【課題】エアチャンバーの内壁面に当接してもその衝撃を緩和できる材料で形成された浮動パッドをダイヤフラムのエアチャンバー側の面に配置することにより、ダイヤフラム及びエアチャンバー壁の摩損や劣化を生じることなく、エアチャンバーの内部空間容積を小さくでき、もって、圧縮エアを供給する駆動電力量を低減させることができるダイヤフラム及びダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】センターシャフト、ダイヤフラムチャンバー及び作動流体チャンバーを有するダイヤフラムポンプに用いられ、ダイヤフラムポンプのセンターシャフトに取り付けられるダイヤフラムにおいて、ダイヤフラムは、ダイヤフラムポンプの作動流体チャンバー側の面に、センターシャフトを貫通した、作動流体チャンバーの内部空間容積を小さくするための浮動パッドが配置されている。 （もっと読む）

【課題】外気温度に依存せずに吐出流量を安定させることができるポンプ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】上記ポンプ装置の制御方法は、ポンプ本体の吐出口から基準流量のガスが吐出する回転速度でモータを駆動するための駆動信号を出力し、前記ポンプ本体に取り付けられた温度センサによって、前記吐出口から吐出されるガスの温度又は前記ポンプ本体の温度を測定し、前記温度センサの出力に含まれる前記ガスの温度に関連する温度信号に基づいて前記吐出口から吐出される前記ガスの実流量を演算し、前記実流量が前記基準流量と一致するように前記駆動信号を補正し、補正された駆動信号を前記モータへ出力する。 （もっと読む）

【課題】全体の大きさを縮小しながらも、流体のポンピング性能を向上させることができるマイクロポンプおよびその作動方法を提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、接続流路を介して接続される第１空間および第２空間を形成するケースと、第１空間に接続される流体吸入管と、第２空間に接続される流体吐出管と、第１空間を覆うようにケースに設けられる第１変形部材と、第２空間を覆うようにケースに設けられる第２変形部材とを含む。第２変形部材は、第１変形部材より大きく形成され、第２変形部材の最大変位は、第１変形部材の最大変位より大きい。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で作製に手間がかからないマイクロポンプ、マイクロバルブおよび送液制御装置を提供する。
【解決手段】貫通孔１１を少なくとも１つ形成した形状記憶合金シート１２と、チューブ状の弾性部材１３と、形状記憶合金シート１２に電流を流すための電極１４，１５と、電極１４，１５に電圧を印加して電流を制御する制御部１６と、を備え、弾性部材１３は、形状記憶合金シート１２の貫通孔１１に挿入されて、固定されている。 （もっと読む）

本発明は、互いに取り付けられる第１の基板（１０）及び第２の基板（２０）を備えている少なくとも一つの変形可能な膜マイクロポンプの製造方法に関連しており、前記第１の基板（１０）は少なくとも一つのキャビティ（１２−２）を備えており、及び前記第２の基板（２０）は前記キャビティ（１２−２）に面して配置された少なくとも一つの変形可能な膜（２２−２）を備えている。前記方法は、前記第１の基板（１０）内に前記キャビティ（１２−２）を作るステップと、前記第１の基板（１０）と前記第２の基板（２０）とを取り付けるステップと、前記第２の基板（２０）内に前記変形可能な膜（２２−２）を作るステップと、を備えている。
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本発明は、多段式のダイヤフラム吸込みポンプであって、少なくとも２つのポンプ室が設けられていて、該ポンプ室はそれぞれ１つの、少なくとも１つの流入弁を有する流体入口と、少なくとも１つの流出弁を有する流体出口とを有しており、ポンプ室の流体入口を接続する吸込み管路が設けられており、相前後して連続するポンプ室はそれぞれ少なくとも１つの接続管路を介して互いに接続されていて、ダイヤフラム吸込みポンプは、吸込み管路内における所定の差圧の到達時もしくは超過時に、ポンプ室の並列作動運転から該ポンプ室の少なくともまた直列作動運転へと移行するようになっており、少なくとも１つの接続管路の流入領域及び流出領域にそれぞれ、後続のポンプ段に向かって開放する少なくとも１つの逆止弁が配置されている形式のものに関する。このようなダイヤフラム吸込みポンプのポンプ特性を最適化するために、少なくとも１つのポンプ室に、吸込み圧を改善するために少なくとも１つの接続管路の吸込み側の開口が、又は吸込み能力を改善するために少なくとも１つの接続管路の吐出側の開口が、ポンプ室の所定領域に配置されているか又は該所定領域の近傍に配置されていて、この所定領域において、前記ポンプ室に配設されたダイヤフラムが１つのポンプサイクル中に最初に湾曲して転動する。付加的に又はその代わりに、本発明の別の構成では、特に後続のポンプ室の間における少なくとも１つの接続管路が、降下する管路経過を有しており、そのために該少なくとも１つの接続管路の流入側の管路区分は流出側の管路区分に比べて、高い位置に配置されている。
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【課題】ノズル装置へ薬液(chemical liquid)を送給する薬液送給装置において、薬液送給初期の立ち上がりを良くして、薬液送給初期の時間を生産に使用できるようにして、生産性を向上させるようにすること。
【解決手段】ノズル装置に薬液を送給する薬液送給路の途中に設けられる主ポンプ及び副ポンプからなり、該主ポンプ及び該副ポンプは、立ち上がり時の送給流量が、主ポンプ≦副ポンプ、の関係で始まり、定常送給時の送給流量が、主ポンプ＞副ポンプ、の関係にある。前記主ポンプと前記副ポンプは内容積の膨らみ量が、主ポンプ＞副ポンプ、の関係にあり、立ち上がり時の前記副ポンプの送給流量Ａと、立ち上がり時の前記主ポンプの内容積の膨らみ量と該薬液送給路の内容積の増加量の和Ｂが、Ａ≧Ｂ、の関係にある。 （もっと読む）

