられた連通部の大きさが変わった場合でも、当該連通部を開閉し得る開閉装置を低コストで提供する。
【解決手段】側壁部３と底壁部４とを有して断面がＬ字形状にされ且つ側壁部３に連通部３ａが設けられると共に底壁部４に取付用開口部４ａが設けられてなる真空容器１の連通部３ａを開閉し得るバルブ装置６と、断面がＬ字形状にされてバルブ装置６を真空容器１側に取り付けるためのバルブシート７とを具備する連通部開閉装置であって、バルブシート７に、側壁部３に設けられた連通部３ａに対応する案内用開口部２２ａが形成されたシート部２１と、このシート部２１と直交する方向で設けられてバルブ装置６を取り付けるためのベース部３１とを備え、これらシート部２１とベース部３１とを分離したものである。 （もっと読む）

【課題】水平面および傾斜面からなるシール面に、通常の切削機であっても支障なく形成し得るようなシール用溝部を有するバルブ装置を提供する。
【解決手段】開口部16が形成された正面視が台形状と逆台形状とを合わせてなる六角形状の仕切面Ｓを有するバルブシート４と、この仕切面Ｓと平行に移動されて開口部16を開閉し得るバルブ本体５とを有するバルブ装置であって、バルブシート４とバルブ本体５とのシールを行うためのシール面21〜23，26〜28を、仕切面Ｓと直交する方向、つまり前後方向で形成すると共にこの仕切面Ｓの外周に沿ってそれぞれ六角形状となし、バルブ本体５側のシール面26〜28に、断面が円形のシール材32に対応して円形状にされると共にその外周から中心に向かって所定高さだけ切除されてなる内面Ｃ字形状のシール用溝部31を形成したもの。 （もっと読む）

【課題】バルブシートの着脱作業を容易に行い得るバルブ装置を提供する。
【解決手段】四方の側壁部11，12及び上下の端壁部13から成るバルブ収納体３内に配置され且つ中央に開口部17が形成されたバルブシート４と、バルブシート４に沿ってスライド可能に配置されて開口部17を開閉可能なバルブ本体５と、バルブ収納体３の下端壁部13Ｄに設けられてバルブ本体５をスライドさせて開口部17を開閉駆動するバルブ駆動体６とから構成し、バルブシート４をバルブ駆動体６の設置側とは反対側である上端壁部13Ｕに固定し、バルブシート４の下縁部に、その先端が細くなるようにシート側傾斜面４ｉを形成すると共に、バルブ収納体３の内部に、シート側傾斜面４ｉに対応する固定側傾斜面15ｉを有してバルブシート４をバルブ収納体３内に挿入する際に側壁部11に押し付けて固定し得る縁部押圧部材15を、配置したもの。 （もっと読む）

加熱システムまたは冷却システムにおいて圧力または温度を測定する装置であって、この装置は、キャビティ２０内に、スプリング荷重の逆止弁８を備える測定ニードルハウジング６で構成された測定ニードル１であり、逆止弁８は、測定位置において、プローブ１０から測定ニードルハウジング及びホースニップルを介して、ホースを経て測定機器まで開放連通を有し、このような開放連通は、測定が完了し、測定ニードル１が測定ニップルから取り外されるとすぐに閉鎖され、このような即時の閉鎖により、測定後に、測定ニードル１及び測定ホース５内に存在する封入された流体からの漏れが防止される。
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【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）

