【課題】比較的高圧の駆動用ガスを用いて、複数の入口側流路を高速で選択的に切り替えて出口側流路に連通させることができると共に、流路をシールするシール部材の破損を防止できる流路切替弁、内燃機関及び内燃機関のＥＧＲ方法を提供する。
【解決手段】複数の入口側流路５１ａ、５１ｂのいずれか一つ又は複数を選択的に単数又は複数の出口側流路５２ａに連通させたり、遮断したりする流路切替弁５０Ａにおいて、ケース５４内に設けられた入口側流路５１ａ、５１ｂ側と、出口側流路５２ａ側との間でスライドするシャッター部材５５を設け、出口側流路５２ａのシールのためにシャッター部材５５とケース５４の間にシール部材を配置し、更に、シャッター部材５５をケース５４の出口側流路側５２ａの内壁面から浮かせてスライドさせるための案内部材５３を設けて、シャッター部材５５と内壁面との間に隙間Ｐを形成する。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁とパイロット弁座との間を水密にシールするためのシール部材が、パイロット弁の移動に伴って環状の保持溝内で軸方向に相対移動することで流調特性が悪化する問題を解決することのできるパイロット式流量調節弁装置を提供する。
【解決手段】 主弁３８と、背圧室４８と、パイロット流路５２と、パイロット弁座１４２と、パイロット弁６０と、を有し、パイロット弁６０が閉弁状態でパイロット弁座１４２に対して、保持溝１３０の内部に保持したシール部材１４４を介して水密に嵌合し、パイロット流路５２を閉鎖する流量調節弁装置において、保持溝１３０の内部には、溝側面１３０Ａ，１３０Ｂの少なくとも一方からシール部材１４４に向けて突出しシール部材１４４を押圧する凸形状のシール押え１３２を設けておく。 （もっと読む）

【課題】小型且つ安価なモータを用いつつ、Ｏリングの固着を解除し得て、操作軸の移動により弁部を円滑に開閉及び／又は開度変化させることのできる給水制御バルブを提供する。
【解決手段】主弁３８と、操作軸７６と、操作軸７６周りを水密にシールするＯリング７８，１４４と、操作軸７６を駆動するモータ３２と、モータ３２を動作制御する制御部とを有する給水制御バルブ２２において、通常の給水制御モードに加えて、モータ３２の回転の速度を給水制御モードの際の速度よりも遅くして操作軸７６を駆動する、Ｏリング７８，１４４の固着解除モードを実行させるようにする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの駆動力に対する作動応答性に優れ、精度良く機能可能な制御弁を提供する。
【解決手段】ある態様の制御弁１は、上流側から冷媒を導入する導入ポート２０と、下流側へ冷媒を導出する導出ポート２２と、導入ポート２０と導出ポート２２とを連通する弁孔２８とを有するボディ５と、弁孔２８の開口部に設けられた弁座３０に着脱して弁部を開閉する可撓性を有する弁体６６と、弁体６６を弁部の開閉方向に駆動するソレノイド４と、弁体６６に対向配置されて弁体６６と一体に動作するとともに、弁体６６との対向面にて閉弁方向の圧力を受圧する受圧体５７と、弁部が閉弁状態となるときに受圧体５７に密着してその有効受圧面積を拡大する可撓性を有するシール部材５６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外部からの振動の影響を受け難く、好ましくは比較的大きな弁ストロークを得ることが可能なステッピングモータ駆動式の制御弁を提供する。
【解決手段】流量制御弁３２は、ボディに固定されるシャフト１８２と、シャフト１８２の外周面に軸線方向にそった螺旋状のガイド部１８４と、ガイド部１８４に係合する係合部とロータ１７２に支持される動力伝達部とを有する回転ストッパ１８８と、ロータ１７２に係合して軸線方向に並進可能に支持されるとともにボディに螺合し、ロータ１７２の回転により弁体と一体に弁部の開閉方向に動作する弁作動体１３４と、を備える。そして、ロータ１７２がその一端側と他端側に軸受部を有する中空形状をなし、シャフト１８２がロータ１７２の内部空間に延設されることにより、回転ストッパ１８８がその内部空間において変位するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】弁の開閉精度を向上させた調整弁装置を提供する。
【解決手段】調整弁装置３００は、弁体頭部３１０ａを有する弁体３１０と、弁体に動力を伝達する動力伝達部材３２０ａと、弁体を摺動可能に内蔵する弁箱３０５と、動力伝達部材に対して弁体と反対側の位置に第１の空間Ｕｓを形成する第１のベローズ３２０ｂと、動力伝達部材に対して弁体側の位置に第２の空間Ｌｓを形成する第２のベローズ３２０ｃと、第１の空間と連通する第１の配管３２０ｄと、第２の空間と連通する第２の配管３２０ｅとを有する。第１の空間及び第２の空間に供給される作動流体の圧力比率に応じて動力伝達部材から弁体に動力を伝達することにより、弁体頭部によって弁箱に形成された搬送路を開閉する。弁体頭部は、弁体頭部が接する搬送路の弁座面のビッカース硬さより硬く、その硬度差は概ね２００〜３００Ｈｖである。 （もっと読む）

