【課題】弁板による開口の開閉時に弁シールと弁シート面との摺動を生じない簡単な構成の無摺動型ゲートバルブを提供する。
【解決手段】エアシリンダ８の駆動ロッド９と弁シャフト７との間に、ガイド溝及びガイドローラ３１ａ，３１ｂからなる平行移動機構と、カム溝３０及びカムローラ３３からなる垂直移動機構とを介在させ、前記弁シャフト７を、前記平行移動機構で弁シート面１０と平行に移動させたあと、前記垂直移動機構で前記弁シート面１０に対して垂直に移動させることにより、弁板５の弁シール６を前記弁シート面１０に垂直に接離させて前記開口３を開閉する。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】シール部材の摩耗を抑制できるとともに回転弁体の駆動に要する力を低減でき、同時にシール機能も確保可能なロータリバルブを提供する。
【解決手段】ロータリバルブ１０ＡはハウジングＨと、ハウジングＨに設けられた回転弁体１３と、ハウジングＨおよび回転弁体１３間に設けられ、突起部を両端部に有するシール部材と、シール部材をハウジングＨに向かって付勢する弾性部材と、回転弁体１３の回転動作に応じて突起部を案内する溝部とを備える。溝部は径方向内側に向かって後退した後退部を有し、後退部は回転弁体１３の回転動作時にシール部材をハウジングＨから離間させるように突起部を案内する。 （もっと読む）

【課題】容器に設けられた連通部の大きさが変わった場合でも、当該連通部を開閉し得る開閉装置を低コストで提供する。
【解決手段】側壁部３と底壁部４とを有して断面がＬ字形状にされ且つ側壁部３に連通部３ａが設けられると共に底壁部４に取付用開口部４ａが設けられてなる真空容器１の連通部３ａを開閉し得るバルブ装置６と、断面がＬ字形状にされてバルブ装置６を真空容器１側に取り付けるためのバルブシート７とを具備する連通部開閉装置であって、バルブシート７に、側壁部３に設けられた連通部３ａに対応する案内用開口部２２ａが形成されたシート部２１と、このシート部２１と直交する方向で設けられてバルブ装置６を取り付けるためのベース部３１とを備え、これらシート部２１とベース部３１とを分離したものである。 （もっと読む）

【課題】 一度に処理する被処理体の枚数が増加したとしても、弁体の昇降距離を短縮することが可能なゲートバルブを提供すること。
【解決手段】 被処理体を出し入れする複数の開口部６１ａ〜６１ｄに押圧される弁体６３と、弁体６３に設けられた押圧部６７と、開口部６１ａ〜６１ｄの開口面に対して平行にスライドするメインスライダー７０と、メインスライダー７０に設けられ、突起部７２と該突起部７２からスロープ状に傾斜する傾斜部７３とを含み、弁体６３を開口部６１ａ〜６１ｄに正対させた状態で、弁体６３の押圧部６７を押圧するカム７１と、を備え、弁体６３は、開口部６１ａ〜６１ｄを開放する開放部として機能する少なくとも１つのスリット状開口６５ａ〜６５ｃを有し、スリット状開口６５ａ〜６５ｃに隣接した部位を、開口部６１ａ〜６１ｄを閉塞する閉塞部６６ａ〜６６ｄとする。 （もっと読む）

【課題】軸受部材の内部空間から潤滑剤が流出する量を低減でき、軸受部材の内部空間に異物が混入する量を低減できるとともに、軸受部材のシール部材の変形を防止できる蓄冷器式冷凍機を提供する。
【解決手段】シリンダと、蓄冷器と、蓄冷器を往復駆動するための駆動力を発生する回転駆動部と、回転駆動部により回転駆動される回転部材３１ａと、同一の回転軸ＲＡを中心として相対回転可能に設けられた内輪部材６１及び外輪部材６２と、回転軸ＲＡに沿って内輪部材６１及び外輪部材６２の前後両側に各々が設けられた２つのシール部材６３−１、６３−２とを含み、回転部材３１ａを回転可能に支持する軸受部材６０とを有する。シール部材６３−１、６３−２は、内輪部材６１及び外輪部材６２のいずれか一方の部材に固定されるとともに、他方の部材との間に隙間Ｇが形成されるように設けられたものである。 （もっと読む）