【課題】４・５ポート切換弁において、スプールのシール部材が弁孔における弁座に乗り上げるのを容易にすると共に、弁ボディの成形性及び加工性を改善する。
【解決手段】供給流路Ｐ、出力流路Ａ，Ｂ及び排出流路Ｅ１，Ｅ２を設けた弁ボディ１１の弁孔１２内に摺動自在に嵌挿されたスプール１３を有し、該スプールの外周に設けたシール部材２５ａ，２５ｂが弁孔１２における流体圧の低い排出流路Ｅ１，Ｅ２側から流体圧の高い出力流路Ａ，Ｂ側に摺動して弁座１９ａ，１９ｂに乗り上げる部分に、乗り上げ方向に縮径するテーパー面２６ａ，２６ｂを形成し、シール部材２４ａ，２４ｂが流体圧の高い供給流路Ｐ側から流体圧の低い出力流路Ａ，Ｂ側に乗り上げる該弁座の乗り上げ部分は、上記テーパー面のない定径に形成する。弁孔１２における上記テーパー面よりも両端側の内径を、テーパー面の最大径部分と同一又はそれよりも大径にする。 （もっと読む）

弁アッセンブリは、凹部及びフランジ面を有するハウジングと、凹部の中に配置される弁スリーブと、を含んでいれば望ましい。スリーブは、中心軸の周囲に通路を画定する、外面及び内面を有する環を含んでいれば望ましく、外面及び内面は、壁を画定するために互いから半径方向に間隔を空けて配置されている。壁は、第１の端部分及び第１の端部分から軸方向に間隔を空けて配置される第２の端部分と、第１の端部分から第２の端部分まで均等な材料特性と、を有している。第１の端部分は、凹部の中の環を支持するリップを画定し、更に第１の支持部材の少なくとも一部を包み込む第１の室を画定すれば望ましい。第２の端部分は、フランジと係合する外面に沿ってフランジ部分を画定し、更に第２の支持部材の少なくとも一部を包み込む第２の室を画定すれば望ましい。
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【課題】シール部材の摩耗を抑制し、ゲートバルブの開閉動作を高速で行うことを可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】複数のチャンバの間に設けられて、キャリアが通過する通路１０１を開閉するゲートバルブ１００は、通路１０１を分断する方向に移動操作される弁体１０５と、弁体１０５を挟んだ両側に配置されて通路１０１を形成する開口部１０２ａ，１０２ｂが設けられた一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと、一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂの開口部１０２ａ，１０２ｂを囲む位置に配置されたシール部材１０４とを有し、弁体１０５は、通路１０１を閉塞する方向に向かって漸次幅狭となるテーパー形状を有し、通路１０１を閉塞する位置において、その両側面１０５ａ，１０５ｂが一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと相対向しながらシール部材１０４と圧接可能とされている。 （もっと読む）

