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Fターム[3H131CA31]の内容

非容積形送風機 (1,972) | 真空ポンプの構成部材 (758) | ケーシング (80)

Fターム[3H131CA31]に分類される特許

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【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 (もっと読む)


【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース12はフランジ12aの貫通孔51に挿通された締結部材61により外部装置の第1の取付部材91に締結される。上ケース12に締結された第1のベース14はフランジ14bの貫通孔52に挿通された締結部材63により外部装置の第2の取付部材92に締結される。制御ユニット70は締結部材65により第2のベース15に締結される。締結部材65にはロータ30の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材65および制御ユニット70のケースを、強度が小さいものとすることができる。 (もっと読む)


【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置36は、排気マニホールド16の内部に配置され、TMP18に対向するように配置された円板状の第1の反射面部材41と、該第1の反射面部材41の周縁に配置され且つTMP18の回転軸43を指向するように面角度が設定された円環状の第2の反射面部材42とから成る反射板38を備える。 (もっと読む)


【課題】排気効率の低下を防止することができる粒子捕捉ユニットを提供する。
【解決手段】パーティクルPが飛来する空間に晒されるパーティクルトラップユニット40を構成する第1のトラップユニット40aは、複数の第1のステンレス鋼44aからなる第1のメッシュ状層44と、複数の第2のステンレス鋼45aからなる第2のメッシュ状層45とを備え、第1のステンレス鋼44aの太さは第2のステンレス鋼45aの太さよりも小さく、第1のメッシュ状層44における第1のステンレス鋼44aの配置密度は第2のメッシュ状層45における第2のステンレス鋼45aの配置密度よりも高く、第2のメッシュ状層45は第1のメッシュ状層44及びパーティクルPが飛来する空間の間に介在し、第1のメッシュ状層44及び第2のメッシュ状層45は焼結によって焼き固められて互いに接合している。 (もっと読む)


【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第1のコネクタ部材と制御ユニット側の第2のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第1のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第1の取り付け位相および第2の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 (もっと読む)


【課題】装置への低周波振動の伝送を回避する、及び/又は、ポンプ要素とハウジングとの間の相対運動を低減することにより運用寿命が延びる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ(10)には、ポンプハウジング(24)の外側面(22)に保持要素(36,38) が設けられている。保持要素(36,38) は、少なくとも1つの質量要素を支持するために設けられている。好ましくは真空ポンプ(10)の長手軸(34)に対して非対称的に配置された質量要素により、生じる振動が抑制され得る。 (もっと読む)


【課題】金属対金属の接触がないことで、高い減衰係数と、真空チャンバをポンプチャンバから電気的に絶縁することとが可能になる真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプ用の振動減衰器を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動減衰器101;201;301;401;501において、真空気密機能および振動減衰機能はともに、同一の構成要素により、特に、弾性材料(好ましくはエラストマー)製の1つ以上の環状リング216、131;326;426;526、531、541により果たされる。弾性リングは、真空ポンプが作動しておらず減衰器が大気圧であるときの、静止した第1条件から、真空ポンプが作動し減衰器が真空状態にあるときの、圧縮された第2状態へと移行する。この圧縮された第2状態で、弾性リングは、さらされている圧縮力のために、真空ポンプと、本発明に係る減衰器を介して同ポンプが接続されている真空チャンバとの間の金属対金属の接触を回避するような仕方で変形される。 (もっと読む)


【課題】ケース部材の吸気口側にロータ翼の直径より小さい絞り部が形成された構造において、異常により分裂したロータによるケース部材への衝撃を小さくする。
【解決手段】吸気口15を有する上ケース12内には、ロータ4に設けられたロータ翼4aとステータ翼6が多段に積層された翼排気部2が構成されている。ステータ翼6は上下に配置されたスペーサ5に挟まれて取り付けられる。最上段のスペーサ5の上面は、最上段のロータ翼4aの上面より吸気口15側に配置され、この最上段のスペーサ5上に上ケース12の絞り部12aの内面から離間して衝撃干渉部材20が設けられている。 (もっと読む)


【課題】ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のボルト孔210が形成された吸気口フランジ21bを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジ21bのシール面側にボルト孔210毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔210が形成された円形凹部212と、を備え、円形凹部212は、ボルト孔210に対して径方向内側および外側に形成される径方向ボルト変形スペースS2と、ボルト孔210に対してロータ回転逆方向に形成され、径方向ボルト変形スペースS2よりも大きな周方向ボルト変形スペースS1とを有する。 (もっと読む)


【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔14に挿入されるブッシュ部17aが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト15の軸とボルト孔14との間に隙間Gが形成される。その結果、吸気口フランジ13aに衝撃トルクが働いた場合にはボルト15の領域H2の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ16への衝撃の伝達を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも3つの第1排気部分(106)、第2排気部分(108)、第3排気部分(110)を含み、第3排気部分(110)は、第1及び第2排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構(112)及び再生排気機構(114)からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素(120)は、再生排気機構のロータ要素(122)を取り囲む。 (もっと読む)