【課題】比較的高圧の駆動用ガスを用いて、複数の入口側流路を高速で選択的に切り替えて出口側流路に連通させることができると共に、流路をシールするシール部材の破損を防止できる流路切替弁、内燃機関及び内燃機関のＥＧＲ方法を提供する。
【解決手段】複数の入口側流路５１ａ、５１ｂのいずれか一つ又は複数を選択的に単数又は複数の出口側流路５２ａに連通させたり、遮断したりする流路切替弁５０Ａにおいて、ケース５４内に設けられた入口側流路５１ａ、５１ｂ側と、出口側流路５２ａ側との間でスライドするシャッター部材５５を設け、出口側流路５２ａのシールのためにシャッター部材５５とケース５４の間にシール部材を配置し、更に、シャッター部材５５をケース５４の出口側流路側５２ａの内壁面から浮かせてスライドさせるための案内部材５３を設けて、シャッター部材５５と内壁面との間に隙間Ｐを形成する。 （もっと読む）

【課題】切断しにくい固形物を含む液状物（例えばイカの塩辛）を包袋に充填する際に使用されるカットノズルのピストンを回転する際に、回転駆動源としてモータを使用していることから、電気配線が必要でありまた、モータに水がかかると漏電するので水対策が必要である。また、回転動力伝達機構にスプラインと歯車とを使用しているので部品点数が多く容積を大きくとる。
【解決手段】吐出開口１０Ｂを下端に形成し、吐出通路１０Ｃに連通した充填物の供給口１０Ａが形成されたシリンダ１０と、前記吐出通路１０Ｃ内を昇降自在なピストン１１と、前記ピストン１１に連結し、当該ピストン１１を昇降させる駆動源１５と、を備えたカットノズルであって、前記ピストン１１の外周壁に螺旋状のガイド溝２１が形成され、前記ガイド溝２１に係合するピン２２が前記シリンダ１０に備えられる。前記ピストン１１の回転駆動源に前記ピストン１１の昇降運動を利用した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、流体経路リングと、を具備してなることを特徴とするスライド弁。 （もっと読む）

【課題】真空装置に用いられる回転式スライド弁に於いて、衝撃の少ない回転操作が可能な操作部構造を提供する。
【解決手段】ピストンの直線運動を、ピニオンラックを介して回転運動に変換し、弁体を回動作動させる弁構造に於いて、ピストン１１２の突起部１１２ｃの円筒面にに形成され、突起部１１２ｃの根本部分から、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した緩衝溝１１８を設け、圧力空間１１３内の流体を緩衝溝１１８を介して排出する。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】ステムを回り止めしながら弁体のガタつきを防ぐことにより、弁体と弁座とのシール面が傷付くことを防止して高いシール性を確保でき、しかも、ステムの回り止め部分を外方から容易にメンテナンス可能に設けることで、ステムを常に安定動作させてシール性を維持できるゲートバルブを提供する。
【解決手段】ボデー１内で昇降動するステム２の下端に弁体３を吊下し、この弁体３でボデー１内の弁座４に着座させて開閉するゲートバルブである。このゲートバルブは、ボデー１の上部に取付けた駆動機構５の回転力でステム２を昇降動自在に設け、このステム２を駆動機構５の上方より延出させた延出部１７の径方向に回転防止用の回り止めピン２２を設けると共に、駆動装置５の上部に長穴３３を有する回り止めカバー３２を固設し、この長穴３３に回り止めピン２２を係合可能に案内させてステム２の回転力を防いで弁体３が弁座４に摺動する現象を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブにおける高さ寸法を抑制して小型化を図ると共に、弁ディスクによる弁閉状態を確実且つ安定的に維持する。
【解決手段】ゲートバルブ１０を構成するハウジング１６の内部には、サイドフレーム３２ａ、３２ｂと略平行に一対のサブフレーム８８ａ、８８ｂが設けられ、前記サブフレーム８８ａ、８８ｂの長手方向に沿って形成されたローラ挿通溝には、それぞれ二対の保持ローラ９０ａ、９０ｂが挿通されている。そして、弁ディスク２２が傾動動作して弁座に着座した弁閉状態において、弁ロッド２０が連結され傾動変位した変位ブロック６２から付与される荷重が保持ローラ９０ａ、９０ｂに付与され、該保持ローラ９０ａ、９０ｂが当接しサブフレーム８８ａ、８８ｂに設けられた第１及び第２受圧体によって負担される。この第１及び第２受圧体は、サブフレーム８８ａ、８８ｂより硬度の大きい材質によって形成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、シール面の経時偏摩耗を防止でき、シール性が長期間に亘って確保できるボールバルブの提供。
【解決手段】 ガス流路２１内に、球面の一部で構成された環状の凸シール面３４を有する弁体３を回動自在に配し、球面の一部で構成されるとともに環状の凸シール面３４に摺動する環状の凹シール面４０を有する筒状シートリング４を、弁体３の弁軸３１と直交する方向および周方向に弾性保持し、かつシートリング４の変位量を規制する規制部材５を設けたボールバルブ１において、弁体３の回転軸３１は開弁方向への回転角の増大に伴い凸シール面３４の球面中心がシートリング４の凹シール面４０から遠ざかるように半径方向に偏心して設定するとともに、規制部材５により、偏心位置より外周位置で凸シール面３４が凹シール４０面から離脱するように設定し、さらにシートリング４を弁軸３１の偏心方向に付勢する偏心方向付勢手段７を付設した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、弁体の全ての回転角においてシートリングと流体流路の内周壁との間でこじりが発生することを確実に防止できるボールバルブの提供。
【解決手段】 ハウジング内に、球面の一部で構成された環状の凸シール面を有する弁体を回転自在に配し、同一球面の一部で構成されるとともに前記凸シール面に摺動する環状の凹シール面を有するシートリングを前記弁体の回転軸と直行する方向に弾性保持（フローティング支持）するボールバルブにおいて、シートリングの弁体側部に弁体の回転軸に係止する係止部材を付設した。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

