【課題】 ポンプ本体の大型化を招くことなくポンプ本体と制御部とを一体化することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 モータ８や磁気軸受を構成する電磁石６１〜６３等が設けられたベース２に電源収納部２１を形成し、その電源収納部２１に電源制御部を構成するＤＣ電源部やインバータ部や軸受駆動回路等をそれぞれ収納するようにした。電源収納部２１は、従来利用されていなかったベース２の電磁石６３を含むアキシャル磁気軸受部分を囲む領域に形成されているため、ポンプ本体を大型化することなくポンプ本体と電源部とを一体化することができる。 （もっと読む）

本発明による真空ポンプ(100)は、第１のポンプセクション(106)と、その下流側に位置する第２のポンプセクション(108)と、第１のポンプ入口(120)と、第２のポンプ入口(122)を有する。第１のポンプ入口(120)を通って真空ポンプ(100)に流入した流体は、第１のポンプセクション(106)と第２のポンプセクション(108)の両方を通過してポンプ出口(116)に向かって流れる。第２のポンプ入口(122)を通って真空ポンプ(100)に流入した流体は、第２のポンプセクション(108)のみを通過してポンプ出口(116)に向かって流れる。第２のポンプセクション(108)は、少なくとも１段のターボ分子ポンプ送り段(109a,109b)と、その下流側に位置する雄ねじ形ロータ(109c)を有する。
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【課題】ロータやステータが高温になっても、ポンプの排気や圧縮等の性能を向上させるとともに、ポンプの小型化と必要な動力も最少にすることができるようにした真空ポンプを提供する。
【解決手段】複数のローブ７２を軸方向に沿って多段に配置した一対のロータ７４を、該ローブ７２を互いに近接させて互いに平行にポンプケーシング７６内に配置した真空ポンプにおいて、ポンプケーシング７６は、ロータ７４の軸方向に移動自在で、ローブ７２の周囲を包囲して該ローブ７２との間でガス排気部を構成するケーシング７６ｄを備え、ローブ７２とケーシング７６ｄとの間のロータ７４の軸方向に沿った距離を、ロータ７４の回転中にケーシング７６ｄをロータ７４の軸心方向に沿って移動させて調整する距離調整機構８８，９９を有する。 （もっと読む）

【課題】 回転体４が腐蝕によって破断しフランジ部に衝撃エネルギーが発生してもボルトが変形することはなく、フランジ部の離脱が生じないフランジを提供する。
【解決手段】 フランジ１２に穿設されたボルト１３用の貫通孔１２Ｈに連接し、かつ貫通孔１２Ｈの中心を通るピッチ円の円周方向における両側の近傍に凹部１２Ｋが設けられている。凹部１２Ｋはフランジ１２の端面側から座ぐり加工等にて穿設された凹部空間で貫通孔１２Ｈとは重なり合う形で連接されフランジ１２の厚さ全域の深さではなく、下方に肉薄部１２Ｎを残存させた構成となっている。貫通孔１２Ｈの径が円周方向にそのまま移動した形の楕円形状を呈している。貫通孔１２Ｈに連接して凹部１２Ｋが形成されている。この凹部１２Ｋにより残存する肉薄部１２Ｎが衝撃エネルギーを受けたとき圧砕される。この変形現象で衝撃エネルギーの吸収が行われるが、この際ボルト１３は曲折は生起しない。 （もっと読む）

【課題】 吸気口フランジを介した熱流入があっても、ロータ温度の上昇を低減することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 ターボ分子ポンプ１は、ケーシング１３内に、複数段の動翼８が形成されたロータ２と、スペーサ１０Ａ，１０Ｂにより保持された静翼９を備えている。積層されたスペーサ１０Ａ，１０Ｂは、ケーシング１３の係止部１３ｂとベース４との間に挟持されている。スペーサ１０Ｂの下側のスペーサ接触面には溝１００が複数形成されていて、凹凸面となっている。そのため、スペーサ１０Ｂと下側のスペーサ１０Ａとの接触面積が減少し、スペーサ１０Ｂからスペーサ１０Ａへの熱伝達が抑制される。その結果、スペーサ１０Ｂより下側のスペーサ１０Ａおよび静翼９の温度上昇が抑えられ、それらからの輻射熱によるロータ２の温度上昇を抑制できる。 （もっと読む）

