【課題】ロータの回転方向を検出することができる真空ポンプ。
【解決手段】モータ３６により回転駆動されるロータ３０に所定のキュリー温度を有する磁性体１１を設け、ロータ３０の回転に伴って、ロータ３０の磁性体１１が設けられた領域と磁性体１１が設けられていない領域とに交互に対向するように温度センサ１０を設ける。温度センサ回路４３ｂからは、ロータ１回転当たりのパルス数が前記第１のパルス列信号と等しい第２のパルス列信号が温度センサ回路４３ｂから出力される。また、ロータ３０の回転と同期した第１のパルス信号を出力する回転センサ回路４３ａを設けた。温度センサ回路４３ｂは、温度センサ１０が磁性体１１と対向しているときの第２のパルス信号の出力レベルの変化に基づいて、ロータ３０の温度を推定する。そして、正逆判定回路４４、第１のパルス信号のパルス発生パターンと第２のパルス信号のパルス発生パターンとに基づいてロータの回転方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ及び真空槽の状態の良否を正確に判断する方法を提供する。
【解決手段】真空処理前に、真空槽１０に主、副真空ポンプ１２、１１を接続し、動作させて真空排気を行い、主、副真空ポンプ１２、１１の排気圧力範囲内にある圧力の値を基準の圧力として記憶装置１８に記憶し、設定した基準の圧力での基準用の排気速度を予め求め、基準用の排気速度より小さい値を閾値として設定しておく。真空処理を行うために、主、副真空ポンプ１２、１１を動作させて真空排気し、予め設定した基準の圧力での排気速度を求め、求めた排気速度としきい値とを比較して、求めた排気速度がしきい値以上なら主、副真空ポンプ１２、１１を含む真空槽１０の状態を良と判断し、求めた排気速度がしきい値より小さいなら主、副真空ポンプ１２、１１を含む真空槽１０の状態を良好な状態でないと判断する良否判別方法。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスを抑制し、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確な設定を行う。
【解決手段】複数のターボ分子ポンプ装置は、それぞれターボ分子ポンプＴＢと、各ターボ分子ポンプの駆動をそれぞれ制御する複数の電源装置ＣＲとを有する。任意の１台の電源装置１１３は、ターボ分子ポンプ１１４の駆動制御のための制御情報を設定するとともに、通信ケーブル１０７を介して他の電源装置１２３，１３３に入力値を送信する。他の電源装置１２２，１３３は、受信した入力値をターボ分子ポンプＴＢの駆動制御のための制御情報として設定する。 （もっと読む）

【課題】
ターボ分子ポンプの故障（動翼の破壊）時期を予測すること。
【解決手段】
ロータ室２内に静翼３を設け、動翼５を取り付けたロータシャフト４ａを、ラジアル磁気軸受７ａ，７ｂとスラスト磁気軸受８とを介して前記ロータ室２内で回転可能に支持し、前記ロータシャフト４ａを高速回転させるモータ１１をポンプＰ内に備えたターボ分子ポンプＰにおいて、前記ロータシャフト４ａの振動を検出する変位センサ７ｂ’と、前記振動がパルス的な変動であるか否かを認識する制御部と、前記制御部で認識したパルス的な変動がターボ分子ポンプの故障の要因となる軸変位であると認定する第２の制御部と、前記第２の制御部が認定した故障の要因となる軸変位の回数をカウントする積算手段とを具備していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速の回転機械のロータの温度や他の作動パラメータを測定するための、簡単で費用のかからない構造の非接触装置を提供する。
【解決手段】高速回転機械、特にターボ分子真空ポンプ100のロータの少なくとも温度を測定するための非接触装置は、ポンプ100のロータ101に取り付けられた少なくとも1つの磁気カプセル10を備えている。カプセル10は、永久磁石2と、測定されることになる最高温度よりもわずかに高いキュリー温度および温度に強く依存する透磁率を有する強磁性の材料からなる少なくとも1つのパステル3とを備えている。パステルは、磁石2により生成される磁場を変化させることを意図している。ポンプ100のステータ102に支持された検知器4は、カプセルが検知器の前を通過したときはいつでも、ロータの温度に従って変化しカプセル10により生成される磁場を表すパルスを発生させる。 （もっと読む）

本発明は半導体処理に使用するためのポンプ装置に関する。装置はほぼ分子圧からほぼ大気圧へ物質流れを移行させるように形状づけられた単一のポンプを有することができる。 （もっと読む）

【課題】 ターボ分子ポンプの温度上昇勾配を変化させることができて、ターボ分子ポンプの損傷を防止できるターボ分子ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 温度センサ３は、ターボ分子ポンプ１の温度を検出して信号を第２制御部１２に出力する。また、第１制御部１１は、ターボ分子ポンプ１に内蔵されている機種判別抵抗に一定の電圧を印可して、その抵抗値を検出することにより、ターボ分子ポンプ１の機種を検出して目標温度および温度上昇勾配を設定して、信号を第２制御部１２に出力する。また、第２制御部１２は、温度センサ３からの信号と、第１制御部１１からの信号を受けて、ヒータ７の電源をオンオフ制御して、ターボ分子ポンプ１が上記目標温度に到達するまで、ターボ分子ポンプ１の温度を、上記温度上昇勾配に略沿うように上昇させるようになっている。 （もっと読む）