【課題】閉弁時にエア漏れを起こす虞がない圧電式バルブの組立方法を提供する。
【解決手段】外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室、該気体圧力室から前記圧縮気体を排出する気体排出路及び弁座が形成される気体排出部、を有するバルブ本体２０と、前記気体排出路を開閉する弁体３１、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子３２、前記圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる一対の変位拡大機構、を有するアクチュエータ３０と、を備えてなる圧電式バルブ１０の組立方法であって、前記圧電素子に所定の電圧を印加して前記弁体を開弁方向へ動作させる工程と、前記開弁方向へ動作させた弁体を前記弁座２４の弁座面に当接させる工程と、前記アクチュエータを前記バルブ本体に対し固定する工程と、前記圧電素子に印加した所定の電圧を解除する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化させることなく、温度変化による流量弁とアクチュエータとの間の相対位置変化を効果的に吸収できるようにする。
【解決手段】ベースと、ベースに固定された流量弁と、アクチュエータと、ベース及びアクチュエータが熱変位部材を介して連結されている流量調整弁である。そして、熱変位部材とベース又はアクチュエータとの間に、熱変位部材の変位を、温度変化よって生ずる流量弁とアクチュエータとの相対位置の変化を相殺する方向に伝達する梃子手段を更に備えている。 （もっと読む）

【課題】流体制御弁を通過する流体のコンタミネーションを防止するとともに、弁体が移動方向に対して傾いたり振動したりすることを防止する。
【解決手段】弁室５２内に当該弁室５２の内面に所定の間隔を介して配置されるとともに、前記弁室５２内に設けられた弁座４に接離可能に設けられた弁体６と、弁体６を開弁方向に付勢するアクチュエータと、弁体６を閉弁方向に付勢する弁体戻しばね８と、弁体６の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって弁体６を付勢する傾き抑制ばね９とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】気体噴出時間が長くなる場合でも、気体を安定して供給することができる圧電式バルブを提供する。
【解決手段】外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室及び該気体圧力室から前記圧縮気体を排出する気体排出路が形成されるバルブ本体と、前記気体圧力室に配置され前記気体排出路を開閉する弁体と、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、前記圧電素子の変位を拡大し前記弁体に作用させる少なくとも一つの変位拡大機構と、前記圧電素子に電圧を印加して前記弁体を開弁動作させ前記気体排出路を開放する駆動手段と、を備えてなる圧電式バルブにおいて、前記駆動手段は、開弁時における前記気体排出路からの気体噴出量の変動を抑止するよう前記圧電素子に対し多段階に電圧を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いて、より高速で、高応答な流体の制御を行う装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路１１の途中に形成された孔１２を上流側から閉塞する栓１３と、電圧の印加により伸長する圧電素子１４と、圧電素子１４の一端部を固定する固定材１５と、圧電素子１４の他端部と栓１３とを繋ぐ張力材１６とを備え、圧電素子１４に電圧を印加することで圧電素子１４を伸長させ、圧電素子１４によって張力材１６を引っ張ることで栓１３を開栓する。 （もっと読む）