本発明による真空ポンプ(100)は、長手方向軸線(107)周りに延びる環状ポンプチャンバ(112,114,116)を備えたポンプ機構を有する。流体は、ポンプ機構によってり環状ポンプチャンバ(112,114,116)の中を通ってポンプ送りされる。ポンプ機構から離れて位置するプレナム(126)が、ポンプ機構によってポンプ送りすべき流体を受け入れる入口(128)と、長手方向軸線(107)周りに配置され且つ流体を環状ポンプチャンバ(114,116)に供給する複数個の出口(132)とを有している。
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本発明によるポンプ装置は、複合ポンプ(100)を有し、複合ポンプ(100)は、第１チャンバ(10)に連結された第１入口(130)と、第２チャンバ(14)に連結された第２入口(132)と、第１ポンプセクション(106)と、その下流側に位置する第２のポンプセクション(108)とを有する。複合ポンプ(100)に第１入口(130)から入った流体は、第１及び第２ポンプセクション(106,108)を通り、第２入口(132)から入った流体は、第２ポンプセクション(108)だけを通る。ポンプ装置は、更に、第３チャンバ(11)に連結されたブースタポンプ(140)と、それに連結されたバッキングポンプ(142)とを有し、これらのポンプのいずれかに、複合ポンプ(100)から排出された流体を移動させる。
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摩擦真空ポンプ（１０）が、羽根なしポンプステータを形成するケーシング（１２）と、ロータ駆動装置と、羽根（１８）を有するポンプロータ（１６）を回動可能に保持するロータ支承部とを有していている。ケーシング（１２）は、ポンプロータ（１６）とロータ駆動装置とロータ支承部との軸線方向の全長を取り囲んでいる。公知先行技術によるケーシングは、複数の部分から構成されていて、したがってケーシング部分の間にはシールを有している。シールは不完全に被層可能であり、シールは不密性の個所でありまたはそうなり得る。これに対して本発明によるケーシング（１２）は、一体に形成されているので、ケーシング（１２）の、いずれにせよ真空ガスと接触している領域はシールなしである。
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【課題】 ポンプ本体と制御装置とを一体化した真空ポンプにおける、制御装置内部の結露を抑制すること。
【解決手段】 ベース３の底部（ステータコラム２１の底部）に、ポンプ本体を冷却するための冷却管２６を配設する。そして、この冷却管２６による冷却の影響を受けないようにするために、制御装置２４を断熱部材２７を介してポンプ本体に取り付ける。このように断熱部材２７を配設することにより、ポンプ本体と制御装置２４とを熱的に絶縁することができる。そのため、ポンプ本体が冷却管２６の作用で露点以下まで冷却される場合であっても、制御装置２４の内部の温度は低下することがない。従って、制御装置２４内において、大きな温度差が生じる状態を回避することができる。これにより制御装置２４内の結露の発生を抑制することができる。
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【課題】低消費動力、小型でありながら短時間に高真空が得られる大気圧排気の真空ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部２、再生ポンプ部４、ネジ溝ポンプ部３の順に配設され、これらのポンプ部の各ロータ５、２０１、４０１、３０１は第１の駆動モータ６の出力軸６Ａに直結されて回転駆動され、円周流ポンプ部９のロータ９０３は第２の駆動モータ１０の出力軸１０Ａに直結されて回転駆動される。排気経路は、真空チャンバから真空ポンプのターボ分子ポンプ部２、ネジ溝ポンプ部３、再生ポンプ部４、円周流ポンプ部９の順の経路で大気へと排気されるようになっている。排気を始めるときは、先ず、第２の駆動モータ１０を駆動して円周流ポンプ部９を運転し、ターボ分子ポンプ部〜再生ポンプ部の気圧を低真空状態にする。この状態で、第１の駆動モータ６を起動してターボ分子ポンプ部〜再生ポンプ部の運転を開始する。分子ポンプ部〜再生ポンプ部は大気圧よりもはるかに気圧が低下しているから、抵抗が少なくて消費動力が少なく、第１の駆動モータは小型のものが使用でき、その発熱も少ない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空ポンプにより発生した振動のプロセスチャンバ等への伝播を防止するのに好適なダンパ及び真空ポンプを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のダンパは、真空ポンプと連接する第１連結部と、この真空ポンプにより排気される装置と連接する第２連結部と、上記第１連結部と一端が固着され他端が上記第２連結部と固着されたベローズと、上記第１連結部と上記第２連結部との間に挿入された防振部とを有している。この防振部は中空部を有するとともに、この中空部には流動体が充満されている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ＴＭＰを付帯するバイパス管路及び弁類と一体化して、単一のサブアッセンブリが製作されるようにすることに関する。ＴＭＰのハウジングは、高真空システムを構築するのに必要な関連機器を収容するために大幅な改造が施されている。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を解消する、きわめて高い排気速度を有する真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、１つのフランジ（２）と、少なくとも２つのガス流入開口（４）と、少なくとも１つのガス流出開口（５）と、少なくとも２つのロータ軸（６）であって、ロータ軸（６）はそれぞれ回転ポンプ作用構造部分（７）を支持し、回転ポンプ作用構造部分（７）はそれぞれ固定ポンプ作用構造部分（８）と向かい合っている前記ロータ軸（６）と、少なくとも１つのハウジング下部部分（９）と、フランジ（２）を支持するハウジング上部部分（１０）と、ロータ軸（６）を回転させる駆動手段（１１）とを有する真空ポンプ（１）に関するものである。全てのガス流入開口（４）がフランジ（２）の内部に存在し、およびフランジ（２）が共通ハウジング上部部分（１０）に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 排気ガスが凝着するのを防止するための加熱装置をねじ溝真空ポンプ部に設けた複合分子ポンプにおいて、該加熱装置の熱がターボ分子ポンプ部を有する上部ケーシング及びベアリングハウジング部を有する下部ケーシングに熱伝導により伝達されるのを防止する。
【解決手段】 ターボ分子ポンプ部２の外周を覆う上部ケーシング４と、ねじ溝真空ポンプ部のステータ３ａ、３ｂを具備すると共にヒータ１０ａを具備した中間ケーシング７と、該中間ケーシング７に連設され当該複合分子ポンプ１のベース部を成している下部ケーシング８とからなる３段構造のケーシングを有する複合分子ポンプ１を形成し、前記上部ケーシング４と中間ケーシング７との接続部Ａには断熱材製ワッシャ１１ｂ、１１ｃ及び柱状断熱部材１２を周方向に断続的に介在させ、又、中間ケーシング７と下部ケーシング８との接続部Ｂには断熱材製ワッシャ１４ｂを周方向に断続的に介在させた。 （もっと読む）

