【課題】弁閉時の流体の残留部分の容積を極小にして流路の切り替えを高速化でき、耐久性を向上して長寿命化を図り、ダイヤフラムの交換も容易なダイヤフラムバルブを提供する。
【解決手段】弁箱２０内の弁座２５の弁口２５ａ直下に極小の容積Ｖを有する連通部２９を介してメイン流路２３を配設し、弁箱２０内にシートホルダ３３でシート２６を保持したダイヤフラム構造体２１を装着する。ダイヤフラム構造体２１は、シートホルダ３３とダイヤフラムピース３２とを螺着結合して内径孔外周縁５２を挟着し、ダイヤフラムピース３２をボンネット３４で上下動可能に保持し、軸部３２ａに装着したスプリング４１でダイヤフラム３１を開方向に付勢させ、スプリング４１を軸部３２ａに螺合したストッパ４０で適正な荷重を与える構成とし、ボンネット３４と弁箱２０内でダイヤフラム３１の外周縁５３を挟着してダイヤフラム吊り下げタイプとした。 （もっと読む）

【課題】パイロット方式の操作パターン切換装置でありながら、コンパクトに構成できるとともに操作パターンの切換を電気的に簡単に行なうことができる操作パターン切換装置を提供する。
【解決手段】１つの装置本体に軸方向作動型のスプール24〜27をそれぞれ設ける。これらのスプール24〜27を２つの電磁切換弁35，36への電気入力信号のオン・オフにより作動し、軸方向のオン位置およびオフ位置に変位させる。これらの電磁切換弁35，36のオン・オフの組合わせによりスプール24〜27を経て連通する複数のパイロット圧通路41〜46を変化させることで、複数の入口ポートＡ〜Ｈと複数の出口ポート１〜８との接続関係を４通りに変化させる。 （もっと読む）

【課題】 ピストンが傾斜することを防止できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１で入口２と弁口５と出口３を形成する。弁口５に対向して主弁６を配置する。主弁６がピストン７と協働して弁口５を開閉せしめる。弁口５とピストン７の間の出口側空間８と出口３とを隔てる隔壁筒１０を設ける。隔壁筒１０に総開口面積が弁口面積と同等となる連通孔１１を等間隔に複数個形成する。連通孔１１は出口３と直角方向の両側のみに形成する。弁口５から出口３に向かう高圧流体が隔壁筒１０内でピストン７に均等に作用しながら連通孔１１から出口３に排出されるので、ピストン７が傾斜することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】保持部材に対して弁体が回動し過ぎることを抑止して、圧力調整機能を確保することが可能な圧力調整装置を提供すること。
【解決手段】弁体５２は、略半球状の調芯ボール部５２ａと調芯ボール部５２ａの下端から下方に延びる比較的高さが低い円柱状部５２ｂとにより構成されている。弁保持部５１には下面から凹んだ凹部５１ａが形成され、凹部５１ａ内に調芯ボール部５２ａが収容されて、弁保持部５１が弁体５２を回動可能に保持している。弁体５２の円柱状部５２ｂの一部は、調芯ボール部５２ａの球状外周面を下方へ仮想延長した面よりも外方に突出している。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】感圧制御弁を改良し、可変容量型圧縮機の起動直後において吐出容量が大きくなるまでに掛かる時間を短縮する。
【解決手段】本体ケース１のガイド孔１２よりも外側に、クランク室側ポート１３とベローズ収容室２Ａとを連通するクランク室連通ポート１７を形成する。ベローズ収容室２Ａ内の感圧用ベローズ３の底部の下カバー３１に、逃し弁３１ａを形成する。圧縮機の容量制御運転時には、逃し弁３１ａをクランク室連通ポート１７の小径部１７ａ内に挿通した状態とする。吸入圧力Ｐｓが高い時、感圧用ベローズ３が収縮することにより、逃し弁３１ａをクランク室連通ポート１７の大径部１７ｂに変位させクランク室連通ポート１７を開き、クランク室圧力を、クランク室連通ポート１７を介して、ベローズ収容室２Ａ及び吸入圧力側ポート２１に逃がす。 （もっと読む）

