【課題】ステッピングモータ１０６のロータ１６１に雄ねじ部材１０５を連結し、可動部材１０３の雌ねじ部１３１に螺合させて可動部材１０３を進退させることにより、可動部材１０３に固定された電磁石１０４で弁体１０２を吸着して引き上げて開弁させる構成は、弁体１０２が収納されている内部空間１１１にガスが充満するため、従来はロータ１６１の回転軸１６２にＯリングを装着してシールしていたが、Ｏリングが回転時の抵抗になるためステッピングモータ１０６を大型化しなければならなかった。
【解決手段】回転軸１６２に装着していたＯリングを廃止し、ロータ１６１を隔絶部材１０８で覆って、隔絶部材を気密構造にすることによりガスの流出を防止するようにした。 （もっと読む）

【課題】 初期駆動を容易に行なうことができる電磁駆動弁を提供する。
【解決手段】 電磁駆動弁１０は、コイル６２を有し、電磁力を発生する電磁石６０と、支持端３３および２３を有し、電磁力が作用されて、支持端３３および２３を中心に開弁位置と閉弁位置との間で揺動運動するアッパディスク３１およびロアディスク２１とを備える。アッパディスク３１およびロアディスク２１は、電磁力が作用されていない状態で、開弁位置と閉弁位置との間の中間位置に保持されている。コイル６２への電流供給により、アッパディスク３１およびロアディスク２１を開弁位置および閉弁位置に運動させる方向の電磁力が、それぞれ、アッパディスク３１およびロアディスク２１の位置Ｘ１およびＸ２に作用する。電磁石６０は、位置Ｘ１および支持端３３間の距離Ｌ１と、位置Ｘ２および支持端２３間の距離Ｌ２とが、異なる大きさとなるように設けられている。 （もっと読む）