【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース１２はフランジ１２ａの貫通孔５１に挿通された締結部材６１により外部装置の第１の取付部材９１に締結される。上ケース１２に締結された第１のベース１４はフランジ１４ｂの貫通孔５２に挿通された締結部材６３により外部装置の第２の取付部材９２に締結される。制御ユニット７０は締結部材６５により第２のベース１５に締結される。締結部材６５にはロータ３０の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材６５および制御ユニット７０のケースを、強度が小さいものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】排気効率の低下を防止することができる粒子捕捉ユニットを提供する。
【解決手段】パーティクルＰが飛来する空間に晒されるパーティクルトラップユニット４０を構成する第１のトラップユニット４０ａは、複数の第１のステンレス鋼４４ａからなる第１のメッシュ状層４４と、複数の第２のステンレス鋼４５ａからなる第２のメッシュ状層４５とを備え、第１のステンレス鋼４４ａの太さは第２のステンレス鋼４５ａの太さよりも小さく、第１のメッシュ状層４４における第１のステンレス鋼４４ａの配置密度は第２のメッシュ状層４５における第２のステンレス鋼４５ａの配置密度よりも高く、第２のメッシュ状層４５は第１のメッシュ状層４４及びパーティクルＰが飛来する空間の間に介在し、第１のメッシュ状層４４及び第２のメッシュ状層４５は焼結によって焼き固められて互いに接合している。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第１のコネクタ部材と制御ユニット側の第２のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第１のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第１の取り付け位相および第２の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置への低周波振動の伝送を回避する、及び／又は、ポンプ要素とハウジングとの間の相対運動を低減することにより運用寿命が延びる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ(10)には、ポンプハウジング(24)の外側面(22)に保持要素(36,38) が設けられている。保持要素(36,38) は、少なくとも１つの質量要素を支持するために設けられている。好ましくは真空ポンプ(10)の長手軸(34)に対して非対称的に配置された質量要素により、生じる振動が抑制され得る。 （もっと読む）

【課題】金属対金属の接触がないことで、高い減衰係数と、真空チャンバをポンプチャンバから電気的に絶縁することとが可能になる真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプ用の振動減衰器を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動減衰器101；201；301；401；501において、真空気密機能および振動減衰機能はともに、同一の構成要素により、特に、弾性材料（好ましくはエラストマー）製の1つ以上の環状リング216、131；326；426；526、531、541により果たされる。弾性リングは、真空ポンプが作動しておらず減衰器が大気圧であるときの、静止した第1条件から、真空ポンプが作動し減衰器が真空状態にあるときの、圧縮された第2状態へと移行する。この圧縮された第2状態で、弾性リングは、さらされている圧縮力のために、真空ポンプと、本発明に係る減衰器を介して同ポンプが接続されている真空チャンバとの間の金属対金属の接触を回避するような仕方で変形される。 （もっと読む）

