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Fターム[3H131BA11]の内容

非容積形送風機 (1,972) | 真空ポンプの構成の目的 (607) | 制御 (89)

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【課題】真空チャンバーの漏れ(リーク)の有無を判定するためには、ターボ分子ポンプの稼働を停止させてリークディテクタを接続しなければならないので、余分な手間を招来するという問題があった。
【解決手段】モータ制御部84は、ブラシレスモータ6に供給する電流を一定値に維持する。タイマ89は、モータ制御部84により一定の電流値が維持されている期間中の時間を計測する。回転数センサ13は、モータ制御部84により一定の電流値が維持されている期間中のモータ回転速度を測定する。漏れ判定処理部86は、タイマ89により計測された時間と、回転数センサ13により測定された最大回転速度と最小回転速度との回転速度差とに基づいて、ターボ分子ポンプ吸気口側に接続されている真空チャンバー2の漏れ判定を行う。 (もっと読む)


【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット20はモータ6のモータステータが設けられたポンプベース4を有し、コントロールユニット30は、モータステータが設けられたポンプベース4との間に隙間領域Sを形成するようにポンプベース4の底面に固定されたケース(ベース板32およびケーシング33)を有している。電子部品304が実装された基板301,302は、隙間領域Sに対面するケース壁部であるベース板32の内周面に固定されている。そして、ファン34により隙間領域Sに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板32の部分から効果的にケース外に放熱される。 (もっと読む)


【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース12はフランジ12aの貫通孔51に挿通された締結部材61により外部装置の第1の取付部材91に締結される。上ケース12に締結された第1のベース14はフランジ14bの貫通孔52に挿通された締結部材63により外部装置の第2の取付部材92に締結される。制御ユニット70は締結部材65により第2のベース15に締結される。締結部材65にはロータ30の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材65および制御ユニット70のケースを、強度が小さいものとすることができる。 (もっと読む)


【課題】生成物付着防止温度までの昇温時間を短縮することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、排気機能部が形成されたロータがモータ6により回転駆動されるポンプ本体と、ポンプ本体を加熱するヒータ55と、ポンプ本体の温度を検出する温度センサ44と、温度センサ44の検出情報に基づいて、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となるようにヒータ55の通電を制御する制御回路302と、ヒータ55の通電が開始されると、同期駆動制御から、同期タイミングから所定位相角だけ遅れたタイミングで駆動制御するモータ発熱制御へ移行し、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となったならばモータ発熱制御から同期駆動制御へ戻るように、モータ6を駆動制御するモータ駆動回路303と、を備える。このようにモータ6を駆動制御することにより、ポンプ本体の昇温時間を短縮できる。 (もっと読む)


【課題】ポンプ分離履歴を容易に検出することができ、安全な状態に管理することが容易にできる電源一体型真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット20とコントロールユニット30とが分離可能に固定された電源一体型真空ポンプにおいて、ポンプユニット20は、分離判定用データが記憶されたRFICタグ44を備え、コントロールユニット30は、RFICタグ44に記憶されたデータを読み取るリーダ35と、リーダ35によるデータの読み取りができなかったときに分離情報として分離フラグONを保持する記憶部35aとを備え、主制御部31は電源投入時に記憶部35aに分離フラグONが保持されている場合に、ポンプユニット20の起動を禁止する。 (もっと読む)


【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ30を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ30を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における2対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、2対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ30が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ30の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ20と、ロータを回転させる駆動装置38、40と、ロータを支持するための軸受44、50と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット134と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット132と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 (もっと読む)


【課題】小型化を図ることができるラジアル磁気軸受装置の提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受装置は、ロータに固定されたシャフト3を磁気的に非接触支持するラジアル電磁石と、変位センサと、ラジアル電磁石の電流を制御する磁気軸受駆動制御部と、を備えている。そして、ラジアル電磁石は、ロータのシャフト3を挟むように対向配置された一対のN極用凸部52xp、52xmおよびシャフト3を挟むように対向配置された一対のS極用凸部52yp、52ymが形成された環状のコア50と、一対のN極用凸部52xp、52xmおよび一対のS極用凸部52yp、52ymの各々に巻き回された4つの電磁石コイル53と、を有している。磁気軸受駆動制御部は、変位センサの検出値に基づいて、一対のN極用凸部52xp、52xmから出た磁束線が一対のS極用凸部52yp、52ymへと入るように4つの電磁石コイル53に流れる電流を制御する。 (もっと読む)