【課題】微小量の液体を安定して送液することができるとともに、プロセスの追加や流路部品を使い捨て構造とすることが容易な送液装置を提供する。
【解決手段】送液装置は、基材１２と、基材に形成され、検査器１６を装着可能な検査部１４と、基材に形成され検査部を通って延びた微小流路１８であって、流入口１８ａと、流出口１８ｂとを有する気密な微小流路と、伸縮自在な蛇腹構造を有し、流入口に気密に接続され、伸縮に応じて内部容積が変化して液体記微小流路に押し出しあるいは引き込みするマイクロポンプ２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】使い捨ての液体のポンプと、より長持ちする空気ポンプとを用いる泡分与装置を得ることを目的とする。
【解決手段】泡ディスペンサー１０は、ハウジング１２と詰め替えユニット１４とを包含する。詰め替えユニット１４には発泡可能な液体を送るためのチューブポンプ３６が備えられ、ハウジング１２には空気を送る空気ポンプ２６が備えられている。チューブポンプ３６と空気ポンプ２６とは、混合ユニット４４において予混合チャンバ６６に流体的に連通し、泡ディスペンサー１０を作動して、チューブポンプ３６と空気ポンプ２６との両方を作動させると、泡製品を生成する。 （もっと読む）

本発明は、多段のダイヤフラム式サクションポンプであって、少なくとも２つのポンプ室を備え、該ポンプ室がそれぞれ、少なくとも１つの入口弁を有する流体入口と、少なくとも１つの出口弁を有する流体出口とを有しており、さらに、複数の前記ポンプ室の前記流体入口を接続する吸込管路を備え、相連なるポンプ室はそれぞれ少なくとも１つの接続管路を介して、当該ダイヤフラム式ポンプが前記吸込管路内の所定の差圧の達成／超過時に前記ポンプ室の並列に作動する運転から前記ポンプ室の少なくとも直列にも作動する運転へと移行するように互いに接続されており、前記少なくとも１つの接続管路の流入領域及び流出領域において、それぞれ、後続のポンプ段に向かって開弁する少なくとも１つの逆止弁が接続されている形式のものに関する。本発明に係るダイヤフラム式サクションポンプは、前記接続管路の前記流入領域及び前記流出領域に設けられた逆止弁が、前記ポンプ室の前記入口弁及び前記出口弁と比較して小さく形成されており、かつ該逆止弁に、前記接続管路の、隣接するポンプ室に向かって開放されたそれぞれ１つの管路区分が、前記入口弁及び前記出口弁と比較して小さな内法の管路横断面を備えて配設されていることを特徴とする。
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一又は複数の異なる処理流体を取り扱うのに使用するポンプは、処理流体入口および処理流体出口を有した複数のポンピング室であって、処理流体出口が、ポンピング室を通じた処理流体の流れを選択的に防止および許容するように、各ポンピング室の処理流体弁に結合されていることと、作動流体の各作動流体室への流れを許容するために、作動流体室と流体連通する複数の作動流体室に作動流体を圧送する作動機構と、作動流体から処理流体を分離するために、関連した作動流体室から各ポンピング室を分離する少なくとも１つの隔膜とを備えている。作動機構の動作は、作動流体を変位させ、開いた処理流体弁を有した作動流体室の各々のみに作動流体を流入させて圧送する。
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【課題】異なる２方向に液体を輸送することができる液体輸送装置を提供する。
【解決手段】液体輸送装置１０は、リザーバ４０に連通し一方向に延在され弾性を有する第１チューブ５０と、略１８０度反対方向に延在され弾性を有する第２チューブ６０と、第１チューブ５０を押圧する螺旋状の凸部７２ａを有する第１押圧部７２と、第２チューブ６０を押圧する螺旋状の凸部７３ａを有する第２押圧部７３と、第１押圧部７２と第２押圧部７３とが共通の回転軸Ｐを有して接続されるチューブ押圧部材７０と、第１チューブ５０と第２チューブ６０を挟んでチューブ押圧部材７０の反対側に設けられるチューブガイド３０と、が備えられ、螺旋状の凸部７２ａ，７３ａがそれぞれ逆方向の螺旋方向を有し、チューブ押圧部材７０を回転することによって、第１チューブ５０及び第２チューブ６０を流出側に向かって順次押圧し、異なる２方向に液体を輸送する。 （もっと読む）

