本発明は、ハイドロリック式の電磁方向制御弁、特にハイドロリック式の３ポート２位置電磁方向制御弁（１）に関する。本発明によれば、ハイドロリック式の電磁方向制御弁が、弁ハウジング（２）と、該弁ハウジング（２）内に組み込まれた弁チャンバ（３）とを有しており、該弁チャンバ（３）が、第１の管路、特に圧力管路（Ｐ）に通じる接続部としての第１の弁座孔（６）と、第２の管路、特に作業管路（Ａ）に通じる接続部としての第２の弁座孔（７）と、第３の管路、特にタンク管路（Ｔ）に通じる自由開口（８）とを備えており、さらに、ハイドロリック式の電磁方向制御弁が、電磁石（４）と、該電磁石（４）によって運動可能なかつ部分的に弁チャンバ（３）内に配置された弁プランジャ（５）とを有しており、該弁プランジャ（５）が、弁チャンバ（３）の内部に、第１の弁座孔（６）に向けられた第１のシール面（９）と、第２の弁座孔（７）に向けられた第２のシール面（１１）とを有しており、これによって、選択的に第１の弁座孔（６）または第２の弁座孔（７）が閉鎖可能であり、弁プランジャ（５）が、弁チャンバ（３）から第２の弁座孔（７）を通って電磁石（４）に延びており、第２の弁座孔（７）の閉鎖時に、弁プランジャ（５）が、第２の管路、特に作業管路（Ａ）内の圧力によって差面積比により第２の弁座孔（７）内に引き込まれるようになっている。
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【課題】本発明は、固定されているボディー部と回転する回転部との間に隙間が生じにくいバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のバルブは、ボディー部と、ボディー部に対して回転する回転部とを備える。ボディー部は、一端が外部と接続される２以上の流路と、流路の他端（以下、「流路口」という）が配置された流路口配置面とを有す。回転部は、外部の回転運動に従って当該回転部を回転させる接続手段と、流路口配置面の全体または一部と対向しており、流路口配置面と接触する接触面と流路口配置面と接触しない溝とが形成された切替手段とを有す。そして、流路口配置面と接触面は、それぞれの面のどの位置の法線も回転部の回転の中心軸とほぼ一致する。また、流路口ごとに定められたボディー部に対する回転部の角度の範囲で、流路口と溝が対向する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を有し、小型化が可能であり、半導体製造装置のガス供給回路等、高信頼性が要求される流体供給回路への適用が可能な三方弁を提供する。
【解決手段】軸長方向に移動する第１弁軸31と、第１弁軸31の先端部に設けてあり、第１弁座30に対して退座又は着座して第１流路を開閉する第１弁体３と、第１弁軸31及び第１弁体30の軸心部を貫通する貫通孔32に挿通され、軸長方向に移動する第２弁軸41と、第１弁軸31の先端から突出する第２弁軸41の先端部に設けてあり、第１弁座30に対向配置された第２弁座40に対して退座又は着座して第２流路を開閉する第２弁体４とを備え、第１弁軸31及び第２弁軸41と同軸上に配した開閉アクチュエータ５と、第１弁軸31を第１流路の上流側の内圧の作用により付勢するダイヤフラム６と、第２弁軸41を第１弁軸31と同方向に付勢する付勢ばね52とを設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、停電時においても重力の向きに関わらずエアー圧力によりスプールを所定の位置に移動させ、エアアクチュエータの動作を安全側に動作させて定位させることができるサーボ弁を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の弁体１１と第２の弁体１２を有するスプール１０と、該スプールを軸方向に移動可能に収容し、前記第１の弁体と前記第２の弁体との間にエアーを供給する給気ポート３０を有するスリーブ２０を備えたサーボ弁１００であって、
前記第１の弁体及び前記第２の弁体は、前記供給ポートから供給された前記エアーによるエアー圧力を受圧する受圧面１１ａ、１２ａを各々有し、
前記第１の弁体の前記受圧面の面積は、前記第２の弁体の前記受圧面の面積よりも大きく形成され、
前記スプールは、前記エアーの供給により前記第１の弁体の方向に移動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 空気圧が一定値以下に低くなっても，スプールが復元してしまうのを防止し，スプールがスムーズに作動して機器の誤作動などを防止できるソレノイドバルブを提供する。
【解決手段】 複数のポート１２及び第１のエアホール１３が形成されたバルブ本体１と，空気圧の流れを切り換えるスプール２と，密閉部３と，セミパイロット部４と，アマチュア胴体５と，を備えたソレノイドバルブにおいて；密閉部３は，圧着室３１ｂと，第２のエアホール３１ａと，第２のエアホール３１ａ及び圧着室３１ｂと連通する貫通ホール３１ｃを有する胴体３１と，圧着室３１ｂ内の両側面とスプール２の外周縁との間に装着される複数のピストン３２と，各々のピストン３２に装着され，空気圧の漏れを防止する複数のゴムＵパッキング３３と，を有する。 （もっと読む）