【課題】小型でありながら大流量の流体を流すことができる流体制御弁を提供する
【解決手段】着座面６ａと弁座面４ａとの間に弁内流路４１を介して上流側流路に連通する環状有底溝と、弁内流路４２を介して下流側流路に連通する環状有底溝とを互い違いに多重に設けたものにおいて、弁内流路４１有底溝に対する開口である連通口を当該有底溝の少なくとも側面に形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】梃子の原理を応用した機械的拡大機構を用いた場合よりも更に十分な変位量が得られるピエゾ駆動アクチュエータを得る。
【解決手段】大経の開口部２Ａと小経の開口部２Ｂとを有すると共に、開口部２Ａ、２Ｂが連通する導管２Ｃを有するシリンダ２と、シリンダ２の大経の開口部２Ａからシリンダ２の導管２Ｃに出入りする入力ピストン４と、シンリダ２の大経の開口部２Ａ側で入力ピストン４を支持する円板バネ３と、シリンダ２の小径の開口部２Ｂからシリンダ２の導管２Ｃに出入りする出力ピストン５と、シリンダ２の小経の開口部２Ｂ側で出力ピストン５を支持する円板バネ６と、複数のピエゾ素子を積層して構成したピエゾアクチュエータ７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】筐体の一部を構成する部材の微小な反りを低減し、流体制御の信頼性を向上させた流体装置を提供する。
【解決手段】弁室上壁板３、側板５Ｃ、及び弁室下壁板６（第２の部材）とコーティング膜における２つの長辺の部位のそれぞれが、長辺の部位の長手方向に沿って長辺の部位の短手方向の両側から複数の切り欠きが長辺の部位の中心線に重なるように形成されている。そのため、発熱によってコーティング膜及び第２の部材がＡ方向に膨張する時、コーティング膜及び第２の部材における各切り欠きの両側の部位が各切り欠きの領域へ伸びる方向に力が加わる。さらに、冷却によってコーティング膜及び第２の部材がＢ方向に収縮する時、コーティング膜及び第２の部材における各切り欠きの両側の部位が各切り欠きの領域から縮む方向に力が加わる。よって、冷却後、第１の部材と第２の部材との接合部分全体に残留する応力が低減する。 （もっと読む）

【課題】半径方向温度分布の均一性を高めるように発熱体から流体通路内の液体への熱伝達を改善する。
【解決手段】流体通路を介して供給される液体媒体を吐出する弁装置２０であって、前記弁装置は、流体流路の壁を加熱する発熱体２８を備え、少なくとも１つの混合要素２９は、流体通路に挿入され、且つ、液体媒体が流体通路を流れているときに液体媒体に半径方向流れ成分を導入するように構成されている弁装置。 （もっと読む）

【課題】取り付けコストおよび組み立てコストを実質的に低減することができる、液体塗布用の計量バルブを提供する。
【解決手段】計量バルブは、液滴を吐出することができる閉鎖可能な吐出口４を備え、電磁的な輻射を生成する例えばＬＥＤダイオードまたはレーザ・ダイオードの形式の輻射源１０と、ミラー９と、レンズ７とを含んでいるビーム装置を備えている。可視光領域の輻射１である場合、計量バルブを組み立ておよびアライメントする際に、所望のターゲット位置に液滴が正確に当たるように調整するための補助として可視光を利用することができるので、とりわけ簡便な方法で計量バルブの調整を行うことができる。 （もっと読む）

栓を備えたバルブ本体と、そのバルブ本体と連結して、回転軸の周囲にその回転可能な栓を回転させる様に作動する駆動部本体を備えた圧電バルブが提供される。その回転軸に沿って配置され、前記栓と静的に連結すると共に、前記駆動部本体と回転可能に連結するシャフトを前記駆動部本体は備える。前記軸の周囲に配置され、前記駆動部本体に回転可能に連結するロータアセンブリもまた前記駆動部本体は備える。前記軸の周囲に配置されて前記駆動部本体に静的に連結しており、前記ロータアセンブリの内表面に摩擦係合する様に構成された第１の圧電アクチュエータを前記駆動部本体はさらに備える。加えて、前記軸の周囲に配置されて前記シャフトに静的に連結しており、前記ロータアセンブリの内表面に摩擦係合する様に構成された第２の圧電アクチュエータを前記駆動部本体はさらに備える。 （もっと読む）