【課題】回転始動性に優れた真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータ4を磁気浮上させる磁気軸受3と、磁気軸受3の励磁電流を制御してロータ4の浮上位置を制御する軸受制御部8と、ロータ4に固定され、永久磁石を有するモータロータと、モータロータを回転駆動するモータステータと、磁気軸受3によりロータ4を軸受中心位置から所定径方向に偏心させ、かつ、モータステータにより所定径方向を向いた固定磁界を発生させて、ロータ4の回転方向の角度を調整する主制御部9と、主制御部9は回転方向の角度が調整されたロータ4を、所定径方向に偏心した状態から軸受中心位置に戻し、モータ制御部7は軸受中心位置に戻されたロータ4を回転させるための回転磁界をモータステータにより発生させる。 (もっと読む)


【課題】ガスの流量の変化が広範囲であっても、広範囲の圧力制御が可能な排気装置の制御方法及び排気装置の制御装置を提供する。
【解決手段】真空装置50に設けられた複数の排気装置A〜Dの制御方法であって、前記真空装置50に導入するガスの流量が少なくなるほど、連動して制御する排気装置の数を減らし、非連動に制御する排気装置の数を増やすように前記複数の排気装置A〜Dの連動又は非連動の状態を設定する設定工程と、前記設定された状態で、前記複数の排気装置Cのうちの少なくともいずれかを使用して前記真空装置50を排気する排気工程と、を含むことを特徴とする排気装置の制御方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第1のコネクタ部材と制御ユニット側の第2のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第1のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第1の取り付け位相および第2の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 (もっと読む)


【課題】ロータの回転方向を検出することができる真空ポンプ。
【解決手段】モータ36により回転駆動されるロータ30に所定のキュリー温度を有する磁性体11を設け、ロータ30の回転に伴って、ロータ30の磁性体11が設けられた領域と磁性体11が設けられていない領域とに交互に対向するように温度センサ10を設ける。温度センサ回路43bからは、ロータ1回転当たりのパルス数が前記第1のパルス列信号と等しい第2のパルス列信号が温度センサ回路43bから出力される。また、ロータ30の回転と同期した第1のパルス信号を出力する回転センサ回路43aを設けた。温度センサ回路43bは、温度センサ10が磁性体11と対向しているときの第2のパルス信号の出力レベルの変化に基づいて、ロータ30の温度を推定する。そして、正逆判定回路44、第1のパルス信号のパルス発生パターンと第2のパルス信号のパルス発生パターンとに基づいてロータの回転方向を検出する。 (もっと読む)


【課題】ポンプ内部の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】ターボ用コントローラ50は、定格回転数のDCモータ42の電流値が所定の閾値を超えたか否かを判断する。閾値は、反応生成物がターボ分子ポンプ本体1に流入した際の、ターボ分子ポンプの負荷に対応しており、電流値と閾値との比較によって、反応生成物流入を常時監視し得る。反応生成物のターボ分子ポンプへの流入が開始すると、電流値は急激に上昇し、閾値を超える。内部温度がポンプ設定温度閾値以上であれば、反応生成物の堆積は生じることはないが、ポンプ設定温度閾値未満であれば堆積が生じる可能性がある。そこで、ターボ用コントローラは、定格回転数運転時に電流値が閾値以上となり、かつ内部温度が閾値未満のときに、インターロック動作を実行する。 (もっと読む)


【課題】効率的にステータを昇温させることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータ2の排気上流側に形成された複数段の回転翼8、および複数段の回転翼8に対して交互に配設された複数段の固定翼9とで構成されるターボポンプ部と、ロータ2の排気下流側に形成された円筒状ロータ部12、および円筒状ロータ部12の外周側に隙間を介して配置された円筒状のネジステータ11とで構成されるドラッグポンプ部と、を備える。そして、ネジステータ11に、ステータ加熱用のヒータ22が埋め込まれている。ネジステータ11はヒータ22により直接加熱されるので、ネジステータ11を効率的に昇温させることができる。 (もっと読む)


