【課題】接着剤によって振動板の振動が阻害されることを抑制することができ、振動板ユニットと可撓板との接合において十分な接着強度が得られる流体制御装置を提供する。
【解決手段】振動板ユニット１６０は、振動板１４１と、振動板１４１の周囲に設けられた枠板１６１と、振動板１４１を枠板１６１に連結する連結部１６２とによって構成される。この枠板１６１は接着剤で可撓板１５１に固定される。枠板１６１は、内周縁部１６５と、外周縁部１６７と、内周縁部１６５及び外周縁部１６７の間に位置し、可撓板１５１に接合される接合部１６８と、連結部１６２及び内周縁部１６５の間に位置し、内周縁部１６５に対して可撓板１５１側に突出する遮断部１６６とによって構成される。振動板１４１、連結部１６２、内周縁部１６５及び外周縁部１６７は、それぞれの可撓板１５１側の面が可撓板１５１から離れるよう接合部１６８の厚みより薄く形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムとセンタープレートを組み付ける際の作業効率の向上、製造コストの削減、および製品間での性能の安定化が可能である電磁振動型ダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】円盤状の第２のプレート７ｂは、ダイヤフラム４と当接する側の面の中央部に、凹部２０が形成された十字型の隆起部２１と、その外径側に形成された第２環状リブ２９とを有する。円盤状の第１のプレート７ａは、ダイヤフラム４と当接する側の面の中央部に第１環状リブが形成されており、この第１環状リブにより凹部２０に圧入嵌合される凸部を備えた組み付け溝が形成されている。円盤状のダイヤフラム４は、中央の貫通孔２６の周囲に、ダイヤフラム４の両面からそれぞれ突出し、外周側から環状リブが係合されるダイヤフラム滲み出し防止突起２８を有する。 （もっと読む）

【課題】接着剤の流れ込みによって振動板の振動が阻害されることを抑制し、圧力−流量特性のバラつきを抑制することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、振動板ユニット１６０と可撓板１５１とを備える。振動板ユニット１６０は、振動板１４１と、枠板１６１と、連結部１６２とによって構成される。振動板１４１の周囲には枠板１６１が設けられていて、振動板１４１は３つの連結部１６２で枠板１６１に対して３点で柔軟に弾性支持されている。そして、枠板１６１は、複数の微粒子１２１を含有した接着剤層１２０を介して可撓板１５１に固定される。すなわち、振動板１４１の主面は、可撓板１５１から微粒子１２１の直径分離れて、配置される。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤフラムポンプにおいて、組立時における作業性の向上と組立の自動化の導入を容易とする。
【解決手段】 モータ２の出力軸２ａが軸着されたクランク４の上面には、出力軸２ａを中心としたリング状の係入溝５が設けられている。駆動体７には駆動軸９ｂが一体形成され、駆動軸９ｂの下端部９ｃが係入溝５に係入されることにより、軸線９ｄが傾斜した状態となる。クランク４の回転によって、係入溝５内に設けられた係合部が下端部９ｃに係合するので、駆動軸９ｂはクランク４の回転に追従して軸線９ｄが傾斜方向を変えながら回転する。したがって、駆動体７の駆動子７ａに取り付けられたダイヤフラム部１２ａが上下に移動することにより、ポンプ室１８が収縮・拡張するのでポンプ作用が行われる。 （もっと読む）