【課題】異物の侵入などによって弁体部に開閉不良が生じた場合、確実にこれを検出することが可能なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１２は、開閉検出手段２６を構成する第１の電極（可動電極）を兼ねている。また、第２の基板２０の溝部２２において、ダイアフラム１２と対面する位置に、開閉検出手段２６を構成する第２の電極（固定電極）２８が形成される。 （もっと読む）

【課題】弁体を開閉動作させる駆動力の低減を可能とすると共に、その構造の小型化を図ることを可能にする流量調整絞り弁を提供することを課題とする。
【解決手段】流量調整絞り弁１０１は、流入路１ｂ及び流出路１ｃを有するボディ１を備える。また、ボディ１の内部において流入路１ｂ及び流出路１ｃの間に回転自在に設けられ、回転することにより流入路１ｂ及び流出路１ｃを連通する流路４ｂの開度を調整する弁体４を備える。さらに、ボディ１の内部において、圧電素子部１１，１２を有し、凸部１０ｂａにおいて弁体４に当接すると共に、圧電素子部１１，１２の振動により弁体４を回転させる振動アクチュエータ１０を備える。 （もっと読む）

【課題】弁体を動作させる駆動力の低減によるアクチュエータの小型化及び１つのアクチュエータによる弁体の複数の動作を可能とすることにより、その構造の小型化及びコストの低減を図ることのできる切替弁を提供することを課題とする。
【解決手段】切替弁１０１は、流体通路Ｃ１，Ｃ２を有するボディ１を備え、ボディ１の内部の流体通路Ｃ１，Ｃ２の途中に弁孔１ａを備える。また、弁孔１ａには内部で摺動及び回転自在な弁体２が収容される。さらに、ボディ１の内部には、圧電素子部１１，１２，１３を有する振動アクチュエータ１０が設けられ、振動アクチュエータ１０は弁体２に当接し、圧電素子部１１，１２，１３の振動により弁体２を摺動及び回転させる。また、弁体２は、摺動することにより流体通路Ｃ１，Ｃ２のうちの１つを連通し、さらに回転することにより連通した流体通路Ｃ１或いはＣ２の流量を調整する。 （もっと読む）

本発明は、内燃機関内での、バルブの閉鎖フェーズ中の、ピエゾアクチュエータによって作動されるバルブ素子のバウンド衝突を抑制するための方法に関する。この方法は以下のステップを有している：すなわち、・ピエゾアクチュエータを部分的に放電するステップ、これによってバルブ素子は弁座に達する前に制動される、・ピエゾアクチュエータの放電を中断するステップ、これによってピエゾアクチュエータはバルブ素子によって圧接され、電荷を形成する、・ピエゾアクチュエータを再び放電するステップ、ここで部分的放電後の残留電荷および充電中断中に形成された電荷が少なくとも部分的に放出される。本発明では、放電過程を短時間中断することを提案する。これによって、ピエゾアクチュエータは、バルブ素子の運動エネルギーを受容し、バウンドを伴うはね返りが始まる前に、ピエゾアクチュエータは再び放電され、これによってピエゾアクチュエータによって受容されたエネルギーが排出される。
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【課題】高圧下でも安定したシールが可能であり且つ高速開閉により高速なジェット噴射が可能な超臨界流体ジェット噴射用パルスバルブ装置を提供する。
【解決手段】超臨界流体ジェット噴射用パルスバルブ装置は、超臨界流体導入部１１とジェット噴射出力部１２とを有する超臨界流体導入ハウジング１０と、超臨界流体導入ハウジング１０のジェット噴射出力部１２に配置されるオリフィス２０と、オリフィス２０を押圧することでジェット噴射出力部１２をシールするプランジャ３０とからなる。プランジャ３０は、超臨界流体導入ハウジング１０に一部分が挿入される。付勢部４０によりプランジャ３０をオリフィス２０側に付勢する。駆動部５０は、外部入力信号に応じてプランジャ３０をオリフィス２０と反対側に駆動させる。 （もっと読む）

【課題】媒体の計量に於ける、正確さの高い要求を満たし、計量頻度ないし度数が多い場合でも正確に運転するバルブを提供する。
【解決手段】バルブは計量用開口部を有するバルブエレメント１２、計量用開口部の開閉のために平行移動可能であるバルブゲート１４、可傾移動を行うように構成されたアクチュエータ１６、レバーアーム１８とを含み、レバーアームは、アクチュエータに連結されており、計量用開口部の開閉のためにアクチュエータの可傾移動をバルブゲートの平行ストローク移動に転換する。 （もっと読む）