荷重を弁パッキンに与えるための方法および装置を説明する。荷重を弁パッキンに与えるための例示的な装置は、荷重をシールアセンブリに提供するように、弁パッキンフランジ（３２２）とストッパフランジ（３２４）との間に配設される付勢要素（３３４）を有する、荷重アセンブリを含む。パッキンフランジ（３２２）は、シールに印加される荷重を調整するように、ストッパフランジ（３２４）に対して調整可能である。パッキンフランジまたはストッパフランジに連結される第１のガイド部材（３４４）は、パッキンフランジとストッパフランジとの間の第１の所定の距離を提供する。第１のガイド部材（３４４）は、パッキンフランジおよびストッパフランジが第１のガイド部材によって提供される第１の所定の距離だけ離間された時に、荷重アセンブリによって提供される第１の所定の荷重の指示を提供する。
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【課題】半導体処理槽の開閉を行うバルブにおいて、バルブ前後の圧力差が大きくなっても問題なく操作可能なバルブを提供する。
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口１１５と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口１１７とを有するバルブハウジング１０５を含むスリットバルブ１０１ａを基本とし、該スリットバルブかつ該第２の開口を封止するように適合された封止部１０７と、該封止部１０７に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材１０９とを有する閉鎖部材１０３を含むスリットバルブ。 （もっと読む）

自動車の暖房及び／又は冷房システム内で媒体の流量を制御するための弁（１００）であって、少なくとも１つの第１の通路（１４０）を備えた弁ハウジング（１１０）と、前記第１の通路（１４０）を開閉するための調整ディスク（１７０）とを有している。この場合、調整ディスク（１７０）は、回転可能に支承された駆動軸（１８０）の第１の端部に配置されており、前記駆動軸（１８０）が、前記調整ディスク（１７０）から、前記弁ハウジング（１１０）の軸方向開口（１６０）を通って、前記弁ハウジング（１１０）内に配置されたばね室（２３０）内に延在している。前記ばね室（２３０）内に配置された、駆動軸（１８０）の第２の端部が平歯車（１９０）を有している。さらに、前記ばね室（２３０）内にばね（２４０）が配置されていて、該ばね（２４０）の第１の端部が前記弁ハウジング（１１０）に支えられ、前記ばね（２４０）の第２の端部が前記平歯車（１９０）に支えられている。
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