【課題】低減された形状要因、緩徐な流体操作性、および流体使用量を減らしおよび信頼性を向上させる種々の特徴を有する多段式ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、形状要因を低減し、また信頼性および有用性を向上させる特徴を有するポンプを提供する。さらに、本発明の実施形態は、緩徐な流体操作特性のための特徴を提供する。本発明の実施形態は、モータ駆動の送液ステージポンプおよびモータ駆動の分注ステージポンプを有するポンプを含み得る。送液ステージモータおよび送液ステージモータは、各種のモータを含むことができ、またポンプは、回転ダイヤフラムポンプまたは他のポンプであってもよい。一実施形態によると、ポンプチャンバを画定する分注ブロックおよび種々の流通路は、単体の材料から形成することができる。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたってダイアフラムが金属製ダイアフラム被装着部材から剥離することなく安定的固定状態を維持し、ダイアフラムの厚みを厳密管理無用とするダイアフラム装着構造体及びダイアフラム装着方法、並びにダイアフラム装着構造体を備えて成るダイアフラムカセット及びそのカセットを装着したダイアフラムポンプを提供すること。
【解決手段】ダイアフラム被装着部材のフランジ部に形成された蟻溝にはめ込まれたＰＦＡ又はＦＥＰ製の環状体とＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＥＣＴＦＥ又はＰＣＴＦＥ製のダイアフラム本体とを備え、かつ溶着により一体化されたダイアフラムを有するダイアフラム装着構造体、ダイアフラムをダイアフラム被装着部材に装着するダイアフラム装着方法、ダイアフラム装着構造体を備えるダイアフラムカセット、そのダイアフラムカセットを備えるダイアフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ポンプ筐体に格別な加工を行うことなく、吐出圧の高い圧電ポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラムに圧電体を接着した振動板を使用し、振動板の外周部をポンプ筐体に固定する。振動板と対向するポンプ筐体の表面は平坦面に形成され、振動板は、ポンプ筐体と逆側を向くダイヤフラムの主面に圧電体を熱硬化型接着剤により接着固定したものである。ダイヤフラムは、圧電体より線膨張係数が大きいので、圧電体への電圧の非印加時において、ダイヤフラムはポンプ筐体側と逆方向に凸状に反った形状を有し、ダイヤフラムの反りによってポンプ筐体との間にポンプ室が形成される。 （もっと読む）

【課題】マイクロ電子機械システムを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。複数の圧電アイランドは、複数のチャネル（２０５）を有するボディ（２００）に支持される。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、それを取り扱い基板に一時的に結合し、カットされた圧電レイヤ（１０７）をエッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に取り付け、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】外形寸法が極めて小さく、生産性が良く、流量制御精度が高く、動作が円滑であり、吸引力と吐出力が大きく、信頼性が高いマイクロダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】吸入弁２６および吐出弁２８の一方の弁板１４と他方の弁の流路となる流路開口１６とが形成され、互いに逆向きに積層された二枚の弁板シート１２と、この積層体に積層され弁座２０および弁ストッパ２２とが形成された二枚の弁座シート１８と、ベース板３２と、枠体３４と、ダイヤフラム３６と、駆動素子４２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を克服できるマイクロ流体チップデバイスとその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体チップデバイスが提供される。マイクロ流体チップデバイスは、基板層（２）とマイクロ流体層（３）を含むマイクロ流体チップデバイスとする。基板層（２）は、形状記憶高分子により形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に体積変動が生じる変形可能部分（２１）を含む。マイクロ流体層（３）は、基板層（２）にラミネートされており、変形可能部分（２１）と流体連通されたマイクロチャンネル（３１）を有する。変形可能部分（２１）は、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に、マイクロチャンネル（３１）内に流体駆動圧を発生させる。マイクロ流体チップデバイスの製造方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】安価に生産でき、かつ、組立てが容易なサクション・ポンプを提供する。
【解決手段】サクション・ポンプは空気開放用の排気膜３２を有する排気弁を備えている。この排気膜３２及び真空を生成するために用いられる真空膜３１は、共通の膜プレート３により一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、陽極接合時に可動部がガラス基板へ張り付くことを防止し、製造コストを抑制し、且つ接合不良を防止するＭＥＭＳデバイスの製造方法及びＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るＭＥＭＳデバイスの製造方法は、半導体基板に固定部と前記固定部の内側あるいは外側に位置する可動部を形成し、ガラス基板の一方の面上に前記半導体基板と対向させたときに前記可動部の周囲に位置する領域に導電部材を配置し、前記ガラス基板の他方の面を前記可動部と対向させた状態で前記半導体基板と前記導電部材の間に電圧を印加して前記半導体基板と前記ガラス基板の陽極接合を行う、ことを特徴とする。 （もっと読む）