【課題】連続的に弁開度を調整することができる小型の流体制御弁を提供する。
【解決手段】弁ケーシング１２内には流入口１５と流出口１６とを仕切るオリフィス板２１が設けられており、オリフィス板２１により弁ケーシング１２内には弁室２２が形成されている。オリフィス板２１には複数の連通孔２３が形成され、弁室２２内には連通孔２３よりも粒径が大きい複数の粒子２４が収容されている。オリフィス板２１は振動子としての圧電素子２７により振動し、振動により粒子が連通孔２３から引き離なされて連通孔２３と粒子２４との間に隙間を発生させ連通孔２３全体の連通面積が変化する。これにより、流入口１５と流出口１６との連通面積が変化する。 （もっと読む）

【課題】冷媒を低流量に絞っても安定的に運転する。
【解決手段】両弁部Ｂ１、Ｂ２のうち、一方は低流量域で操作量に対する流量が部分的に急増する特性を有する弁部であり、他方は低流量域で操作量に対する流量がなだらかな特性を有する弁部であり、ヒートポンプＥＣＵ２０Ａは、冷媒を低流量で制御する場合、一方である膨張弁９の弁部Ｂ２は許容しうる最小開度（本実施形態では５０ステップ）で固定して、他方であるエジェクタ３の弁部Ｂ１を駆動して流量制御を行うようになっている。
これによれば、低流量域で操作量に対する流量がなだらかな特性を有する弁部で流量制御を行うことより、冷媒を低流量に絞っても安定的に運転することができる。 （もっと読む）

本発明は、圧縮ガスで満たすことができる、冷却ガス発生器（１１）の圧力容器（１４）の閉鎖装置に関し、圧力容器（１４）は、一端に閉鎖した底部を、及び他端に容器開口部（１６）を備え、この容器開口部（１６）の上に、周囲と連通する排出開口部（１８）を静止位置において閉鎖するバルブ本体（４８、７１）を有する、冷却ガス発生器（１１）を形成するための閉鎖装置（１２）を配置することができ、このバルブ本体（４８、７１）を、排出開口部（１８）を開くための駆動装置（３１）により作動位置へ移動させることができ、排出開口部（１８）の少なくとも１つの弁座（５１）と駆動装置（３１）との間に、加えられる閉鎖力を低下させるとともに静止位置と作動位置との間で少なくとも１つのバルブ本体（４８、７１）を作動させる装置（３３）が設けられる。 （もっと読む）

【課題】デッドボリュームが極めて小さいマイクロバルブを有するバルブ装置を用いた化学分析装置を提供する。
【解決手段】流体が移動可能な複数の第１の流路２１を有する第１の部材１１、第１の部材１１に隣接し、複数の第１の流路２１に連通可能な第２の流路２２を有する第２の部材２１、第２の部材１２に隣接し、複数の第２の流路２２のそれぞれに連通可能な第３の流路２３を有する第３の部材１３を備え、第１〜第３の部材１１、１２、１３が相対的に移動することにより、複数の第１の流路２１の一つと複数の第２の流路２２の一つを連通させるバルブ装置と、第３の部材１３において第３の流路２３に連結され、複数の第１の流路２１の一つから複数の第２の流路２２の一つを通って第３の流路２３内を流れる流体に物理的あるいは化学的処理を行う反応部２５とを備えることを特徴とする化学分析装置を備える。 （もっと読む）

本発明は、供給領域と流体調量領域との間に配置されている調量弁と少なくとも２つの駆動エレメントの延びを入力軸の回転に変換するアクチュエータ駆動装置とを備えた流体調量装置に関する。入力軸は機械的に調量弁と連結されていて、この調量弁を調量するために駆動する。
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【課題】さらなる微細化に対応でき、例えば信号流路の流量をゼロとして流量の制御及び調節が可能なマイクロバルブマイクロバルブを提供する。
【解決手段】分岐部Ｆにおいて２つに分岐する主流路の外壁面に少なくとも１つの信号生成部（１２，１３）が設けられており、信号生成部(１２，１３)は、閉空間で構成され、分岐後の主流路の一方に近く、他方に遠い位置における分岐部Ｆの近傍において閉空間から主流路に臨む開口部を有しており、信号生成部（１２，１３）の壁面には振動生成部（１２ａ，１３ａ）が設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体を逆流することなく、一方向のみに輸送するマイクロバルブの流量調節方法を提供する。
【解決手段】 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 （もっと読む）