【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 別個に入口側と出口側に開閉弁を取り付けなくても、自動排液弁を分解・保守することのできる蒸気弁を得ること。
【解決手段】 弁ケーシング３に入口１と出口２を形成する。入口１と出口２の間に弁体８を配置する。弁体８に弁軸９を連結する。弁体８の上下部に出口側弁口６と自動排液弁側弁口７を配置する。自動排液弁側弁口７の下方に自動排液弁５を連結する。
図１に示すように、弁体８で自動排液弁側弁口７を閉口することで、入口１と出口２からの流体が自動排液弁５内へ流入することがなく、自動排液弁５を分解・保守することができる。 （もっと読む）

【課題】パッキン押えが降下してもパッキン押えの上面とヨークスリーブの下面の間に隙間を生じることのない開閉弁を提供する。
【解決手段】弁箱の軸装部８に弁軸１２が上下動自在に軸装され、弁箱の軸装部８と弁軸１２の間にパッキン１９が介装され、パッキン１９の上方にパッキン１９を押圧するパッキン押え２１が配設され、パッキン押え２１の上方に弁箱のヨーク部２５に挿入され弁軸１２にねじ込まれたヨークスリーブ２６が設けられ、ヨークスリーブ２６に嵌め込まれたハンドル２７を回転させて弁軸１２を上下動させることにより弁軸１２の下端に設けられた弁体１１で弁箱２内の弁座４を開閉するグローブ弁１において、弁軸１２の周囲のパッキン押え２１とヨークスリーブ２６の間に伸縮自在で下端がパッキン押え２１の上面に当接し上端がヨークスリーブ２６の下面に当接する保護ベローズ２９を収縮状態で配置する。 （もっと読む）

【課題】高真空バルブにおいて、弁部材を開閉駆動するロッドの軸シール部から真空雰囲気にある流路へのグリースの蒸発、溶出、流出を抑制し、軸シール部の長寿命化を図る。
【解決手段】この高真空バルブは、第１のポート１２と第２のポート１３との間の流路１１に弁座１６を設け、該弁座に接離する弁部材１４を備えた弁体部１と、パイロット流体圧により駆動されるロッド１５が上記弁座に対向する流路壁を貫通して流路内に挿入され、その先端に連結した弁部材を弁座の開閉のために駆動する弁駆動機構部２とを備える。上記ロッドの軸シール部３０を、貫通孔１８内にグリース溜３１を設けて、該グリース溜の流路１１側にグリース保持用のシール部材３２を設けると共に、グリース溜の反対側に真空シール用シール部材３３を設け、グリース溜の軸方向長さを、上記弁部材の最大ストロークと同じかそれ以上に形成する。 （もっと読む）

【課題】異物が筒状体の内部へ侵入するのを防止するため、ストレーナを湯入口と水入口の外面側に装着させる。ストレーナ装着後湯および水の湯入口と水入口への流入を阻害することのない湯水混合栓用のサーモカートリッジを提供する。
【解決手段】湯水混合栓本体に形成される湯導入流路および水導入流路に連通する湯入口Ｈおよび水入口Ｉを胴部８に有する筒状体６と、多数の透孔１１を有し、前記胴部の外周に巻き付けて前記湯入口と前記水入口の外面側に装着される帯状の板部材Ｍよりなるストレーナ１０とを備え、板部材を前記湯入口および前記水入口の外面側にそれぞれ装着させうるスリット１３，１３ａを備え、このスリットは、前記胴部の外周面上で前記筒状体の軸心Ｂに沿った方向に設けるとともに、前記多数の透孔は、前記板部材のうち前記各折り曲げ部を除いた前記胴部の外周に巻き付けられる領域Ｒの全面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】電磁弁や類似の液圧制御弁の弁ハウジングに対するフィルタの組み付け性の改善、フィルタ装着後の弁ハウジングの体格縮小及び弁ハウジングの加工コスト低減を可能となすことを課題としている。
【解決手段】アクチュエータハウジング３０の組み付け穴３１に挿入される弁ハウジング１３の外周に通路３２から弁室２０に 導入される液体を濾過するフィルタ１９を装着し、そのフィルタ１９を、胴部１３ａの外周にその胴部を１周しない範囲で沿う形状にし、胴部１３ａの、連絡孔２１が貫通して設けられた部分の外周に、深さがフィルタ１９の厚みと同等若しくはフィルタ１９の厚みよりも大きなフィルタ収納溝２２を設けてそのフィルタ収納溝２２にフィルタ１９を収納した。 （もっと読む）

