【課題】大流量での流量制御を高精度に実現することができ、簡単な構造で小型化が容易に実現可能な流量調整弁を提供する。
【解決手段】上下の固定構造部１１ａ、１１ｂの間に断面積可変部１１ｃを挟んだ構造の管体１１の中空部は流路１１ｄを構成している。断面積可変部１１ｃの外壁面には加熱により収縮する形状記憶合金コイルばね１２が巻き付けられ、断面積可変部１１ｃの内壁面には戻しばね１３が設置されている。コイルばね１２に通電し加熱すると、コイルばねが収縮し、これに伴って断面積可変部１１ｃの断面積が縮小して、流路１１ｄを通る流体の流量が減少する。コイルばね１２への通電を停止すると、コイルばね１２は元の形状に戻り、戻しばね１３の弾性力により断面積可変部１１ｃの断面積も元の状態に戻る。 （もっと読む）