【課題】弁板による開口の開閉時に弁シールと弁シート面との摺動を生じない簡単な構成の無摺動型ゲートバルブを提供する。
【解決手段】エアシリンダ８の駆動ロッド９と弁シャフト７との間に、ガイド溝及びガイドローラ３１ａ，３１ｂからなる平行移動機構と、カム溝３０及びカムローラ３３からなる垂直移動機構とを介在させ、前記弁シャフト７を、前記平行移動機構で弁シート面１０と平行に移動させたあと、前記垂直移動機構で前記弁シート面１０に対して垂直に移動させることにより、弁板５の弁シール６を前記弁シート面１０に垂直に接離させて前記開口３を開閉する。 （もっと読む）

【課題】作業用仕切弁が設置される箇所の流体管路に沿う方向（分岐管等の接続管の管路に直交する方向）の長さを短くした省スペース型であって取り付け箇所の補強構造を簡素にした作業用仕切弁を提供すること。
【解決手段】弁体１０は、密封性を有する可撓シート状体３０と、該可撓シート状体３０を接触支持する支持部材３１とから形成され、支持部材３１は弁体１０の移動方向と直交する方向に複数の支持要素に分割され、複数の支持要素は相互に回動自在にリンク結合され、ガイド手段２４は、管軸に対して直交方向に延びる直交部Ｘと、管軸に沿う方向に延びる並行部Ｙと、直交部Ｘ及び並行部Ｙを滑らかに接続する円弧部Ｚとから形成されており、弁操作手段は、弁体１０をガイド手段２４に沿って出入可能な動力伝達手段６０を有している。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】容器に設けられた連通部の大きさが変わった場合でも、当該連通部を開閉し得る開閉装置を低コストで提供する。
【解決手段】側壁部３と底壁部４とを有して断面がＬ字形状にされ且つ側壁部３に連通部３ａが設けられると共に底壁部４に取付用開口部４ａが設けられてなる真空容器１の連通部３ａを開閉し得るバルブ装置６と、断面がＬ字形状にされてバルブ装置６を真空容器１側に取り付けるためのバルブシート７とを具備する連通部開閉装置であって、バルブシート７に、側壁部３に設けられた連通部３ａに対応する案内用開口部２２ａが形成されたシート部２１と、このシート部２１と直交する方向で設けられてバルブ装置６を取り付けるためのベース部３１とを備え、これらシート部２１とベース部３１とを分離したものである。 （もっと読む）

【課題】脱着のための装置が容易に構築でき、不断流で管接続部材の脱着を行うことができる管接続部材の脱着方法を提供する。
【解決手段】既設流体管の分岐部Ｂに接続された管接続部材ＦＰの脱着方法であって、作業用ボルト・ナットに取り替える行程と、弁装置を水密に設置する行程と、ボルト・ナットを緩め、フランジＦ１，Ｆ２の対向面間に間隙を形成する行程と、対向面間に弁体２ａを挿入する行程と、ボルト・ナットを締め込み、フランジＦ１，Ｆ２の対向面間で弁体２ａを挟み込み、止水する行程と、管接続部材の下流側を取り外し、閉塞装置を取り付ける行程と、ボルト・ナットを緩め、フランジＦ１，Ｆ２の対向面間に間隙を形成する行程と、フランジＦ１，Ｆ２の対向面間から弁体２ａを移動し、開口する行程と、閉塞装置の閉塞部材を分岐部に送り込み止水する行程と、を有し、分岐部Ｂに新たに管接続部材を接続する作業に備える。 （もっと読む）

【課題】流路を気密的に遮断する弁があるが、摩耗による外部漏れ、複数の作動部材のため、メンテナンスが困難であった。耐摩耗性に優れ、メンテナンスが容易な弁を提供する。
【解決手段】弁体８は、外側弁体部９および内側弁体部１１を有す。内側弁体部は、外側弁体部に対して相対的に直線的に移動可能であり、閉鎖設定において弁体への圧力差により、内側弁体部は、弁筺体に押し付けられ、外側弁体に対する差圧力は無くなる。弁座５は、放射状に内側を向いた第１内面１４を有し、外側弁体部は、放射状に外側を向いた第１外面１５を有する。第１外面は、閉鎖設定において、放射状に封止する接触が第１内面との間に存在する配置となる。外側弁体部は、放射状に内側を向いた第２内面１６を有し、内側弁体部は、放射状に外側を向いた第２外面１７を有する。第２外面は、放射状に封止する接触が第２内面との間に存在する配置となる。 （もっと読む）