【課題】仕切弁に比べて比較的構造が簡単な逆止弁に着目して、逆止弁にストレーナの機能を盛り込めるように工夫し、前述した機器冷却システム等の流体装置における前記短所（１）頻繁にメンテナンスしなければならない面倒さ、（２）不経済、（３）設置コストが嵩む、（４）使用場所の制限が厳しくなる、を解消せんとした逆止弁を提供する。
【解決手段】弁ボディ１の内部に形成される内部流路５と、内部流路５の弁内部側端となる弁座９に当接可能な弁体２とを備え、弁体２が、これが弁箱弁座９に当接して内部流路５を閉塞する閉じ位置ｔと、弁体２が弁座９から離れて内部流路５を開放する開き位置ｈとに亘って移動可能に構成されている逆止弁において、弁座９に、内部流路５を流れる流体に対して作用するストレーナ３が傾斜姿勢で一体的に組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、異物を巻き上げることなく、排気時間を短縮することが可能な排気バルブの提供を目的とするものである。
【解決手段】
異物を巻き上げずに排気すること、排気時間を短縮することの相反する２つの要求を解決するために、バルブの開き始めは異物を巻き上げないよう大きな排気抵抗を有し、バルブの動作ストロークとともに排気抵抗が連続的に減少し、バルブ全開時には排気ポンプを有効に活用できるように、小さな排気抵抗をもったスロー排気バルブを実現する。 （もっと読む）

【課題】 急転舵によってチェック弁における単位時間当たり流量が増大した場合、チェック弁における作動油の流れが乱れて異音が発生する、という課題を解決する。
【解決手段】 第１一方向弁に流れる作動油の単位時間当たり流量が最大のとき、この第１一方向弁におけるレイノルズ数は２３００以下であり、第２一方向弁に流れる作動油の単位時間当たり流量が最大のとき、この第２一方向弁におけるレイノルズ数は２３００以下であることとした。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの作動力なしで，弁体を基板搬出入口に押しつけた状態で保持することを可能とする。
【解決手段】ゲートバルブ２００は，カム機構２６０により弁体２１０を進退させて基板搬出入口１１２を開閉するように構成する。カム機構は例えば弁体の進退方向に直交する方向に摺動自在な長尺部材２６１と，長尺部材を筐体の背板から支持する支持ローラ２９０とこれに対向するように弁体２１０に設けられた弁体駆動用ローラ２８０と，長尺部材の弁体駆動用ローラ側に設けられた板状カム２７０とを有し，長尺部材を一方向に摺動させて弁体駆動用ローラを介して弁体を閉じる方向に前進させて基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置で，基板搬出入口側から押し返される力を長尺部材で受けることによって弁体を閉塞位置で保持する。 （もっと読む）

【課題】ピストンの外周面とシリンダの内周面との隙間を、ピストンの動作と共に追従するベロフラムで密閉し、流体によりピストンを駆動させて開閉する真空開閉弁において、耐久性のある真空開閉弁を提供する。
【解決手段】真空容器２と真空ポンプ５との間に接続し、弁座７３に対し弁体であるＯリング７９の開度を変化させて真空容器２内の真空圧力を制御する真空開閉弁１０であって、ピストン４０の外周面とシリンダ３０の内周面３１との所定の隙間を、ピストン４０の動作と共に追従するベロフラム５０で密閉し、流体によりピストン４０を駆動させて開閉する真空開閉弁１０であって、ベロフラム５０が所定の傾斜角度θ２で形成されていること、ピストン４０の外周が、所定の傾斜角度θで形成されていること、弁体が弁座と当接する位置にあるときに、ピストンと接触するベロフラムの内周径と、ピストンの外周径が等しい。 （もっと読む）

【課題】塑性変形させることがないため全閉状態を再現性よく一定の流量のガスを調整できるようにする。
【解決手段】内部に気体の流路３が形成され、流路にピストン６を有する弁体２と、弁体が離接する弁座４とが配され、弁体と弁座とが離接することにより気体の流量が制御される弁開閉装置であって、ピストンの移動を制御し、弁体と弁座が接触している場合に、弁体が弁座を所定の圧力以下で押す駆動体９を具備する。この弁開閉装置を具備する真空処理装置。 （もっと読む）

【課題】 オリフィスに対する異物排除を効果的に行えると共にオリフィスの復水排出流量を調節できるオリフィス式スチームトラップを提供する。
【解決手段】 トラップケーシング１に形成した入口２と出口３の間にオリフィス５を有する隔壁４を設け、入口２側の復水をオリフィス５から出口３側に排出するものにおいて、トラップケーシング１に形成したネジ部９に対するトラップケーシング１の外部からのネジ進退操作によりオリフィス５内をオリフィス５の軸方向に進退してオリフィス５の異物を排除する異物排除部材７を設け、異物排除部材７の進退位置によりオリフィス５の復水排出流量を調節する。 （もっと読む）

