【課題】本発明の目的は、変位体の変位量の多寡に関わらず、従来と比較して変位体に付勢力を付与する付勢部材の選択が容易なダイヤフラム式アクチュエータの提供にある。
【解決手段】第１室Ｃ１と、第２室Ｃ２と、第３室Ｃ３に区画されたハウジング４１と、第１室Ｃ１と第２室Ｃ２とを仕切る第１ダイヤフラム４５と、第２室Ｃ２と第３室Ｃ３とを仕切る第２ダイヤフラム４９と、第２室Ｃ２に封入される非圧縮性流体と、第２ダイヤフラム４９に接続され、第１室Ｃ１と第３室Ｃ３との室内圧力差に応じて変位する変位部材とを有し、第１ダイヤフラム４５の受圧面の面積は、第２ダイヤフラム４９の受圧面の面積よりも大きく設定され、第１ダイヤフラム４５を付勢する付勢部材がハウジング４１内に備えられ、付勢部材は、第１ダイヤフラム４５を第２ダイヤフラム４９から離間する付勢力を有する。
（もっと読む）

【課題】パイロット弁の交換を容易にするとともに、スプールを支持しているダイヤフラム等の痛みを防止可能としたポジショナーのパイロット弁を提供すること。
【解決手段】両端側に形成した、給気口２２０１を備えた給気圧力室２２及び出力口２３０１を備えるとともに給気弁座２５を介して給気圧力室２２に連通した出力圧力室２３と、出力圧力室の一方に連通した圧力室３１と、ダイヤフラム３３を介して圧力室と隣り合う配置で形成された大気室３０と、ダイヤフラム３３を介して大気室の反圧力室側に形成された、給気圧力室の一方に連通されるとともにノズル背圧導入管１０が連結されたノズル背圧室２８と、ダイヤフラムに支持された、排気路２７０１及び排気孔２７０２を有したスプール２７と、給気弁２４０１と排気弁２４０２を備え、給気弁で給気弁座のそれぞれを、排気弁でスプールの両端部開口を閉止可能に挿装された一対の弁体２４を備えた。 （もっと読む）