【課題】ピエゾインジェクタにおいて、圧電素子の積層体２が伸長しても、ベローズが積層体２の伸長に対し抵抗として作用するのを抑制する。
【解決手段】積層体２が伸長すると、ベローズ組立体２４において、小径ベローズ２７が伸長するとともに大径ベローズ２６が短縮する。この結果、小径ベローズ２７が伸長することで積層体２の伸長に対する抵抗を増しても、大径ベローズ２６が軸方向に短縮することで積層体２の伸長に対する抵抗を減ずるので、ベローズ組立体２４によれば、単一のベローズに比べて、積層体２の伸長に対し抵抗として作用するのを抑制することができる。以上により、ピエゾインジェクタにおいてベローズ組立体２４を採用することにより、単一のベローズを使用する場合に比べて、積層体２の伸長に対する抵抗を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】分離向上等の目的で分析条件を時間変化させる測定においても圧力変動の小さい超臨界流体用圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 超臨界流体が通る流路に設けられた弁室１２と、
該弁室１２に配置され、弁閉時に弁室１２へ先端部が嵌め合わされ、弁開時に弁室１２より退避するよう電気的に操作された弁体１６と、を備えた弁と、
前記弁室１２の上流側又は下流側の流路内超臨界流体圧力を検出する圧力検出手段２２と、
前記圧力検出手段２２により検出された圧力が、目標圧力となるように制御する開閉制御手段２４と、
前記超臨界流体の状態により開時の弁開度を調整する弁開度調整手段３０と、
を備えたことを特徴とする超臨界流体用圧力制御装置１０。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸張を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】電力を使用する時間を開口状態／又は閉口状態の維持時間に関係なく一定の短い時間に制限することで消費電力を小さいものとすると共に、機器への負担が小さくて済む、電動の遠隔操作式排水栓装置を提供する。
【解決手段】排水を排出する排水口を遠隔的に開閉する遠隔操作式排水栓装置を、排水口に配置されて上下動することで排水口の開閉を行う弁部材２と、排水口の開閉動作を操作する操作部３と、弁部材２を支持する支持軸４と、操作部３に操作を行う都度、電気により動作する機構により支持軸４を一時的に持ち上げる動作を行う電動部と、電動部が支持軸４を持ち上げる動作を行う都度、機械的に動作する機構により支持軸４が弁部材２ごと上昇した状態を固定して維持／固定を解除して下方に降下、を繰り返す保持機構部と、から構成する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、金属ダイヤフラム８に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 圧電素子１３の伸長によりダイヤフラム押え１２を介して弁座７ｃへ当座又は弁座７ｃから離座する金属ダイヤフラム８を備えた圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁において、圧電素子１３と金属ダイヤフラム８との間に配設される皿バネ機構１４を、下端部にダイヤフラム押え１２が挿着されると共に上端部に上方が開放された収納空間２２ｂを形成したダイヤフラム押えホルダー２２と、ダイヤフラム押えホルダー２２の収納空間２２ｂに配設された複数枚の皿バネ２３と、最上位の皿バネ２３の上面に載置され、圧電素子１３の下方に位置して圧電素子１３の伸長を皿バネ２３へ伝達するボール受け２４と、皿バネ２３の反発力を調整すると共にボール受け２４及び皿バネ２３を抜け止めするようダイヤフラム押えホルダー２２に螺着されたバネ調整用ナット２５とから構成する。 （もっと読む）

バルブ装置であって；
複数の開口部を有するボディ部、
前記ボディ部の内部に配置されるバルブシート、
前記ボディ部の前記複数の開口部のうちの１つの開口部に対応し、流体が流れ得るポート部と、該ポート部と流体連結し、前記バルブシートに対して封止するよう構成され、それによって当該バルブ装置を通るフローを妨げるノズルと、を有するエンドストップ、
を含み、
当該バルブ装置は、前記バルブシートに対する前記ノズルの相対運動により開閉可能であり、
さらに、
前記バルブシートに対する前記ノズルの位置を独立して調節できるように構成される調節手段、
を含むバルブ装置。

（もっと読む）

【課題】シール材の膨張量を外部電気信号等の量で調整し、接触面圧力を調整することによって、流体の漏れ量を高精度に制御できる軸封機構を用いることによりソレノイドレス化可能な駆動装置を提供すること。
【解決手段】ピストン１３０ｂを有するシリンダ部１３０ａに漏れ流路１４０，１４１を介して流体を供給する供給漏れ流路１３７と流体を外部に排出する排水漏れ流路１３８，１３９を有する装置本体１３１を取付け、この装置本体１３１内には、流路切換可能な複数個の軸封体１３２〜１３５を有する軸封機構を設け、この軸封機構は、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の前記軸封体からなり、この軸封体に電気的外部刺激を与えて当該軸封体を膨縮又は変形させることにより漏れ流体を流す流路を設けたものであり、この軸封機構により前記シリンダ内に流体を供給又は排気させてシリンダ部内のピストンを駆動させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】応答性能を高めることができると共に、流体の流量制御が可能であり、宇宙機用スラスタに好適なバルブ装置を提供する。
【解決手段】流体の入口側から出口側に至る流路の途中に、流路の一部となる流通孔５を有するバルブシート６を備え、バルブシート６の流路入口側に、流通孔５を閉塞する状態に弾性保持したボール７を備えると共に、バルブシート６の流路出口側に、流通孔５を通してボール７を押動するポペット８と、ポペット８を往復駆動する圧電アクチュエータ２を備えた構成により、応答性能を高めて、レギュレータを用いずに流体の流量制御を行うことを可能にし、宇宙機用スラスタに好適なバルブ装置Ｖとした。 （もっと読む）