【課題】ケース部材の吸気口側にロータ翼の直径より小さい絞り部が形成された構造において、異常により分裂したロータによるケース部材への衝撃を小さくする。
【解決手段】吸気口１５を有する上ケース１２内には、ロータ４に設けられたロータ翼４ａとステータ翼６が多段に積層された翼排気部２が構成されている。ステータ翼６は上下に配置されたスペーサ５に挟まれて取り付けられる。最上段のスペーサ５の上面は、最上段のロータ翼４ａの上面より吸気口１５側に配置され、この最上段のスペーサ５上に上ケース１２の絞り部１２ａの内面から離間して衝撃干渉部材２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のボルト孔２１０が形成された吸気口フランジ２１ｂを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジ２１ｂのシール面側にボルト孔２１０毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔２１０が形成された円形凹部２１２と、を備え、円形凹部２１２は、ボルト孔２１０に対して径方向内側および外側に形成される径方向ボルト変形スペースＳ２と、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に形成され、径方向ボルト変形スペースＳ２よりも大きな周方向ボルト変形スペースＳ１とを有する。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減、および、組み付け作業の効率化を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼３３の少なくとも一段は、周方向に接するように配置された複数の分割固定翼３３ａ，３３ｂで構成され、分割固定翼３３ａ，３３ｂは、周方向に並設された複数の翼ブレード３３０と、該複数の翼ブレード３３０の外周部が連結されて、該複数の翼ブレード３３０を所定位置に位置決めする円弧状のスペーサ部３３２とを備える。その結果、従来のスペーサリングを必要とせず、備品テンスの削減、および、組み付け作業性の向上を図ることができる。さらに、複数の分割固定翼をＯリング４０で互いに結合されているので、結合部における気体の逆流を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】強い磁場内でも安全に運転することができて、周辺機器と干渉する心配がなく、分子ポンプ本体への固定にも問題がないような構造のシールド機能を有する分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部Ｔのロータの動翼２Ａを囲むケーシング６Ａとねじ溝ポンプ部Ｓの外部を覆うケーシング６Ｂとを軟磁性材料からなる一体のケーシング６にて形成すると共に、該ケーシング６の下方部をポンプ本体Ｐの下端部より下方に延長した。 （もっと読む）

【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のステータの温度を所定の高温に保つことができると共に排気ガス中の付着凝固性を有するプロセスガスが分子ポンプ内の排気ガス通路に凝着せず、しかも排気ガスの熱が該分子ポンプのベース部等に伝達することがなく、更に分子ポンプの全長を短くすることができるような構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部ロータ４ｂの外側にステータ３ａを有するねじ溝ポンプ部３をベース部８上に立設して有する分子ポンプ１において、該ねじ溝ポンプ部３を囲繞するケーシング５と前記ステータ３ａとの間に円筒状の排気ガス室６ｃを介在させると共に前記ケーシング５の側壁部５ｃに排気口５ａを設けて、前記ねじ溝ポンプ部３の排気ガスが前記排気ガス室６ｃを介して前記排気口５ａへ連通するように形成した。 （もっと読む）

【課題】公知技術の欠点を克服した真空ポンプと排気チャンバとの間の迅速かつ信頼性の高い連結を可能とした連結継手が望まれていた。
【解決手段】真空ポンプ３５の吸気口２５と、ポンプが連結されるべき構造体３９の排気口６５との間の機械的連結および真空シールの確立に適した真空ポンプ用の分割継手３１である。分割継手は、真空ポンプの外部ケース、またはポンプが連結されるべき構造体に連結可能である複数のオス係合要素４１；４３を備えているオス継手３３;３７を含んでいる。オス係合要素は、対応するメス継手の対応するメス係合要素４１；４３との機械的連結を提供し、機械的連結は、オス継手３３；３７とメス継手３７；３３との間の相対的回転運動で達成される。 （もっと読む）

【課題】外乱によって電源装置の自重により発生する慣性トルクをトルク反力構造で受けることにより、締結部のボルト径を細くする。
【解決手段】ターボ分子ポンプ装置１０は、ポンプ本体１１と、ポンプ本体１１を駆動制御する電源装置１４と、ポンプ本体１１と電源装置１４との間に介在して電源装置１４を冷却する冷却装置１３とを有する。冷却装置１３と電源装置１４との間の締結部には、外乱により作用するトルクの反力を取るトルク反力構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】排気速度の低下を抑えつつ、反跳パーティクルの逆流を防止するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】多段の回転翼32が形成され、高速回転するロータ30と、回転翼32に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼33と、回転翼32および固定翼33を収容し、吸気口21aが形成されたポンプハウジング34と、ロータ30の吸気口側に近接して設けられ、ロータ30の回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤150と、吸気口21aとロータ30との間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体153a,153bとを備え、ロータから吸気口側に反跳したパーティクルを、網目構造体153a,153bの内部に捕捉するようにした。 （もっと読む）