【課題】 オリフィスに対する異物排除を効果的に行え、オリフィスの復水排出流量を調節できると共にオリフィスを閉塞できるオリフィス式スチームトラップを提供する。
【解決手段】 トラップケーシング１に形成した入口２と出口３の間にオリフィス５を有する隔壁４を設け、入口２側の復水をオリフィス５から出口３側に排出するものにおいて、トラップケーシング１に形成したネジ部９に対するトラップケーシング１の外部からのネジ進退操作によりオリフィス５内をオリフィス５の軸方向に進退してオリフィス５の異物を排除する異物排除部材７を設け、異物排除部材７の進退位置によりオリフィス５の復水排出流量を調節すると共に最前進位置でオリフィス５を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】本出願は、蒸気タービン（１００）の弁組立体（１１０）を監視するための装置及び方法を提供する。本出願の１つの実施形態では、弁組立体（１１０）を監視する方法を提供する。
【解決手段】最初に、作動に先立つ少なくとも１つの弁組立体（１１０）の振動特性を測定することができる。次に、弁組立体（１１０）の作動中にその弁組立体（１１０）の挙動を監視し、次にその弁組立体の挙動を作動に先立って判定した振動特性と比較することができる。作動中に監視した弁組立体（１１０）の挙動を作動に先立って測定した弁組立体（１１０）の特性と比較することにより、作動中に弁組立体（１１０）が受けた応力レベルを推定することを可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】メーンシャフトの‘Ｌ’形の２段階駆動を正確になし得る、駆動機構の改善された方形真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】ウェハー移動通路を開閉する密閉部材１００と；前記密閉部材１００が上側に結合され、側面にはガイド部材４１０が突設されたメーンシャフト４００と；前記メーンシャフト４００のガイド部材４１０が挿入される第１ガイド溝２１０が垂直上下方向に形成されたハウジングブラケット２００と；前記ハウジングブラケット２００の内部に形成され、空気の圧力によって駆動されるエアシリンダー３１０、前記エアシリンダー３１０の内部に形成されたピストン３２０、前記ピストン３２０に結合されるピストンシャフト３３０、前記ピストンシャフト３３０に結合される可動ユニット３４０、及び前記可動ユニット３４０とメーンシャフト４００に連結される連結リンク３５０を含むバルブ駆動部３００と；前記ハウジングブラケット２００の下側面から垂直下方向に延設される垂直ブラケット５１０、前記上下プレート５１０の長手方向の各対辺に形成された第２ガイド溝５３０、及び前記上下プレート５１０の下端を連結する水平ブラケット５２０が形成されたガイドブラケット５００と；前記メーンシャフト４００の外周面に一側が連結され、他側は前記第２ガイド溝５３０に挿入されたままで、前記メーンシャフト４００の垂直上下運動によって回動するガイドリンク６００とを含む。 （もっと読む）

【課題】二重シールバルブの連結筒の空間部と当該空間部と接続したドレイン管との間に弁体を設けることにより、常時、空間部が大気と連通しない二重シールバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】 隣接した第１及び第２パイプに接続した連結筒の第１及び第２開口部に第１及び第２弁座を設け、第１及び第２弁座に密着又は離反自在な第１及び第２弁体を第１及び第２開口部を開閉するように構成し、連結筒に形成した第３開口部に外気に連通するドレイン管を接続し、第３弁座に密着又は離反自在な第３弁体を第３開口部を開閉するように構成し、連結筒に形成した第４開口部に第１パイプからの分岐パイプを接続し、第４弁座に密着又は離反自在な第４弁体を第４開口部を開閉するように構成することにより、連結筒内の空間部を介して、第１及び第２パイプ、ドレイン管、分岐パイプが相互に連通又は閉鎖自在となるものである。 （もっと読む）

【課題】弁座と弁シール部材とに対する副生成物の付着を防止することができる、簡単で効果的な機構を備えた成膜用真空バルブを提供する。
【解決手段】真空バルブにおける弁座１６と弁シール部材１８とによる弁開閉部１９の内周側の位置に、上記弁座１６の開放初期に相互に嵌合し合って微小な絞り流路４３を形成する環状壁４１と環状溝４２とを配設し、反応ガスが上記弁開閉部１９を流通する前にこの絞り流路４３を高速で流通することにより、上記環状壁４１及び環状溝４２に副生成物が付着するように構成する。 （もっと読む）

【課題】水勢を弱くすることなく水に含まれる異物を効果的に除去し得て、主弁閉弁時における止水不良の問題を解決することのできるフラッシュバルブ装置を提供する。
【解決手段】フラッシュバルブ装置１０において、主弁１４の開度が大で上流部１２ａから主弁１４を経て下流部１２ｂに流れる通水の流路面積が大のときには異物の通過空間を大として異物の通過を許容する一方、主弁１４が閉弁するに際して主弁１４の開度が小となり、通水の流路面積が設定以下に小となって以後は、異物の通過を阻止して濾過作用をなすストレーナ４６を、上流部１２ａにおける主弁１４の周りに設けておく。 （もっと読む）

【課題】閉弁状態においてシートとバルブとの間へ噛み込んだ異物を除去することができる排気ガス還流装置を提供すること。
【解決手段】ＥＧＲガスを導入する導入口１２と、ＥＧＲガスを吸入空気に混入すために吸気系に排出する排出口１３と、導入２２口１２と排出口１３とを連通する連通路１４とが形成されたハウジング１１と、連通路１４に設けられたシート１５と、シート１５に当接または離間するバルブ２０と、バルブ２０を可動させるステッピングモータ３０とを有するＥＧＲバルブ１０において、ステッピングモータ３０の駆動中に、ステッピングモータ３０の駆動力をバルブ２０に伝達するように、第１ホルダ部材４０および第２ホルダ部材５０を介してステッピングモータ３０とバルブ２０とを連結する。 （もっと読む）