【課題】部品点数の削減、および、組み付け作業の効率化を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼33の少なくとも一段は、周方向に接するように配置された複数の分割固定翼33a,33bで構成され、分割固定翼33a,33bは、周方向に並設された複数の翼ブレード330と、該複数の翼ブレード330の外周部が連結されて、該複数の翼ブレード330を所定位置に位置決めする円弧状のスペーサ部332とを備える。その結果、従来のスペーサリングを必要とせず、備品テンスの削減、および、組み付け作業性の向上を図ることができる。さらに、複数の分割固定翼をOリング40で互いに結合されているので、結合部における気体の逆流を低減することができる。 (もっと読む)


【課題】強い磁場内でも安全に運転することができて、周辺機器と干渉する心配がなく、分子ポンプ本体への固定にも問題がないような構造のシールド機能を有する分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部Tのロータの動翼2Aを囲むケーシング6Aとねじ溝ポンプ部Sの外部を覆うケーシング6Bとを軟磁性材料からなる一体のケーシング6にて形成すると共に、該ケーシング6の下方部をポンプ本体Pの下端部より下方に延長した。 (もっと読む)


【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ2の回転軸3を上側の第1玉軸受8aと下側の第2玉軸受8bで軸支する構造の分子ポンプ1において、該分子ポンプ1は第2玉軸受8bの外輪を保持するスリーブ9と、該スリーブ9の外周部に嵌着したOリング7cを介して該スリーブ9が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース6bとを有しており、これらスリーブ9とスリーブケース6bとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板11で連結したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第1の入口80および第2の入口82を有するハウジング40と、および第1のポンプ段60および第2のポンプ段70と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第1の入口80を通過して第1のポンプ段60内に到達するように、および、第2の入口82を通過して第2のポンプ段70内に到達したガスが、はじめに第2のポンプ段70により圧縮され、次に第1のポンプ段60により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第2のポンプ段70がホルベック(Holweck)ポンプ段を含むことが提案される。 (もっと読む)


【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ2と制御装置3とを外側面に具備する接続装置5において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体4の上面にこれら分子ポンプ2と制御装置3とを並設し、前記ベース体4との熱交換によってこれら分子ポンプ2及び制御装置3の冷却を行なうように形成した。 (もっと読む)


【課題】ねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のステータの温度を所定の高温に保つことができると共に排気ガス中の付着凝固性を有するプロセスガスが分子ポンプ内の排気ガス通路に凝着せず、しかも排気ガスの熱が該分子ポンプのベース部等に伝達することがなく、更に分子ポンプの全長を短くすることができるような構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部ロータ4bの外側にステータ3aを有するねじ溝ポンプ部3をベース部8上に立設して有する分子ポンプ1において、該ねじ溝ポンプ部3を囲繞するケーシング5と前記ステータ3aとの間に円筒状の排気ガス室6cを介在させると共に前記ケーシング5の側壁部5cに排気口5aを設けて、前記ねじ溝ポンプ部3の排気ガスが前記排気ガス室6cを介して前記排気口5aへ連通するように形成した。 (もっと読む)


【課題】公知技術の欠点を克服した真空ポンプと排気チャンバとの間の迅速かつ信頼性の高い連結を可能とした連結継手が望まれていた。
【解決手段】真空ポンプ35の吸気口25と、ポンプが連結されるべき構造体39の排気口65との間の機械的連結および真空シールの確立に適した真空ポンプ用の分割継手31である。分割継手は、真空ポンプの外部ケース、またはポンプが連結されるべき構造体に連結可能である複数のオス係合要素41;43を備えているオス継手33;37を含んでいる。オス係合要素は、対応するメス継手の対応するメス係合要素41;43との機械的連結を提供し、機械的連結は、オス継手33;37とメス継手37;33との間の相対的回転運動で達成される。 (もっと読む)


【課題】外乱によって電源装置の自重により発生する慣性トルクをトルク反力構造で受けることにより、締結部のボルト径を細くする。
【解決手段】ターボ分子ポンプ装置10は、ポンプ本体11と、ポンプ本体11を駆動制御する電源装置14と、ポンプ本体11と電源装置14との間に介在して電源装置14を冷却する冷却装置13とを有する。冷却装置13と電源装置14との間の締結部には、外乱により作用するトルクの反力を取るトルク反力構造を設ける。 (もっと読む)


【課題】排気速度の低下を抑えつつ、反跳パーティクルの逆流を防止するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】多段の回転翼32が形成され、高速回転するロータ30と、回転翼32に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼33と、回転翼32および固定翼33を収容し、吸気口21aが形成されたポンプハウジング34と、ロータ30の吸気口側に近接して設けられ、ロータ30の回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤150と、吸気口21aとロータ30との間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体153a,153bとを備え、ロータから吸気口側に反跳したパーティクルを、網目構造体153a,153bの内部に捕捉するようにした。 (もっと読む)


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