【課題】ホットガスサイクルを備えた冷凍サイクルに装備され、圧縮機が吐出する冷媒ガスを、コンデンサに導く高圧流路又はコンデンサを迂回してエバポレータに導くバイパス流路のいずれかに選択的に切り換える三方切換弁であって、製造コストを安価にし且つコンパクト化を図る。
【解決手段】三方切換弁１は、冷凍サイクルの圧縮機とエバポレータとの間のバイパス流路を開閉する電磁弁３と、電磁弁が開弁した状態で圧縮機からコンデンサへの高圧流路を閉じるとともに電磁弁が閉弁した状態で高圧流路を開く差圧弁４とを備えている。電磁弁はバイパス流路に配設されているため、大きな駆動力が不要であり、コイル３５を小型にすることができる。弁本体２は、その一端から内方へ向けて形成された弁装着穴１０を有しており、電磁弁と差圧弁は弁装着穴に直列状態で挿入装着される。弁装着穴は、その開口端側に配設された一つのＯリング３２によりシールされる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの必要な可撓性を確保しながらも、耐圧性及び耐久性を十分に高める。
【解決手段】弁室１９内に受圧面２４ａが臨むように設けられ貫通孔１８と弁ロッド１３の外周との間をシールするダイヤフラム２４とを備えたダイヤフラムバルブにおいて、ダイヤフラム２４の受圧面２４ａとは反対側の面に接触するように、弁ロッド１３の外周に嵌挿状に取り付けられ、ダイヤフラム２４に作用する力を弾性変形することにより吸収する軟質ゴム製の受圧変形体２を設けた。 （もっと読む）

【課題】流通回路の変更に伴う予備品を必要とせずに、簡易な作業で弁機構内の弁体に対する作動方向の異なる構成にすることのできる空気圧式作動機構を提供する。
【解決手段】作動体２００が内装された作動手段２０と、作動体を付勢する付勢手段３０と、流体の流通制御を行う弁機構１と作動手段とを連結する連結手段４０を備えた空気圧式作動機構２で，付勢手段がコイルバネで構成され、連結手段は軸体４００が内挿された筒状のハウジング４１０と、ハウジングの両端部に対して回転自在に取り付けられ弁機構に設けられた筒状の弁機構側連結部１３，及び作動手段のケーシングに設けられた筒状のアクチュエータ側連結部２０６の何れに対しても外嵌状態で螺合可能に構成された一対のネジ部材４１２ａ，４１２ｂと、ハウジング内部の一端側に固定される第一バネ受体４２０とハウジングの他端側に位置する軸体の一端側に固定される第二バネ受体４３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】チャタリングが生じやすい従来では低開度に相当した弁体の移動距離（リフト）までは、閉弁状態を保持し、弁体がチャタリングを生じ得ない弁座との離間距離を超えた時に開弁する様に構成した弁座構造を提供する。
【解決手段】一次側流路５と二次側流路６とに連通する弁口８の一方の開口端に、弁体10が着離自在と成す様に設けられた弁座９であって、該弁座９には、これの外周縁を環囲すると共に、弁体10が弁座９との着座位置から所定距離Ｌ離隔する位置Ｙまでの間は弁体周壁10ｂが往復動自在に摺接して閉弁状態を保持し、前記離隔位置Ｙを超えると弁体周壁10ｂが離脱して開弁するシートリング9aを連設する。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による圧抜けを抑制できる流量制御弁を提供すること。
【解決手段】流体圧ポンプとしてのベーンポンプ１０１から吐出された作動油を油圧機器１０に導く供給通路１２に介装され、油圧機器１０に供給される作動油の流量を制御する流量制御弁１００であって、流体制御弁１００の本体を構成するバルブボディ２７と、バルブボディ２７に嵌入され、内周にスプール孔３１を形成するスリーブ２５と、スプール孔３１に摺動自在に挿入され、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の圧力に応じて移動し、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の一部をベーンポンプ１０１の吸込側に連通する戻り通路３３へと環流するスプール３０とを備え、スリーブ２５はバルブボディ２７にすきま嵌めで嵌入され、バルブボディ２７とスリーブ２５との間をシールし、スリーブ２５の軸方向への移動を規制する移動規制手段を備える。 （もっと読む）

