【課題】ポンプ室内の異常検知を可能としつつも小型化を実現したポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ装置1に、ポンプ室12と、ダイヤフラム10と、駆動層40-1と負荷圧力検出層40-2とを備える積層圧電素子40と、駆動信号発生部105と、負荷状態検出部101と、異常検出部103と、を具備させる。ダイヤフラム10は、往復変位することでポンプ室12の体積を変化させる。駆動層40-1は、積層圧電素子40のうち振動を励起する為の駆動信号が印加される領域である。負荷圧力検出層40-2は、積層圧電素子40のうち負荷圧力を示す信号が取り出される領域である。駆動信号発生部105は、駆動信号を生成する。負荷状態検出部101は、負荷圧力検出層40-2から出力された信号の振幅に基づいて、負荷圧力を検出する。異常検出部103は、負荷状態検出部101により検出された負荷圧力に基づいて、ポンプ室12内部の圧力に係る異常状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】電子機器の内部に強制対流を発生することができる薄型の冷却装置１を提供する。
【解決手段】通電される電力に応じて伸縮もしくは膨張する圧電素子４，５の動力を利用して強制対流を発生させる冷却装置１において、少なくとも一方に開口した開口部７を有する容器と、該容器の少なくとも一つの壁面が可撓壁面２（３）とされ、該可撓壁面２（３）に設けられかつ交流電流が通電されることにより振動する圧電素子４（５）とを備え、前記圧電素子４（５）を振動させることにより、前記容器の内部に介在する空気を圧縮・膨張させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】接着剤の流れ込みによって振動板の振動が阻害されることを抑制し、圧力−流量特性のバラつきを抑制することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、振動板ユニット１６０と可撓板１５１とを備える。振動板ユニット１６０は、振動板１４１と、枠板１６１と、連結部１６２とによって構成される。振動板１４１の周囲には枠板１６１が設けられていて、振動板１４１は３つの連結部１６２で枠板１６１に対して３点で柔軟に弾性支持されている。そして、枠板１６１は、複数の微粒子１２１を含有した接着剤層１２０を介して可撓板１５１に固定される。すなわち、振動板１４１の主面は、可撓板１５１から微粒子１２１の直径分離れて、配置される。 （もっと読む）

【課題】超音波の発生位置が多少ずれても、液体の噴出能力を高い状態に維持することができる体内埋込型液体ポンプシステムを提供する。
【解決手段】ポンプ１１が、液体を溜める貯留部１５と、貯留部１５に連通する液体の流出口１６とを有している。貯留部１５は、内径が流出口１６に向かって徐々に小さくなるテーパー状の形状を成している。超音波発生手段１２が、流出口１６とは反対側に向かって凸状を成す超音波素子を駆動させて超音波を発生させる構成を有し、超音波を、貯留部１５を通して流出口１６または流出口１６の近傍に収束可能に発生させるようになっている。超音波透過材１７が、貯留部１５と超音波発生手段１２との間に設けられている。供給タンク１３が、貯留部１５に液体を供給可能に設けられ、注入用チューブ１４が、流出口１６に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプにおいて、ポンプ室に混入した気泡を容易に除去可能とする。
【解決手段】圧電素子に対して負電圧を印加して圧電素子を収縮させることによってポンプ室の容積を増加させ、印加した負電圧を解除することによってポンプ室の容積を減少させる。このようにポンプ室内の流体を圧送することとすれば、ダイアフラムが変形していない時（初期状態）のポンプ室の容積を幾らでも小さくすることができる。従って、初期状態ではポンプ室の気泡の溜まり易い箇所が潰れるようにすることで、ポンプ室内に気泡が残ることを回避することが可能である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプにおいて、ポンプ室に混入した気泡を容易に除去可能とする。
【解決手段】基台部と基台部から立設された柱部とからなる駆動部材の柱部の先端をポンプ室の外部からダイアフラムに接続しておき、電荷を印加して圧電素子を伸長させることにより、基台部をダイアフラムから離間可能とする。こうした送液ポンプでは、初期状態からポンプ室の容積を増加させた後に、ポンプ室の容積を初期状態に戻すことで流体を圧送することになるので、初期状態でのポンプ室の容積をいくらでも小さく設定することができる。その結果、ポンプ室内に気泡が残ることを回避することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室の内部圧力が低下する時定数τよりも短い周期で駆動しても、高効率で送液可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】送液ポンプの出口流路から流体流路に向けて液体を送液する。