【課題】 ボルトの変形により吸気口フランジの移動が効果的に抑制されるとともに、加工の容易なボルト孔を有するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 ボルト孔１４は、ボルトヘッド側の開口がロータ回転方向にずれるように、角度θだけ傾けて形成されている。そのため、吸気口フランジ１３ａがロータ回転方向に移動してボルト１５の軸に当接した場合、軸の領域Ｈ２の部分は非拘束状態となる。ポンプ異常状態時における衝撃力Ｆによって吸気口フランジ１３ａが左側に移動すると、ボルト１５の領域Ｈ２の部分が左側に曲がるように変形し、衝撃のエネルギーはボルト変形による歪みエネルギーとして吸収される。 （もっと読む）

使用中、イオンが経路に沿って運ばれる第１及び第２の圧力チャンバを有する質量分光計を備えた差動排気質量分光計システム。チャンバ（62,66,68）を差動排気するポンプ組立体（10）は質量分光計に取付けられる。ポンプ組立体は、質量分光計に取付けられたハウジング（12）と、ハウジングに挿入されたカートリッジ（14）を有する。カートリッジは、それぞれの圧力チャンバ（62,66,68）から流体を各々受け入れる複数の流入口（16,18,20）と、チャンバから流体を差動排気する排気機構（30,32,34）を有する。カートリッジは、排気機構（10）がイオン経路（76）に対して傾けられるように、しかし少なくとも１つの流入口（16,18）がイオン経路を横切ることなく、少なくとも部分的にそれぞれの圧力チャンバ（62,66）内に突入する程度まで質量分光計内に突入してハウジングに挿入される。 （もっと読む）

ロードロック室を排気するための真空排気装置を説明する。ブースタポンプが、分子ドラッグ段と、多段遠心コンプレッサ機構とを有する。補助ポンプが、流体を大気圧で又は約大気圧で排気するための多段遠心コンプレッサ機構からなる。かかる装置は、在来のロードロック排気装置と関連した騒音、大きさ、及び振動レベルを下げることができる。
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少なくとも１つのターボ圧縮機段（１１）を有する多段式の摩擦真空ポンプは、ターボ圧縮機段の吐出し側にサーキュラ圧縮機段（３３）を備えている。このサーキュラ圧縮機段（３３）は僅かな軸方向の寸法を有している。このサーキュラ圧縮機段（３３）によって、スペース要求が著しく高められる恐れなしに、圧縮が増大させられる。
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差圧ポンプ型質量分光計システムは、複数の圧力チャンバを有する質量分光計と、質量分光計に取付けられかつ少なくとも３つのポンプ入口を有する真空ポンプと、第一ポンピングセクションと、第一ポンピングセクションから下流側の第二ポンピングセクションと、第二ポンピングセクションから下流側の第三ポンピングセクションとを備え、比較的低圧の第一チャンバからの出口が第一ポンプ入口に連結されており、第一ポンプ入口を通って流体が第一チャンバからポンプに流入しかつ第一ポンピングセクション、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションだけを通ってポンプ出口へと流れることができる。分光計の第二中間圧力チャンバが第二ポンプ入口に連結され、第二ポンプ入口を通って流体がポンプに流入できる。分光計の第三の最高圧力チャンバの出口が第三ポンプ入口に連結され、第三ポンプ入口を通って流体がポンプに流入することができ、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションを通過する。第三ポンピングセクションの少なくとも一部だけがポンプ出口に向っている。バッキングポンプは、使用時に、分光計からポンピングされる流体質量の少なくとも９９％が、真空ポンプおよびバッキングポンプの両方を通って流れるようにポンプ出口に連結されている。
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真空ポンプは、分子ドラッグ排気機構と、再生排気機構と、を含む。分子ドラッグ排気機構のロータ要素は、再生排気機構のロータ要素を取り囲む。
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