【課題】バルブの開放温度の設定が容易であり、該開放温度以下での漏れがなく、高い圧力差に耐え、液体環境または気体環境のいずれにも使用でき、小型化を図ることが可能となる感温型マイクロ加工ワンショットバルブを提供する。
【解決手段】感温型マイクロ加工ワンショットバルブであって、シリコン基板１００と、前記シリコン基板の厚さ全体を貫いて構成されているチャンネル１０１と、
前記シリコン基板の一面上に溶着され、前記チャンネルを塞いで配置された低融点金属部材１０２と、を含み構成される。
その際、前記低融点金属部材と前記シリコン基板との間に金属層１０３を有する構成とし、また前記シリコン基板と前記金属層との間に、接着層１０４を有する構成とすることができる。 （もっと読む）