【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ２０と、前段真空ポンプ２０の後段に設置される後段真空ポンプ３０と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ５０と、通常ライン２７３と増量ライン２７４から構成され、前段真空ポンプ２０及び後段真空ポンプ３０に軸シールガスを供給するガス系統２７０と、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいてガス系統２７０を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプの運転に伴う真空装置の微振動の低減を図るのに好適な真空ポンプ防振構造を提供する。
【解決手段】メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、メカニカルダンパＤは、大気と真空の境界を維持する筒状のベローズ２と、ベローズ２の両端に取り付けたフランジ部３Ａ、３Ｂと、その両端のフランジ部間に介在させた筒状の振動減衰部材４とを備え、一方のフランジ部３ＡがチャンバＣに接続し、他方のフランジ部３Ｂが真空ポンプＰの吸気口部ＰＳに接続されるものとする。そして、フランジ部３Ｂと振動減衰部材４との間には低摩擦部材５を介在させ、この低摩擦部材５を介してフランジ部３Ｂと振動減衰部材４とが振動のエネルギーによって相対的に真空ポンプ径方向にずれる自由度を備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータを有する真空ポンプを備えた真空排気装置において、運転中にロータが破壊した場合にも真空排気装置全体が設置場所から転倒する等の重大事故につながらないような真空排気装置の安全構造を提供する。
【解決手段】真空ポンプ２のポンプケース２ａの下方部と取付け台４との間やポンプケース２ａの上方部と排気源の配管６との間にトルクリミッター部３やフューズ継手５を介在させた構造とし、ロータ破壊が起きて前記ポンプケースａに設定値以上のトルクが生じた場合には前記トルクリミッター部３や前記フューズ継手５が作動して、ポンプケース２ａが前記取付け台４上で摺動回転して前記トルクを吸収し、真空排気装置１全体を堪大な被害から護る構造とした。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ等の構成変更等をすることなく、また真空ポンプ等の機械的劣化を引き起こすことなく、稼働停止後における真空ポンプの確実な再起動を容易に可能とし、信頼性の高い真空処理を実現する制御装置及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、例えば制御部３に対して外付けで着脱自在に接続されるものであり、制御部３の補助真空ポンプ２の稼働制御に言わば割り込んで、回転停止期間内において、上記した停止期間運転モードを挿入し、当該停止期間運転モードを実行する。停止期間運転モードでは、回転停止期間内において、補助真空ポンプ２のロータ１２の１回又は複数回の間欠運転が規定されている。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ配管の洗浄メンテナンスの際に生じうるシロキサンの爆発的な反応を防止し、誰でも安全に真空ポンプ配管の洗浄を行えるようにし、また、洗浄メンテナンスの段取り作業を簡単かつスムーズに行えるようにした真空ポンプ配管構造と、その真空ポンプ配管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】真空ポンプ配管４に給水ポート６１を設ける。真空ポンプ配管４を真空ポンプＰから取り外して洗浄する前に、給水ポート６１から真空ポンプ配管４へ直接水を供給し、この供給水と真空ポンプ配管４内部のシロキサンとの反応によりシロキサンの爆破性を除去した後、真空ポンプ配管４を取り外し洗浄する。 （もっと読む）

ポンプのロータ（１４）を支持するポンプインサート（５０）は、ポンプボディ（２６）と係合する環状の弾性支持体（５２）を備え、弾性支持体（５２）は、転がり軸受（１０）のまわりに延びており、転がり軸受（１０）は、ロータ（１４）と係合するインナーレース（１２）と、弾性支持体（５２）に固定されて軸方向に予め負荷がかけられたアウターレース（１６）と、それらレースの間に配置された複数の転がり要素（１８）とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空気密なハウジング(12)と、ハウジング(12)内の電気部品(14,16,18) とハウジングの外側との間の電気接続を形成するための気密な電気的導出部(20)とを有する真空ポンプ(10)に関する。導出部(20)は、ハウジング開口部(22)と、開口部に固定されたシーリング化合物体(24)と、シーリング化合物体(24)内の電気線と、ハウジング開口部(22)の開口縁とシーリング化合物体(24)との間のシーリング環(26)と、シーリング化合物体(24)をハウジング(12)に固定するための固定手段(32)とによって形成されている。
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【課題】排気対象装置および回転式真空ポンプの破損を防止する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１の吸気口フランジ１３ａと真空装置のフランジ１６とをボルト１５で締結する。吸気口フランジ１３ａのボルト孔１４は、長穴形状であり、その長手方向が吸気口フランジ１３ａの円周の接線方向と略一致するように吸気口フランジ１３ａの周縁近傍に設けられている。ボルト孔１４に発泡金属からなる緩衝部材３０を配設する。ターボ分子ポンプ１の不具合により、衝撃力が発生した場合、吸気口フランジ１３ａからボルト１５に作用する衝撃力を緩衝部材３０で受け止める。これにより、ボルト１５にかかる剪断応力と、装置側のフランジ１６に伝達される運動エネルギーをともに減少させることができるので、ボルト１５の破断や装置側の破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置および回転式真空ポンプの破損を防止する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１の吸気口フランジ１３ａと真空装置のフランジ１６とをボルト１５で締結する。吸気口フランジ１３ａのボルト孔１４は、長穴形状であり、その長手方向が吸気口フランジ１３ａの円周の接線方向と略一致するように吸気口フランジ１３ａの周縁近傍に設けられている。ボルト孔１４に板状の部材が複数積層された積層板３０を配設する。ターボ分子ポンプ１の不具合により、衝撃力が発生した場合、吸気口フランジ１３ａからボルト１５に作用する衝撃力を積層板３０で受け止める。これにより、ボルト１５にかかる剪断応力と、装置側のフランジ１６に伝達される運動エネルギーをともに減少させることができるので、ボルト１５の破断や装置側の破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】磁極位置を正しく検出し、センシング部材の回転軸に対する位相調整を容易とする。
【解決手段】真空ポンプ１は、回転翼１４が形成されたロータ１３の回転により吸排気を行う真空ポンプにおいて、ロータを回転支持する回転軸１６と、回転軸を回転駆動するモータ２０と、モータの磁極位置を検出するためのセンシング部材２を有し、回転軸とセンシング部材とを軸方向で結合する結合部材３を備える。結合部材３は、その一端に回転軸の端部を固定し、他端にセンシング部材２を回転軸の回転方向の位相位置を調整自在とする。これによって、結合部材３とセンシング部材２との間の位相調整を行い、センシング部材２が備える検出部位とモータの磁極位相との位置合わせを可能とする。
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