【課題】配水管、特に配水支管に穿孔して、その孔に合成ゴム製の止水栓を圧嵌入して、一旦通水を止める技術を伴う工程にあって、その止水栓の圧嵌入前、及び取り外しの際に孔が開放されたままとなってしまい、これを一時的にも止める簡易仕切弁装置を提供する。
【解決手段】配水管１上部に団設されるサドル２を有し、そのサドル２の上部分にアダプターを取り付けるフランジを有する短管４を備え、その短管４の一方側面の連通孔に、その連通孔から出入し短管４内を開閉するスライド弁の収容ケース６を固着してあることとし、スライド弁は収容ケース６の外方に突出された操作杆に取り付けられる回転ハンドル１０によりスライド操作されることとする。 （もっと読む）

【課題】 一度に処理する被処理体の枚数が増加したとしても、弁体の昇降距離を短縮することが可能なゲートバルブを提供すること。
【解決手段】 被処理体を出し入れする複数の開口部６１ａ〜６１ｄに押圧される弁体６３と、弁体６３に設けられた押圧部６７と、開口部６１ａ〜６１ｄの開口面に対して平行にスライドするメインスライダー７０と、メインスライダー７０に設けられ、突起部７２と該突起部７２からスロープ状に傾斜する傾斜部７３とを含み、弁体６３を開口部６１ａ〜６１ｄに正対させた状態で、弁体６３の押圧部６７を押圧するカム７１と、を備え、弁体６３は、開口部６１ａ〜６１ｄを開放する開放部として機能する少なくとも１つのスリット状開口６５ａ〜６５ｃを有し、スリット状開口６５ａ〜６５ｃに隣接した部位を、開口部６１ａ〜６１ｄを閉塞する閉塞部６６ａ〜６６ｄとする。 （もっと読む）

【課題】保守点検に際して、弁棒のガイド体をボディから容易に取り出すことのできる混合弁装置とそのガイド体取り出し方法を提供する。
【解決手段】蒸気Ｈと冷水Ｃを混合室４内で混合して温水Ｍを生成する混合弁装置Ａであって、混合室４への蒸気導入量および冷水導入量を調節する蒸気弁１４および冷水弁１８と、両弁１４，１８を開閉移動させる弁棒８と、混合室４の圧力と冷水Ｃの圧力とに基づいて弁棒８を作動させる弁駆動部材２１と、弁棒８を案内するガイド体３１とを備える。ガイド体３１は、ケース２０のボディ１の開口部１ａの内面に嵌合されてボディ１の棚部１ｂにガイド体３１の底部３１ａが載置されており、底部３１ａに、棚部１ｂに向かって進出するジャッキ用ねじ体２５と螺合可能な複数のねじ孔３７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が高速度に可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】スライド弁１は、弁箱１０の中空部１１内に配置され第１開口部１２ａを閉塞可能な可動弁部４０を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段とを有し、可動弁部４０の閉塞解除動作と中立弁体３０の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が高速度に可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】スライド弁１は、可動弁部４０の回転軸２０を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、可動弁部を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段とを有し、復動式エアシリンダがピニオンを駆動する第２ピストンと、弁開度を設定するように第２ピストンの停止位置を規制する第１ピストンとを有し、可動弁部の閉塞解除動作と回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有し、かつ、可動弁部の停止位置を設定するエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備している。 （もっと読む）