座弁または蝶形弁用のアクチュエータであって、常閉（ＮＣ）または常開（ＮＯ）型であり、また、シリンダ（３）と、ばねによって通常位置に保持されるピストンとを含むアクチュエータである。このばねは実質的に、加圧された流体含む密閉空間から成り、アクチュエータはさらに、加圧流体用の２つ以上の連結部（１２、１３）を有する、少なくとも頂部ユニット（７）から成る。このアクチュエータでは、頂部ユニット内の連結部の１つがさらに、シリンダの一方の端部の所で１つ以上の開口部を通してシリンダの内部に連結され、他の連結部が、シリンダの他方の端部の所で１つ以上の開口部を通してシリンダの内部に連結されている。頂部ユニットは、頂部ユニットの位置を変更し、たとえば、頂部ユニットをピストンおよびシリンダの軸に一致するかあるいは平行な軸の周りに１８０度回転させることによって、連結部を入れ替えられるようにする構成を有する。
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【課題】本発明の目的は、非常に耐久性に優れ高寿命化を図ることができるとともに、応答速度が速くタイミング良く正確に流体の流れを制御することが可能な外部パイロット式オペレートバルブを提供する。
【解決手段】バルブボディ１ａと、バルブボディ１ａに形成され流体を導入する導入口１ｂと、導入口１ｂと連通し流体Ｆが導出する導出口１ｃと、流路１ｄの途中で流体Ｆの流れを閉止または開放する弁体１ｅと、弁体１ｅを固定し流体Ｆの流れを閉止又は開放するために移動するピストンロッド１ｆと、シリンダーボディ１ｈに収容されピストンロッド１ｆを移動させるピストン１ｎと、ピストン１ｎ、ピストンロッド１ｆ、弁体１ｅを移動させ流体Ｆの流れを開放させる空気を供給する開放側オペレートエア供給孔１ｔと、ピストン１ｎ、ピストンロッド１ｆ、弁体１ｅを移動させ流体Ｆの流れを閉止させる空気を供給する閉止側オペレートエア供給孔１ｓとを備える。 （もっと読む）

【課題】高真空バルブにおいて、弁部材を開閉駆動するロッドの軸シール部から真空雰囲気にある流路へのグリースの蒸発、溶出、流出を抑制し、軸シール部の長寿命化を図る。
【解決手段】この高真空バルブは、第１のポート１２と第２のポート１３との間の流路１１に弁座１６を設け、該弁座に接離する弁部材１４を備えた弁体部１と、パイロット流体圧により駆動されるロッド１５が上記弁座に対向する流路壁を貫通して流路内に挿入され、その先端に連結した弁部材を弁座の開閉のために駆動する弁駆動機構部２とを備える。上記ロッドの軸シール部３０を、貫通孔１８内にグリース溜３１を設けて、該グリース溜の流路１１側にグリース保持用のシール部材３２を設けると共に、グリース溜の反対側に真空シール用シール部材３３を設け、グリース溜の軸方向長さを、上記弁部材の最大ストロークと同じかそれ以上に形成する。 （もっと読む）