出口流路に直接流体流路が接続されている場合、流体流路には流路抵抗があるから、送液ポンプを駆動すると、ポンプ室の内部圧力が上昇し、その後、出口流路から直接流体流路に液体が流れることに伴って内部圧力が低下する。このときのポンプ室の内部圧力が低下する時定数τよりも短い周期で送液ポンプを駆動し、且つ、出口流路と液体流路との間にはポンプ室よりも大きなコンプライアンスを有する出口側バッファ室を設けておく。こうすれば、ポンプ室の内部圧力が低下する時定数τよりも短い周期で駆動した場合でも、ポンプ室と出口側バッファ室との間で生じる圧力振動を利用して、効率よく送液することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】気体溶存量の増加による性能低下を簡便に回避可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ室を、出口流路を介して出口側バッファ室に接続し、出口側バッファ室から液体を圧送する。そして、ポンプ室と出口流路と出口側バッファ室とは共振系を構成しており、この共振系の固有振動数は気体溶存量に依存する。そこで固有振動数を測定して気体溶存量を検出する。こうすれば、送液しよう液体中の気体溶存量を簡便に検出することができるので、気体溶存量の増加によるポンプ性能の低下を簡便に回避可能となる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室のコンプライアンスと出口流路の入口から液体流路の出口までの流路抵抗との積で定められる時定数τよりも短い周期で駆動しても、高効率で送液可能な送液ポンプ、液体循環装置、及び医療機器を提供する。
【解決手段】送液ポンプは、ポンプ室１０２と、ポンプ室１０２から液体流路１２２に向けて液体が流出する出口流路１１６と、出口流路１１６と液体流路１２２との間に設けられて、ポンプ室１０２のコンプライアンスよりも大きなコンプライアンスを有する出口側バッファー室１１８と、ポンプ室１０２に液体を供給する入口流路１１４と、入口流路１１４とポンプ室１０２との間に設けられた逆止弁１１０と、を備え、送液ポンプ１００は、ポンプ室１０２の容積を増減させる１サイクルあたりの時間が、ポンプ室１０２のコンプライアンスと出口流路１１６の入口から液体流路１２２の出口までの流路抵抗との積で定められる時定数よりも短い。 （もっと読む）

【課題】気泡の混入、圧送圧力、気体溶存量、送液量などの動作状態を簡便に検出可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ室を、出口流路を介して出口側バッファ室に接続し、出口側バッファ室から液体を圧送する。そして、ポンプ室の内部圧力によって変形する変形部を設けておき、ポンプ室の容積を減少させた時にポンプ室内に生じる圧力振動を、変形部の変位の変動によって検出する。この圧力振動は、気泡の混入、圧送圧力、気体溶存量、送液量など、送液ポンプの動作状態に関する種々の情報を含んでいる。そこで、変形部の変位の変動を検出してやれば、送液ポンプの動作状態に関する各種情報を簡便に検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】振動板の振動が外部に漏洩しにくくし、エネルギー損失を低減できる圧電マイクロブロアを提供する。
【解決手段】圧電素子２０を有する振動板２の周囲を固定し、振動板との間でブロア室３を形成するケース１と、ケース１の外周部に設けられ、ケース１から外部への振動伝搬を実質的に抑制する複数の連結部４と、を有する。振動板２の中央部と対向するケース１の天板部１０に第１開口部１１が形成され、振動板２をベンディングモードで駆動させることにより、空気を第１開口部１１から排出する。振動板２の振動がケース１から外部へ漏洩するのを連結部４が抑制し、エネルギー損失を低減する。 （もっと読む）

【課題】送液ポンプを大型化させることなく、ポンプ室内の気泡を検出可能とする。
【解決手段】所定の最大電圧まで増加した後に減少する波形の駆動信号を印加することによって圧電素子を駆動し、ポンプ室の容積を増減させてポンプ室内の流体を送液する送液ポンプにおいて、駆動信号を印加してからの所定期間内に圧電素子に流れる電流を検出することで、ポンプ室内の気泡の有無を判定する。こうすれば、気泡を検出するための装置を別途設ける必要が無いので、送液ポンプを小型化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射と連続流噴射とを切替え可能な流体噴射装置の制御方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置の制御方法は、流体室と前記流体室の容積を変更する容積変更手段とを有し、流体噴射開口部から流体をパルス流または連続流として噴射させる脈流発生部と、前記脈流発生部に所定の圧力で流体を供給する流体供給手段と、パルス流噴射と連続流噴射とを選択的に切り替える噴射指令切替え手段と、が備えられる流体噴射装置の制御方法であって、前記容積変更手段を駆動し流体を脈流に変換してパルス状に噴射させるパルス流噴射と、前記容積変更手段を停止し、パルス流噴射の場合よりも前記流体供給手段からの流体供給圧力を高めて流体を連続流として噴射させる連続流噴射と、に前記噴射指令切替え手段により選択的に切替える。 （もっと読む）