【課題】出力油圧を直接的に摩擦係合要素の油圧サーボに供給し得る調圧能力を有し、かつ油圧制御装置の小型化を図ることが可能なソレノイドバルブを提供する。
【解決手段】リニアソレノイドバルブ１_１のバルブ部２０_１に内部バルブ部３０_１を設け、該内部バルブ３０_１の作動油室３３と出力ポートＰｏｕｔとを連通する導入油路２１ｄを形成する。導入油路２１ｄを介して作動油室３３に作用する出力油圧が所定圧未満である際と所定圧以上である際とで第２スプール３１の位置が切換えられ、摩擦係合要素のスリップ状態を制御する低い油圧出力領域にあっては、フィードバック油室２７に対するフィードバック圧の作用をオンし、摩擦係合要素の細かいコントロールが不要となる高い油圧出力領域にあっては、フィードバック圧の作用をオフするので、ソレノイド部１０の必要な駆動力性能が低減されて小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】出力油圧を直接的に摩擦係合要素の油圧サーボに供給し得る調圧能力を備えるものでありながら、油圧制御装置の小型化することが可能なソレノイドバルブを提供する。
【解決手段】リニアソレノイドバルブ１_１は、ソレノイド部１０に備えられたプランジャ１１の駆動力によって、バルブ部２０_１に備えられたスプール２１が移動して、出力ポートＰｏｕｔからの出力油圧が大きくなるにつれて、該出力油圧が入力し得るフィードバックポートＰｆｂの開口量が小さくなると共に、該出力油圧をドレーンし得るドレーンポートＰｅｘ２の開口量が大きくなるように構成されている。これにより、出力油圧の高圧時にフィードバック作用をさせるフィードバック圧を低減することができ、スプール２１を移動させるソレノイド部１０の駆動力を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】吸気通路の上流側と下流側との圧力状態に関係なく、開閉動作の応答性を向上することができる吸気制御装置を提供する。
【解決手段】空気を導入する吸気通路内に固定される固定部２と、筒状に形成され、固定部２と空気の流れ方向に対向し、該固定部２に対して接近離間可能に設けられる可動部３と、吸気通路の壁面と固定部２の外面との間に設けられて吸気通路の上流側又は下流側の一方に連通する外側通路４と、可動部３の内側に設けられて吸気通路の上流側又は下流側の他方に連通する内側通路５とを備え、外側通路４及び内側通路５は、それぞれ通路断面が対称形であり、可動部３は、外側通路４と内側通路５とを連通及び遮断可能であると共に、遮断した状態で外側通路４側及び内側通路５側から作用する圧力方向に対して垂直な方向に移動可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 開口度０％〜１００％の間で流量の傾向が大きく変動することのない範囲を広範囲にすることができ、広範囲の開口度で適正な流量調整のできるバルブ装置を提供する。
【解決手段】 一次側の配管が流体的に接続される一次側流路及び二次側の配管が流体的に接続される二次側流路が形成されたバルブ本体と、該バルブ本体に内装されて一次側流路と二次側流路との間でスライド可能に設けられたスライド弁体とを備え、該スライド弁体に、一次側流路と二次側流路とを連通させる連通穴と、一次側流路と二次側流路との連通を遮断する遮断部とが該スライド弁体のスライド方向に並んで設けられてなるバルブ装置において、一次側流路及び二次側流路の少なくとも何れか一方は、スライド弁体と隣接する開口が非円形状に形成されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体を弁座に対して中心軸回りに所定角度まで摺動回転させて前記弁孔を開閉するディスクバルブについて、弁体および弁座の摺動面から確実に水漏れを防止できるものとすることであり、特に洋式便器併設型局部洗浄装置における洗浄水の流路切替バルブに用いられるディスクバルブについて、同問題点を解決できるものとすることである。
【解決手段】弁箱２内に、弁孔３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを有する弁座３とディスク状の弁体４とをこれらの中心軸が合わさるよう重ね、弁体４を弁座３に対して中心軸の回りに所定角度まで摺動回転させて弁孔３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを開閉するディスクバルブとし、弁体４の弁座３に対する摺動面４Ａおよび弁座３の弁体４に対する摺動面３Ａのうちいずれか一方の摺動面を滑らかな中高形状に設けると共に、他方の摺動面を前記中高な形状に整合する滑らかな中低な形状に設けたディスクバルブとする。 （もっと読む）

【課題】 塑性変形が抑制される弁座の弾性による付勢力で高いシール性を確保することができるとともに、弁体閉弁時の封止流体圧で弁座を付勢して高いシール性を確保することができ、内面シール構造の回転弁、あるいは外面シール構造のボール弁などのバルブに好適なバルブの弁座構造を提供する。
【解決手段】 弁箱スリーブ２１の先端部２１ｂに耐熱・耐摩耗性にすぐれた金属によって構成したベロー型弁座２７の基部２８を弁箱スリーブ２１の流出口２０ｂに取付ける。このベロー型弁座２７は、谷部２７ａと山部２７ｂの複数部位が軸方向に連続しており、先端部には、回転弁体２４裏面の凹球面状の弁体シート部２３に接離する弁箱側シート部３０を設けてある。そして、ベロー型弁座２７の軸線Ｃから基部２８の外端までの取付半径Ｒと、シール半径Ｒ１との関係を、Ｒ≦Ｒ１好ましくはＲ＜Ｒ１に設定してある。 （もっと読む）