【課題】体積が小さく、搬送効率が高く、騒音が低く、有効寿命が長く、保守の容易な多段ダイアフラムポンプを得ること。
【解決手段】多段ダイアフラムポンプが、ポンプ体と、主軸１と、主軸１によって駆動される往復駆動機構と、往復駆動機構と接続され、ポンプ体の作業チャンバ内へ延びている駆動軸１５と、作業チャンバ前端に配置された吸い込み逆止め弁及び排出逆止め弁とを含み、しかも、関連駆動軸１５には、直列配置された複数の皿状ダイアフラム４が取り付けられ、各皿状ダイアフラム４の前方にはピストン６が固定され、隣接する皿状ダイアフラムの間には液圧媒体が充填され、最前部の皿状ダイアフラムの前方に配置されたピストンが、作業チャンバ内の液体材料と直接に接触しており、各ピストン６と作業チャンバ壁との間にシールリング５が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 微量の流体を圧送するときであっても、一定の流速で安定して送液を行うことができ、脈動を小さくすることができ、さらに送液状態を連続的に変化させることができる送液ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】 送液ポンプ１１は、流体の圧送を行う流体圧送手段１２，１３，１４を直列に複数配設している。流体圧送手段１２，１３，１４は、上流から下流にむかって、第１流体圧送手段１２、第２流体圧送手段１３、第３流体圧送手段１４の順に並ぶ。第１流体圧送手段１２は、流体を吸入して、上流への逆流を防ぐ。第２流体圧送手段は、流体を圧送して、上流から下流に液体を圧送する。第３流体圧送手段は、流体を排出して、下流からの逆流を防ぐ。この送液ポンプ１１は、流体圧送手段１２，１３，１４が一連の動作により上流から下流にむかって流体が流れるように流体の圧送を行う。 （もっと読む）