【課題】冷却媒体の送液ポンプの大型化や高速化をすることなく冷却能力を向上させる。
【解決手段】送液ポンプの出口流路に出口側バッファ室を設け、少なくとも送液ポンプから出口側バッファ室までは液体で満たしておく。こうすれば、送液ポンプと出口側バッファ室とによって共振系が構成されるので、共振周波数に相当する周期（あるいは整数倍の周期）で送液ポンプを駆動することで、共振を利用して高い圧力を発生させて、その圧力を用いて液体を圧送することができる。このため、出口流路側に出口側バッファ室を設けるだけで、送液ポンプの大型化や高速化を行うことなく、液体の流量を増加させて、冷却能力を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高性能なマイクロ流体装置および外付けの圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】流体ポンピング装置100、200は、マイクロ流体装置130、230に外付けに連結された圧電アクチュエータ110を含んでいる。圧電アクチュエータは、バイアス電圧の印加に応じた長軸に沿った軸方向変位を有している。圧電アクチュエータの軸方向変位は、マイクロ流体装置の内部のバルブ245および内部のポンプチャンバ140の一方を作動させる。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニットにおいて、能力を向上させながらも、大幅な小型化を達成する。
【解決手段】マイクロポンプ５００を行と列の関係となる格子状に配置し、少なくとも最下流行のマイクロポンプ５００の吐出口を統合吐出口に接続する。更に、中間行の複数のマイクロポンプのそれぞれの吐出口を統合吐出口に直結させる吐出直結機構と、同マイクロポンプのそれぞれの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させる吸入直結機構と、上流行のマイクロポンプの吐出口を、下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させる直列結合機構と、これらを制御する制御装置を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 冷却対象物に近接して配置しても冷却効果が高い冷却装置およびそれを実現する送流装置を提供する。
【解決手段】 ダイアフラムによって少なくとも一部が構成された壁部１１およびそれと対向する壁部１２を含む壁で囲まれた空間１４を有する筐体１０と、壁部１２を貫通する貫通穴１５を含んで構成された、空間１４と外部とを接続し、内部を通過して空間１４から流出する流体が、壁部１２の外側の壁面に平行な第１方向側へ向かって流れるように形成された第１流路３１と、内部を通過した流体が、第１流路３１の貫通穴１５に対して空間１４と反対側に供給される第２流路３２と、第１方向側へ向かって流れる流体と接触する位置に、壁部１２と間隔を開けて配置された可動部材２８とを備える送流装置およびそれを用いた冷却装置とする。冷却対象物に近接して配置しても冷却効果が高い冷却装置およびそれを実現する送流装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の反りをなくし、振動によって圧電体層に引っ張り応力が作用しても圧電体層が破壊する危険性を低減する。
【解決手段】圧電ポンプ１００は、圧電体素子５４と中間板５３と振動板５１とを備える。圧電体素子５４は、平板状である。中間板５３は、圧電体素子５４の主面に接合され、圧電体素子５４に圧縮方向の残留応力を付与する。振動板５１は、圧電体素子５４の主面に対向するように中間板５３に接合されて中間板５３から圧縮方向の残留応力が付与され、且つ、開口穴３１を有する。ポンプ室４１は開口穴３１を介して外部に連通する。中間板５３は引っ張り方向の残留応力を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてより強い流体噴射を行うこと。
【解決手段】伸長方向と交差する交差方向に並ぶ複数の圧電素子と、前記交差方向に噴射
口を有するノズルと前記交差方向を長手方向とし前記ノズルと連通する圧力室であって、
前記複数の圧電素子の端部と対向する圧力室と、前記ノズルから離れた圧電素子から前記
ノズルに近い圧電素子へ向かって前記複数の圧電素子に電圧を印加して順次伸長させる制
御部と、を備える流体噴射装置。 （もっと読む）