【課題】不断水下におけるゲートの交換時に既設管の径方向への突出量を小さくする。
【解決手段】ゲート３を収容する弁蓋２の弁蓋フランジ２０を穿孔機を取り外した第１フランジ１１に載せ、弁蓋２が流路を流れる流体圧で直交する方向に浮き上がるのを阻止するために、弁蓋２を押さえる押さえ具を移動プレート６に固定し、移動プレート６を弁蓋２および押さえ具と共に所定の第１方向とは反対の第２方向にスライドさせて第１フランジ１１の内側の開口を弁蓋２の内側の開口に連通させ、弁蓋２を第１フランジ１１に第１ボルトで固定し、押さえ具を移動プレート６から取り外す。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の圧力解除状態において閉塞部材が所定の位置にあるようなバルブを提供する。
【解決手段】バルブの一又は複数の貫通開口部（２）を閉塞するための閉塞部材（１）が、駆動機構（３）により閉位置と開位置との間で動かされる。駆動機構（３）が、閉塞部材（１）を閉位置に変位させるための第１圧力作用空間（４）と、閉塞部材（１）を開位置に変位させるための第２圧力作用空間（５）とを備えている。バルブは、閉塞部材（１）を閉位置又は開位置に向かって付勢する弾性要素（６）を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来機構よりも高速な空圧切り替え動作を安定して実施できる空圧切り替え機構を実現するとともに、ワーク搬送の高速化にも対応できるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の空圧切り替え機構は、空圧導入口Ａａと外部に開口する第１の制御用開口部Ａｂとを結ぶ第１の空圧経路Ａと、空圧作用口Ｂａと外部に開口する第２の制御用開口部Ｂｂとを結ぶ第２の空圧経路Ｂと、前記第１の空圧経路Ａにおいて前記第１の制御用開口部Ａｂに向けて伸びる第１の開口側部分Ａ１と、前記第２の空圧経路Ｂにおいて前記第２の制御用開口部Ｂｂに向けて伸びる第２の開口側部分Ｂ１に対して共に交差して接続され、前記第１の空圧経路Ａと前記第２の空圧経路Ｂとを連結する連通部Ｃと、前記第１の制御用開口部Ａｂと前記第２の制御用開口部Ｂｂを同じタイミングで外部に対して開閉する空圧制御用開閉手段Ｄと、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体を冷却するための熱交換器を設け、該熱交換器内の冷却水通路と主ロッドの内部の冷却水供給路とを、相対的に変位可能な方法によって簡単にしかも液漏れを生じないように連結する。
【解決手段】開口部２を開閉する弁体５と、弁体５を開口部２に接離させる開閉シリンダ６と、弁体５を開口部２に対向する位置と非対向の位置とに変位させる主シリンダ７と、弁体５を冷却する熱交換器８とを有し、主シリンダ７の主ロッド１３の先端に開閉シリンダ６を取り付け、開閉シリンダ６の開閉ロッド２５に熱交換器８を取り付け、熱交換器８に弁体５を取り付け、熱交換器８内の冷却水通路４８の冷却水入口４８ａ及び冷却水出口４８ｂと、主ロッド１３の内部の冷却水供給路５０及び冷却水排出路５１とを、伸縮自在で液密性を有する供給用及び排出用のベローズ継手５２ａ，５２ｂで接続する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】弁箱１０に回動自在に設けられた回転軸２０を中心として揺動回転する可動弁部４０を設け、可動弁部４０の揺動により開口部を開閉すると共に、回転軸２０を、内部に流体通路を設けたスイベルジョイント構造を採用し、制御流体の制御により可動弁部４０の弁座への圧接分離可能とし、また、回転軸２０をピストンにより駆動可能なラックピニオン機構により揺動回転させる。 （もっと読む）

【課題】流体の不断流状態と流体管の流路の遮断とを両立させながら、流体管の強度を維持することができるバイパス装置及びバイパス装置を備えた流体管を提供すること。
【解決手段】管継手２に接続されるバイパス管１２を介し流体管１の不断流状態を維持するバイパス装置であって、流体管１の管軸方向の寸法が径方向の寸法よりも短寸に形成され流体管１の管路を遮断する制流体１１を挿入するための挿入孔部１ｂと、流体管１とバイパス管１２とを連通する連通孔部１ｃと、からなり、挿入孔部１ｂと連通孔部１ｃとが連続する非円形状の穿孔１ｄを穿設する穿孔手段５２を少なくとも備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、流体経路リングと、を具備してなることを特徴とするスライド弁。 （もっと読む）