【課題】弁体を開閉動作させる駆動力の低減を可能とすると共に、その構造の小型化を図ることを可能にする流量調整絞り弁を提供することを課題とする。
【解決手段】流量調整絞り弁１０１は、流入路１ｂ及び流出路１ｃを有するボディ１を備える。また、ボディ１の内部において流入路１ｂ及び流出路１ｃの間に回転自在に設けられ、回転することにより流入路１ｂ及び流出路１ｃを連通する流路４ｂの開度を調整する弁体４を備える。さらに、ボディ１の内部において、圧電素子部１１，１２を有し、凸部１０ｂａにおいて弁体４に当接すると共に、圧電素子部１１，１２の振動により弁体４を回転させる振動アクチュエータ１０を備える。 （もっと読む）

【課題】弁体を動作させる駆動力の低減によるアクチュエータの小型化及び１つのアクチュエータによる弁体の複数の動作を可能とすることにより、その構造の小型化及びコストの低減を図ることのできる切替弁を提供することを課題とする。
【解決手段】切替弁１０１は、流体通路Ｃ１，Ｃ２を有するボディ１を備え、ボディ１の内部の流体通路Ｃ１，Ｃ２の途中に弁孔１ａを備える。また、弁孔１ａには内部で摺動及び回転自在な弁体２が収容される。さらに、ボディ１の内部には、圧電素子部１１，１２，１３を有する振動アクチュエータ１０が設けられ、振動アクチュエータ１０は弁体２に当接し、圧電素子部１１，１２，１３の振動により弁体２を摺動及び回転させる。また、弁体２は、摺動することにより流体通路Ｃ１，Ｃ２のうちの１つを連通し、さらに回転することにより連通した流体通路Ｃ１或いはＣ２の流量を調整する。 （もっと読む）

【目的】 製品ごとに応答性能のバラツキを少なくし、個別の調整を不要にし得る圧電素子駆動式ダイヤフラム型制御弁を提供する。
【構成】 流路が形成された弁本体３と、流路を開状態にして弁本体３に保持されたダイヤフラム４と、ダイヤフラム４の開閉方向へ移動可能に支持され、ダイヤフラム４を閉鎖可能な弁棒５と、ダイヤフラム４の閉方向への移動を阻止されるとともにダイヤフラム４の開方向への変形による変位を許容された状態で支持された圧電素子６と、圧電素子６の変位を許容された側の端部に当接することによって支持された作動部材７と、弁棒５の軸線Ｘを中心として放射状に配置され、圧電素子６の変位に伴う作動部材７の変位を拡大して弁棒５に伝えるように揺動自在に支持された複数の梃子体８と、を有することとした。 （もっと読む）

【課題】所定の駆動源により弁体を変位させる電動弁において、弁体のストローク量を充分確保できるようにする。
【解決手段】 一端に上記駆動源（50）に押し付けられて弁座開口（49）方向へ変位する上蓋部（61b）が設けられ、他端に上記弁体（65）を保持するとともに第１変位部（61b）の変位に応じて弁体（65）を移動させるように変位する底壁部（62c）が設けられるとともに、底壁部（62c）の変位方向に直交する断面積Ｓ２が、上蓋部（61b）の同方向の断面積Ｓ１よりも小さく設定された第１液室（70）と、第１液室（70）に連通された第２液室（52）と、第１液室（70）及び第２液室（52）に封入された液体が熱膨張すると第２液室（52）を拡張させるように変位する容量調整用ベローズ（54）とを設ける。 （もっと読む）

本発明はハウジング（６）を備えた能動制御バルブ（１）に関する。前記能動制御バルブ（１）は、通路開口（４ａ）を有し、かつ移動可能に支持されたバルブプレート（４）と、前記ハウジング（６）に固定して配置され、かつ通路開口（２ａ）を有するカウンタープレート（２）とを備える。前記バルブプレート（４）は前記カウンタープレート（２）に対して摺動可能に支持され、前記通路開口（２ａ，４ａ）は開閉される通路（２４）を形成する。前記能動制御バルブ（１）は前記バルブプレート（４）を駆動する駆動装置（８）を備え、前記バルブプレート（４）は駆動バネ（７）によって前記駆動装置（８）に連結され、前記バルブプレート（４）の位置を固定するために、駆動可能な挟持装置（１０）が設けられる。
（もっと読む）