【課題】常閉型のパイロット操作式開閉弁を直列に複数接続して構成した既存のアンド回路に新たな開閉弁を追加する場合に、その作業を容易且つ迅速に行うことのできる多連開閉弁装置を提供する
【解決手段】常閉型のパイロット操作式開閉弁２を複数有し、それら各開閉弁２同士を互いに直列に接続してなる多連開閉弁装置１において、各開閉弁２のうちの一つにその弁体１３を開弁位置に保持するプラグ部材１６を装着する。これにより、各開閉弁２のうちプラグ部材１６の装着された開閉弁２を除くものによってアンド回路が構成される。そして、そのアンド回路に新たな開閉弁を加える場合には、開弁状態に保持された開閉弁２からプラグ部材１６を取り外すことで、その開閉弁２をアンド回路の一部として利用可能になる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって優れたシール性能を発揮することができるダイヤフラムバルブを提供する。ダイヤフラムバルブの閉状態において、処理流体配管を確実に閉塞することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂（ＰＴＦＥまたはＰＦＡ）製の弁座３０の先端部（ダイヤフラム２５に対向する端部）には環状のシール部材２０が配置されている。弁座３０の上面には、弁座３０の内面に連続する環状の段部４５が形成されており、その段部４５にシール部材２０が収容されている。シール部材２０は、フッ化ビニリデン系樹脂（ＦＫＭ）によって形成されており、比較的高い弾性および耐薬性を有している。流路の閉鎖状態で、ダイヤフラム２５と弁座３０との間にシール部材２０が密着状態で介装される。 （もっと読む）

【課題】高温流体制御時でも安定したシールを行う流体制御弁を提供すること。
【解決手段】入力ポート１１と出力ポート１２とに連通する開口部１４を備える樹脂製弁本体２と、前記開口部１４の内壁に設けられた弁座１５と、前記樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、前記樹脂製弁本体２と前記樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備える流体制御弁１において、前記樹脂製弁本体２は、前記開口部１４の外側に環状溝１６が形成されており、前記ダイアフラム弁体４は、外縁に沿って肉厚に設けられた周縁部４ｃを含み、前記ダイアフラム弁体４より硬い材料を環状に形成したリング体３５が、前記周縁部４ｃに装着されている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器のダイヤフラム等の振動を抑制して異音の発生を抑え、かつ耐久性を向上させる。
【解決手段】減圧弁５ａ、５ｂを開閉駆動するダイヤフラム１３に連結された切替軸を軸方向に摺動自在に支持する支持部材２０の筒孔内面に対向する切替軸の外周にリングパッキン２５を装着して、リングパッキン２５と支持部材２０の筒孔との摺動抵抗によりダイヤフラム１３の振動を抑制して、異音の発生を抑えるにあたり、リングパッキンの断面を長円形に形成し、支持部材２０の筒孔の内面に対向する面に周方向に沿って凹溝２５ａを形成し、グリースを塗布して摺動抵抗を管理する。 （もっと読む）

【課題】高い流体圧が繰り返し作用する厳しい条件下での使用に対しても耐久性に優れていて長寿命化を図ることができ、しかも、製造コストを抑えることができて経済的な高真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブハウジング１０に連結された互いに直交する２つのポート１２，１３を、弁部材１５により開閉されるバルブハウジング１０内の弁流路１１を介して連通可能とした高真空バルブにおいて、上記弁流路１１内で、上記弁部材１５を開閉動作させる弁シャフト１７周りを、筒状体２０と溶接ベローズ２１との連結体により気密に包囲し、その連結体の一方の端部を弁部材１５の背面に固定すると共に、他方の端部をバルブハウジング１０内における弁部材１５の背面と対向する部位に固定した。 （もっと読む）

【課題】減圧作動に対する一次圧の影響を抑えて二次圧を所定圧力に制御し、圧力変動に対して良好に応答させ、しかも減圧部材に付設したシール部材の寿命を長くする。
【解決手段】減圧弁室(10)に開口する出口路(11)の周囲に弁座(18)を形成する。減圧部材(19)にシール部材(20)を弁座(18)に対面させて設ける。作動室内のピストン部材を減圧部材(19)と連係する。減圧部材(19)と減圧弁室(10)内面との間に第１シール部(24)を設け、第１シール部(24)での第１シール面積(S1)を弁座シール面積(S0)よりも広くする。減圧部材(19)内にガス導入路(25)を形成し、入口路(９)を第１シール部(24)と弁座(18)との間の弁室内空間(Ａ)に連通する。弁室内空間(Ａ)よりも上流側で、ハウジング(５)と減圧部材(19)との間に第２シール部(26)を設ける。第２シール部(26)での第２シール面積(S2)を、第１シール面積(S1)と弁座シール面積(S0)との面積差と略等しくする。 （もっと読む）