ポンプとこのポンプを作動する電気モータとを備え、ポンプは、それぞれがポンプケーシングと作動室カバーとの間に把持され、これにより作動室を区画する、２つの対向する作動ダイアフラムを有する複式ダイアフラムポンプとして形成され、この作動ダイアフラムは、コネクティングロッドとベアリングとを有するクランクドライブにより移動可能であり、作動ダイアフラムは、タペットに強固に接続され、コネクティングロッドと共に、膜ユニットを形成する、特に負圧ブレーキブースタである空圧ブレーキブースタを有する、特に、自動車ブレーキシステムのブレーキ作動装置に圧力を供給するためのモータポンプユニットに関する。公知の一般的ユニットに比較して、より費用対効果が大きく、組立てに要する費用が少ない、低騒音のモータポンプユニットを提供するため、本発明によると、コネクティングロッド（３５）はプラスチックで形成され、それぞれ１つのタペット（３６）と１つのベアリング（３８）とが、コネクティングロッド（３５）の材料と共に封入される。代替として、本発明によると、コネクティングロッド（４１，５９）はそれぞれタペット（４２）と一体となるようにデザインされ、焼結部材として形成される。
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連続して、可撓性ダイヤフラム（２）、ポンプ室（４）及び遮蔽板（３）を含んでなるスタックの形のマイクロポンプであって、該ポンプ室（４）は、例えば可撓性ダイヤフラム（２）を介して外部と連通し；該ダイヤフラム（２）は、マイクロポンプの外側に配置されるアクチュエータ（５）に更に固定されており、上記ダイアフラム（２）は、その主軸に沿って剛性で、そしてその主軸に対して垂直方向には可撓性であるストリップ（６）の形の少なくとも１つのエレメントによって、アクチュエータ（５）に固定されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電部の組成がより安定した圧電素子およびその製造方法ならびに前記圧電素子を用いたポンプを提供する。
【解決手段】本発明の圧電素子は、圧電材料を備える圧電部６と、圧電部６の主面上に形成された下部電極５と、下部電極５上に形成されたバリア層４と、バリア層４上に形成された酸化層３とを備え、バリア層４は、鉛系ペロブスカイト型化合物に含まれる元素のうち、チタンと酸素を除く元素の少なくとも１つがドープされた酸化チタンからなる。 （もっと読む）

本発明は、複合プラスチック物品、およびそれらを作製する方法を提供する。物品は、流体導管と、オプションで、流体導管の中の流量を調節する空気圧導管とを有する流体またはマイクロ流体デバイスであり得る。物品は、反応基を含む、またはその上に反応基が導入されている層でコーティングされる、第１の基板を備える。例えば、基板は、その上にヒドロキシル基が導入される酸化物またはシロキサンでコーティングされたプラスチックであり得る。これらの物品は、それらの表面上に反応基、例えば、シラノール基を有するように処理されたポリシロキサンを含む、他の物品と共有結合される。ある物品は、他の断片に結合されていない、それらの表面上の特定の場所を有する。例えば、コーティングは、結合する前にこれらの場所から除去することができる。そのような場所は、マイクロ流体デバイスの弁の中の弁座等の種々のデバイスの機能的要素として有用であり得る。
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本発明は、互いに取り付けられる第１の基板（１０）及び第２の基板（２０）を備えている少なくとも一つの変形可能な膜マイクロポンプの製造方法に関連しており、前記第１の基板（１０）は少なくとも一つのキャビティ（１２−２）を備えており、及び前記第２の基板（２０）は前記キャビティ（１２−２）に面して配置された少なくとも一つの変形可能な膜（２２−２）を備えている。前記方法は、前記第１の基板（１０）内に前記キャビティ（１２−２）を作るステップと、前記第１の基板（１０）と前記第２の基板（２０）とを取り付けるステップと、前記第２の基板（２０）内に前記変形可能な膜（２２−２）を作るステップと、を備えている。
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【課題】流体移動のための方法、およびこの方法に基づくマイクロ蠕動ポンプを提供すること。
【解決手段】マイクロ蠕動ポンプは、以下：ａ）モーターおよび該モーターにより駆動される第１の力エフェクタを備える作動パーツ；ｂ）カートリッジ本体に取り付けられた弾性膜を備えるカートリッジパーツであって、ここで、該カートリッジ本体に取り付けられた該弾性膜が、該カートリッジ本体内に閉鎖空間を形成し、該カートリッジ本体は、少なくとも３つのチャンバを備え、かつ、該カートリッジはまた、該第１の力エフェクタと相互作用する第２の力エフェクタを備える、カートリッジパーツ；ｃ）該少なくとも３つのチャンバが、入口および出口を有し、該チャンバは、タンデムに封着接続されている、チャンバ；を備える。マイクロポンプの分野の先行技術と比べると、本発明のマイクロ蠕動ポンプは、同等な全体のサイズでより大きな作動力を生じ得る。 （もっと読む）