【課題】パイロットポートを有する主弁体と、主弁体との所定範囲での相対移動によってパイロットポートを開閉する副弁体とを備えるパイロット機能付き弁において、副弁体および主弁体を、それらの相対移動量を規制するようにして相互に組み付けるにあたり、組み付け作業を容易とするとともに小型化を可能とする。
【解決手段】主弁体７８および副弁体７９の一方に凹部９０が、他方に挿入部９１が設けられ、凹部９０の内周および挿入部９１の外周の一方に設けられる環状溝９７に、拡縮するように弾性変形し得るリング９８が装着され、挿入部９１を凹部９０に挿入して組付ける際にリング９８を乗り越える係合突起９９が、凹部９０の内周および挿入部９１の外周の他方に突設され、パイロットポート８０を開く側に副弁体７９が移動したときにはパイロットポート８０が開いた後で係合突起９９がリング９８に係合して主弁体７８を開弁位置側に移動せしめる。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁とパイロット弁座との間を水密にシールするためのシール部材が、パイロット弁の移動に伴って環状の保持溝内で軸方向に相対移動することで流調特性が悪化する問題を解決することのできるパイロット式流量調節弁装置を提供する。
【解決手段】 主弁３８と、背圧室４８と、パイロット流路５２と、パイロット弁座１４２と、パイロット弁６０と、を有し、パイロット弁６０が閉弁状態でパイロット弁座１４２に対して、保持溝１３０の内部に保持したシール部材１４４を介して水密に嵌合し、パイロット流路５２を閉鎖する流量調節弁装置において、保持溝１３０の内部には、溝側面１３０Ａ，１３０Ｂの少なくとも一方からシール部材１４４に向けて突出しシール部材１４４を押圧する凸形状のシール押え１３２を設けておく。 （もっと読む）

【課題】一つの流入口と二つの流出口とを有し、ステッピングモータ等の回転駆動源により二つの流出口を選択的に開閉することにより方向（流路）の切り換えを行うようにされるとともに、二つの流出口を共に全開にさせることのできる、流路切り換えの迅速化・省エネ化等を図ることのできる方向切換弁を提供する。
【解決手段】流入口１０と二つの流出口１１、１２との間に、パイロット式の弁形態をとる二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂが配在され、この二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂとステッピングモータとの間に、前記二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂを相互に逆方向に開閉駆動する逆駆動機構としてのシーソー型揺動アーム５０が設けられ、該シーソー型揺動アーム５０を特定回動位置（水平位置）で停止させることにより、前記二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂ（流出口１１、１２）を共に全開にできるようになる。 （もっと読む）

【課題】真空装置に用いられる回転式スライド弁に於いて、衝撃の少ない回転操作が可能な操作部構造を提供する。
【解決手段】ピストンの直線運動を、ピニオンラックを介して回転運動に変換し、弁体を回動作動させる弁構造に於いて、ピストン１１２の突起部１１２ｃの円筒面にに形成され、突起部１１２ｃの根本部分から、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した緩衝溝１１８を設け、圧力空間１１３内の流体を緩衝溝１１８を介して排出する。 （もっと読む）

【課題】小型且つ安価なモータを用いつつ、Ｏリングの固着を解除し得て、操作軸の移動により弁部を円滑に開閉及び／又は開度変化させることのできる給水制御バルブを提供する。
【解決手段】主弁３８と、操作軸７６と、操作軸７６周りを水密にシールするＯリング７８，１４４と、操作軸７６を駆動するモータ３２と、モータ３２を動作制御する制御部とを有する給水制御バルブ２２において、通常の給水制御モードに加えて、モータ３２の回転の速度を給水制御モードの際の速度よりも遅くして操作軸７６を駆動する、Ｏリング７８，１４４の固着解除モードを実行させるようにする。 （もっと読む）

【課題】インタンクバルブおよびタンクの小型・軽量化を図る。
【解決手段】主止弁１０は、一部を水素タンク２の内部に挿入され水素タンク２に固定されるボディ１１と、ボディ１１内に形成され水素タンク２の内部に通じる第１通路１５と、ボディ１１内に形成され水素タンク２の外部に通じる第２通路１７と、水素タンク２の内部から第２通路１７に通じるパイロット通路２９と、パイロット通路２９を開閉する電磁式のパイロットバルブ３０と、パイロットバルブ３０の開弁による第２通路１７内の圧力上昇で得られる推力と第１通路１５とパイロット通路２９との圧力差で得られる推力とを用いて開弁することで第１通路１５と第２通路１７とを連通させ、パイロットバルブ３０よりも大流量で水素タンク２内の水素ガスを流通させることが可能なメインバルブ１８と、を備え、パイロットバルブ３０を水素タンク２内の圧力を受圧するようにボディ１１に設置する。 （もっと読む）