【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ41とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源60からヒータ41へ供給される電流とヒータ41から外部電源60に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ41の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源60からの電力をヒータ41に供給する電力ライン上に設けられたリレー54を開いてヒータ41への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー54の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー54を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 (もっと読む)


【課題】ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムの電源遮断の場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステムを提供すること。
【解決手段】ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプとを備え、交流電源50からの交流電力を直流電力に変換し、ターボ分子ポンプ用インバータ回路42と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路40により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機46、ドライ真空ポンプ駆動用電動機44に供給する真空ポンプシステムであって、運転中に交流電源50が遮断した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機46で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路42を介して直流電力に変換し、ドライ真空ポンプ用インバータ回路40を介してドライ真空ポンプ駆動用電動機44に供給する。 (もっと読む)


本発明は、以下のステップを備える、真空ポンプのロータの回転の故障を予測する方法に関する:
− 真空ポンプの機能信号の経時的な変化に関連するイベントシーケンスが記録されるステップ101と、
− 少なくとも1つのイベントシーケンス、およびその記録されたイベントシーケンス内の真空ポンプ挙動モデルの少なくとも1つの事前に確立された結合規則の発生原因の間で一致が探求されるステップであって、前記事前に確立された結合規則の発生原因がロータの回転の故障を含む、ステップ102と、
− その期間中にロータの回転の故障が真空ポンプ内で生じることになる時間予測ウィンドウが推定されるステップ103。
本発明はまた、以下を備えるポンプ装置に関する:
− 少なくとも1つのロータおよび1つのポンプ本体を備える真空ポンプ7であって、前記ロータが前記ポンプ7のモータによって前記ポンプ本体内で回転駆動される可能性をもつ、真空ポンプ7と、
− 前記ポンプ7の機能信号センサ9と、
− その期間中にロータの回転の故障が真空ポンプ7内で生じることになる時間予測ウィンドウを予測する手段10であって、前記機能信号センサ9によって提供される測定結果に基づいてその予測時間ウィンドウを計算する、予測の手段10。
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【課題】外部装置により制御やモニタをするような使い方をする場合において、使い勝手の良い真空ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成された回転体をモータ11により高速回転して真空排気するポンプ本体1と、モータ11を駆動制御する電源装置2とを備える真空ポンプであって、電源装置2は、外部装置3によりポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うための通信インターフェース24と、通信インターフェース24を介してポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うためのソフトウェアを、予め記憶保持している記憶媒体23とを備え、記憶媒体23に記憶保持されたソフトウェアを、通信インターフェース24を介して外部装置3に出力することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】回生ブレーキ抵抗の設置スペース効率を向上して、電源装置の小型化を図る。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータに設けられた回転翼、回転翼と協働して真空排気する固定翼、およびロータを駆動するモータを少なくとも有するポンプ本体と、モータを回生駆動するときに発生する回生電流を回生ブレーキ抵抗14hで熱エネルギに変換するモータ駆動回路を含む制御装置14と、制御装置14を冷却する冷却装置13とを備える。回生ブレーキ抵抗14hを棒状発熱抵抗体とし、この発熱抵抗体を、制御装置筐体140が冷却装置13と接する端部14aの内周面に沿って引き回す。 (もっと読む)


【課題】結露発生時にはターボ分子ポンプを自動的に停止させることができるターボ分子ポンプ駆動制御用電源装置の提供。
【解決手段】電源回路40は、電源電圧を複数の抵抗器401,402で分圧して帰還電圧を取り出し、その帰還電圧が所定の基準電圧V0と等しくなるように電源電圧を制御する。そして、電源電圧出力と帰還電圧の取り出し位置との間に、すなわち電源出力側の抵抗器401と並列に結露センサ44を設ける。結露センサ44は隙間dで配置された一対の電極441,442を備え、結露の発生によりその絶縁抵抗が低下する。その結果、電源電圧が基準電圧V0付近まで低下して電源回路40はシャットダウン状態となり、ターボ分子ポンプの運転は自動的に停止される。 (もっと読む)


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