【課題】エア駆動式のダイアフラムポンプを採用したシステムにあって、高い塗料吐出圧力を得ることができながらも、ダイアフラムの優れた耐久性を確保する。
【解決手段】塗料圧送システム２１を、塗料Ｐを供給する塗料供給源２２、この塗料供給源２２の塗料Ｐを圧送するエア駆動式のダイアフラムポンプ２３、このダイアフラムポンプ２３に駆動用の高圧エアを供給するエア駆動機構２４等から構成する。ダイアフラムポンプ２３として、出力圧力と入力圧力との圧力比率が、例えば１．５：１のものを採用する。エア駆動機構２４を、コンプレッサ４８、このコンプレッサ４８からのエアを２倍に増圧してダイアフラムポンプ２３に向けて出力する増圧弁４９から構成する。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤフラムポンプの吐出圧力を高くした上で耐久性を向上させる。
【解決手段】 第１のポンプ室１９Ａには、第１の吸入通路２０Ａと第１の排出通路２１Ａが設けられ、第２のポンプ室１９Ｂには、第２の吸入通路２０Ｂと第２の排出通路２１Ｂが設けられている。第１の排出通路２１Ａと第２の吸入通路２０Ｂとは連絡通路２８によって連通している。ポンプ室１９Ａ，１９Ｂの膨張・収縮動作によって、吸入口３０から吸入されたエアは、第１のポンプ室１９Ａ、連絡通路２８、第２のポンプ室１９Ｂを通り、吐出口３２から吐出される。ハウジング３６とダイヤフラム１５とによって形成された駆動室３７は密閉状態になっており、この駆動室３７と連絡通路２８とは導入通路３５によって連通されている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムポンプよりも空気が混入し難く、圧力脈動が小さく、シリンジポンプに近い高圧を発生できるコンパクトな往復動ポンプ、往復動ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ケース１１と、該ケース内１１に配置され軸方向に往復動する傘状機能体１２と、該傘状機能体１２の柄部１２ｂに設けられ外周部が該ケース１１内周面に摺接する磁性体１３と、該ケースの外周部に設けた磁力発生器１４とを備え、ケースは一端が吸込口１５、他端が吐出口１６となっており、傘状機能体１２は吐出口１６側に移動するときは径方向に拡幅してその外周面が該ケース１１の内周面に摺接し、吸込口１５側に移動するときは径方向に収縮してその外周面が該ケース１１の内周面から離間する拡幅収縮部１２ａを備えた往復動ポンプ１０。
【選択図】図１
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【課題】コンパクトな構造で高圧化を実現でき、そのうえ取りつけ位置決めがしやすく、組立作業が簡単な電磁振動型ポンプ用のタンクを提供することである。
【解決手段】フレーム内に少なくとも１つの電磁石と、永久磁石を保持した複数の振動子と、前記振動子の両端に連結されたダイヤフラムまたはピストンを介して設けられたポンプケーシング部とからなり、前記振動子の両端が、それぞれポンプケーシング部の内部空間と気密に遮断するダイヤフラムまたはピストンと連結され、前記ポンプケーシング部に吸入ノズルと吐出ノズルとが設けられている電磁振動型ポンプに適用される気体通路タンクであって、前記ポンプケーシング部の上に設けられ、前記吸入ノズルおよび吐出ノズルを介してポンプケーシング部と連通し、通気路が直列および／または並列に仕切られ、当該気体通路の側壁に空気の供給および排出のために、少なくとも１つの吸気口と排出口を備えてなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造で高圧化を実現でき、組立作業が簡単な電磁振動型ダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】フレーム内に側極の鉄心をもたない少なくとも１つの電磁石と、永久磁石を保持した複数の振動子と、前記振動子の両端に連結されたダイヤフラムを介して設けられたポンプケーシングとからなる電磁振動型ポンプであって、電磁石の磁路が、略Ｃ型鉄心とＩ型鉄心からなり、略Ｃ型鉄心の開口した両対向面間にＩ型鉄心が配設され、Ｃ型鉄心の両端部およびＩ型鉄心に巻線が巻回されて、第１および第２電磁石と中央電磁石が形成され、振動子がＩ型鉄心と前記略Ｃ型鉄心との間を移動可能に設けられ、振動子の両端が、それぞれダイヤフラムと連結され、ポンプケーシング部の上に設けられた気体通路タンク部が吸入ノズルおよび吐出ノズルを介してポンプケーシング部と連通している。 （もっと読む）

【課題】 大容量の薬液を高い定量精度で吐出でき、長期に渡り正確な吐出が可能な定量送液ポンプを提供する。
【解決手段】 移送液を収容するポンプ室２８の容積を変化させる送液用ベローズ２５の内部室または、ポンプ室２８を構成するチューブ６１の外周側の室内と、シリンジ本体１３のシリンジ室１７とに非圧縮性液体を充填し、シリンジ室１７に、軸方向へ移動可能にピストンロッド１０を設けるとともに、シリンジ室１７の外部で下方に延びるピストンロッド１０の外周を囲む下方ベローズ３０と、ピストンロッド１０の側方に配置された側方ベローズ３６とを設け、下方ベローズ３０の内部室から側方ベローズ３６の内部室に至る閉鎖空間に非圧縮性液体を充填した。これによって、ピストンロッド１０の往復動による下方ベローズ３０の伸縮に応じて、側方ベローズ３６が、非圧縮性液体が充填された閉鎖空間の容積を略一定に保つように連動しながら伸縮するようにした。 （もっと読む）