【課題】常温時と高温時との間でＣｖ値の変動が少なくて安定した流量を確保でき、製品間のＣｖ値のバラツキを少なくする流量制御弁を提供すること。
【解決手段】流量制御弁は、入力ポート４１Ｂ及び出力ポート４１Ｃに連通する弁室４４に弁座４２を設けたバルブボディ４１と、弁座４２と接離するメタルダイアフラム４３と、メタルダイアフラム４３の中央部を上下動させるステムと、ステムを駆動させるアクチュエータと、その上部でアクチュエータが連結されたホルダ部５とを備え、ステムは、アクチュエータに連結された第1ステム７１とメタルダイアフラム４３の中央部上面に押し当てられた第２ステム７２とに上下分割され、互いに当接、離間できること、メタルダイアフラム４３の弁開位置で、第１ステム７１が第２ステム７２の上昇を規制することにより、メタルダイアフラム４３の使用ストローク長をフルストローク長より減少した。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータＡの負荷圧に応じてスプールＳの位置制御を可能にする。
【解決手段】 バルブ本体Ｈに摺動自在に組み込んだスプールＳの両端をメインパイロット室７，８に臨ませている。そして、このメインパイロット室７，８よりも外側に補助パイロット室１１，１９を設けるとともに、この補助パイロット室１１，１９に補助ピストン１０，１８を摺動自在に組み込んでいる。この補助ピストン１０，１８には、アクチュエータＡの負荷圧を導くとともに、当該補助ピストン１０，１８の推力をスプールＳの推力対向させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】弁体と弁座とのシール性を高めながら、弁体及び弁座の耐久性を保ち、電磁駆動部の大型化を回避する電磁弁を提供する。
【解決手段】プランジャ５のガイド孔５１と、プランジャばね８を内挿する縦孔５２との間に透孔５３を設け、プランジャばね８とパイロット弁体６との間に透孔５３を介して伝達金具７を設ける。プランジャばね８のばね力を、電磁駆動部３の通電遮断時のプランジャ５の復帰用の力とするとともに、パイロット弁体６がパイロット弁座４５に着座したときは、伝達金具７を介してプランジャばね８のばね力をパイロット弁体６のみに作用させる。 （もっと読む）

【課題】増締め操作領域を確保しつつバルブとの取付け部分をコンパクトに形成してバルブ取付け後の全体高さを低くでき、しかも、部品点数を少なくしてバルブ取付け時の作業工数を小さくできるバルブ駆動用アクチュエータを提供する。
【解決手段】往復動するピストンロッド７の直線運動を回転運動に変換する回転変換機構６を内蔵したハウジング１の少なくとも一方側にシリンダユニット２を設けたバルブ駆動用アクチュエータである。このバルブ駆動用アクチュエータは、ハウジング１の下部とシリンダユニット２の内方端面２ａで形成される空間領域Ｓにおいて、バルブ取付面１３と増締め操作領域Ｔを有するブラケット１２とがハウジング下面１ａに一体に垂下形成されている。 （もっと読む）

【課題】点検時に指が挟まれることを回避することができる自動弁用外傷防止部材を提供する。
【解決手段】自動弁用外傷防止部材は、第１の板状部材１１が、第１の板状部材１１に対して離間して平行に延びる第１の仮想軸線１８を囲むように曲げられて、曲げられることにより接近した第１の板状部材の両端部１１ｅ、１１ｆの距離Ｌ１０が、外力を加えないときに自動弁の開口５５ｈａの両側に存在する側壁５５ｓの外表面の間の最大距離Ｄよりも小さく、外力を加えたときに弾性変形によって最大距離Ｄよりも大きくなり、第１の板状部材１１の面に人間の指が貫通することなく第１の板状部材１１の面の反対側の状態を視認可能な視認部１２が形成されて構成された第１のカバー１０を備える。 （もっと読む）

【課題】液体コンフォーマルコーティング材料の流れに途切れを生じさせることなくかかる流れを基板上に小出しするアプリケータ及び方法を提供する。
【解決手段】アプリケータ（10）は液体コンフォーマルコーティング材料の入口（16）を備えた液体流路（40）、液体出口（44）、弁座（62）及び弁作動機構体（80）を含む本体組立体（12）と、開放位置と閉鎖位置との間で往復動する弁棒（70）と、弾性減衰要素（180 ）を有する。弁作動機構体は弁棒を開放位置と閉鎖位置との間で作動させる。弁棒の第１の端（70ａ）は閉鎖位置では弁座に係合して液体出口を通る液体材料の流れを止め、開放位置では弁座から離脱して液体出口を通る液体材料の流れを可能にする。弾性減衰要素は弁棒が閉鎖位置から開放位置に動いているときに弁棒に対して付勢力をもたらす。 （もっと読む）

【課題】外部からの振動の影響を受け難く、好ましくは比較的大きな弁ストロークを得ることが可能なステッピングモータ駆動式の制御弁を提供する。
【解決手段】流量制御弁３２は、ボディに固定されるシャフト１８２と、シャフト１８２の外周面に軸線方向にそった螺旋状のガイド部１８４と、ガイド部１８４に係合する係合部とロータ１７２に支持される動力伝達部とを有する回転ストッパ１８８と、ロータ１７２に係合して軸線方向に並進可能に支持されるとともにボディに螺合し、ロータ１７２の回転により弁体と一体に弁部の開閉方向に動作する弁作動体１３４と、を備える。そして、ロータ１７２がその一端側と他端側に軸受部を有する中空形状をなし、シャフト１８２がロータ１７２の内部空間に延設されることにより、回転ストッパ１８８がその内部空間において変位するように構成されている。 （もっと読む）