使用中、イオンが経路に沿って運ばれる第１及び第２の圧力チャンバを有する質量分光計を備えた差動排気質量分光計システム。チャンバ（62,66,68）を差動排気するポンプ組立体（10）は質量分光計に取付けられる。ポンプ組立体は、質量分光計に取付けられたハウジング（12）と、ハウジングに挿入されたカートリッジ（14）を有する。カートリッジは、それぞれの圧力チャンバ（62,66,68）から流体を各々受け入れる複数の流入口（16,18,20）と、チャンバから流体を差動排気する排気機構（30,32,34）を有する。カートリッジは、排気機構（10）がイオン経路（76）に対して傾けられるように、しかし少なくとも１つの流入口（16,18）がイオン経路を横切ることなく、少なくとも部分的にそれぞれの圧力チャンバ（62,66）内に突入する程度まで質量分光計内に突入してハウジングに挿入される。 （もっと読む）

【課題】複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置（１００）とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。
【解決手段】本発明のポンピング装置は、第１と第２の複合ポンプ（１０２，１０４）を有し、各複合ポンプは、第１入口（１２０、１２４）と、第２入口（１２２、１２６）と、第１と第２のポンピング・セクション（１１０、１１２）とを有する。ポンピング・セクションは、第１入口からポンプ内に入る流体が、第１と第２のポンピング・セクションを通り、第２入口からポンプに入る流体は、第２ポンピング・セクションのみを通る。第１ポンプ（１０２）の第１入口（１２０）は、第１低圧チェンバ（１０）の出口に接続され、第１ポンプ（１０２）の第２入口（１２２）と第２ポンプ（１０４）の第１入口（１２４）は、第２の共通中圧チェンバ（１６）の出口に接続され、第２ポンプ（１０４）の第２入口（１２６）は、第３高圧チェンバ（１４）の出口に接続される。 （もっと読む）

真空ポンプ（１００）は、第１組のターボ分子段（１０６）と、分子ドラッグ段（１１２）と、流体が、ポンプ出口（１１６）に向かって第１組の段（１０６）及び分子ドラッグ段（１１２）を通過することができるようにする第１ポンプ入口（１２０）と、第１組の段（１０６）と分子ドラッグ段（１１２）の間に置かれた第２及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）と、第２入口（１２２）と、を含み、第２及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）は、第２入口（１２２）からポンプに入る流体が、第２及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）のそれぞれの中を流れる２つの流れに分けられるように構成され、第１組のターボ分子段（１０６）及び第２組及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）の各々を通過する流体をポンプ出口（１１６）に向かって搬送するための導管手段（１２６）をさらに含む。
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本発明の真空ポンプは、流体が入る入口と、ポンピングされた流体を排出する出口と、前記入口と出口との中間点の位置と連通するポンピング手段と、前記ポンピング手段により受け入れられる流体の少なくとも一部を受け入れ、その中の汚染物の存在を検出するセンサーとを有する。
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