【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース１２はフランジ１２ａの貫通孔５１に挿通された締結部材６１により外部装置の第１の取付部材９１に締結される。上ケース１２に締結された第１のベース１４はフランジ１４ｂの貫通孔５２に挿通された締結部材６３により外部装置の第２の取付部材９２に締結される。制御ユニット７０は締結部材６５により第２のベース１５に締結される。締結部材６５にはロータ３０の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材６５および制御ユニット７０のケースを、強度が小さいものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】ガスの流量の変化が広範囲であっても、広範囲の圧力制御が可能な排気装置の制御方法及び排気装置の制御装置を提供する。
【解決手段】真空装置５０に設けられた複数の排気装置Ａ〜Ｄの制御方法であって、前記真空装置５０に導入するガスの流量が少なくなるほど、連動して制御する排気装置の数を減らし、非連動に制御する排気装置の数を増やすように前記複数の排気装置Ａ〜Ｄの連動又は非連動の状態を設定する設定工程と、前記設定された状態で、前記複数の排気装置Ｃのうちの少なくともいずれかを使用して前記真空装置５０を排気する排気工程と、を含むことを特徴とする排気装置の制御方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明はターボ分子ポンプを排気対象装置に接続するための接続装置に関し、比較的低周波域の振動の排気対象装置への伝達を効果的に抑制することのできる接続装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ロータと、ロータを収容するケーシングと、前記ケーシングに設けられる吸気口及び排気口を備え、前記ケーシング内でロータを高速回転させることにより前記吸気口からガスを吸引し前記排気口からガスを排出するターボ分子ポンプの吸気口を排気対象の真空容器の排気口に接続するための接続排気管を備えたターボ分子ポンプの接続装置において、前記接続排気管の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管とおもりの間に粘弾性部材を介在させることにより動吸振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第１のコネクタ部材と制御ユニット側の第２のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第１のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第１の取り付け位相および第２の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】ケース部材の吸気口側にロータ翼の直径より小さい絞り部が形成された構造において、異常により分裂したロータによるケース部材への衝撃を小さくする。
【解決手段】吸気口１５を有する上ケース１２内には、ロータ４に設けられたロータ翼４ａとステータ翼６が多段に積層された翼排気部２が構成されている。ステータ翼６は上下に配置されたスペーサ５に挟まれて取り付けられる。最上段のスペーサ５の上面は、最上段のロータ翼４ａの上面より吸気口１５側に配置され、この最上段のスペーサ５上に上ケース１２の絞り部１２ａの内面から離間して衝撃干渉部材２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】全速力で回転する際にロータが破損した場合、締結装置ねじが破断しポンプが外れるのを回避する真空ポンプ用の締結装置構造を提供する。
【解決手段】真空ポンプを真空容器などに取り付けるフランジ１４に設けたねじ１７を通す貫通穴１６の形状を、構造壁２に隣接するフレア状近位セクション１６ｂとそれに続く円筒遠位セクション１６ａを含む形状にして、ねじ軸部１９の曲げおよび対応する横方向の偏りＤを可能にする変位空間を設けた。 （もっと読む）

【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ２１０は、冷凍機２２２と、冷凍機２２２に熱的に接続され冷却されるコールドパネル２２０と、を備える。コールドパネル２２０には粗面２４２が形成されている。コールドトラップ２１０は例えば、ターボ分子ポンプ２１２に真空チャンバ２１６を接続する排気流路２１４に配置され、真空チャンバ２１６から排気流路２１４を通じてターボ分子ポンプ２１２へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル２２０の表面に凍結して捕捉する。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置(100)とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。
【解決手段】本発明のポンピング装置は、第１と第２の複合ポンプ(102,104)を有し、各複合ポンプは、第１入口(120,124)と、第２入口(122,126)と、第１と第２のポンピング・セクション(110,112)とを有する。ポンピング・セクションは、第１入口からポンプ内に入る流体が、第１と第２のポンピング・セクションを通り、第２入口からポンプに入る流体は、第２ポンピング・セクションのみを通る。第１ポンプ(102)の第１入口(120)は、第１低圧チェンバ(10)の出口に接続され、第１ポンプ(102)の第２入口(122)と第２ポンプ(104)の第１入口(124)は、第２の共通中圧チェンバ(16)の出口に接続され、第２ポンプ(104)の第２入口(126)は、第３高圧チェンバ(14)の出口に接続される。 （もっと読む）

【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ２０と、前段真空ポンプ２０の後段に設置される後段真空ポンプ３０と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ５０と、通常ライン２７３と増量ライン２７４から構成され、前段真空ポンプ２０及び後段真空ポンプ３０に軸シールガスを供給するガス系統２７０と、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいてガス系統２７０を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ４１とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源６０からヒータ４１へ供給される電流とヒータ４１から外部電源６０に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ４１の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源６０からの電力をヒータ４１に供給する電力ライン上に設けられたリレー５４を開いてヒータ４１への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー５４の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー５４を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 （もっと読む）

【課題】強い磁場内でも安全に運転することができて、周辺機器と干渉する心配がなく、分子ポンプ本体への固定にも問題がないような構造のシールド機能を有する分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部Ｔのロータの動翼２Ａを囲むケーシング６Ａとねじ溝ポンプ部Ｓの外部を覆うケーシング６Ｂとを軟磁性材料からなる一体のケーシング６にて形成すると共に、該ケーシング６の下方部をポンプ本体Ｐの下端部より下方に延長した。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、直列に接続された複数の真空チャンバー１４、１６、１８、２０と、チャンバーを差動的に排気するため真空排気装置１０とを含む真空システム１２を提供する。真空排気装置は、第１真空チャンバー１４を排気するために接続された吸気口２３と、大気に又は大気周辺に排気するための排気口２５とを有する一次ポンプ２２と、第２真空チャンバー１６を排気するために接続された吸気口２７と、一次ポンプの吸気口２３に接続された排気口２９とを有するブースターポンプ２４と、第３真空チャンバー１８、２０を排気するために接続された吸気口３１、３３と、ブースターポンプの吸気口２７に接続された排気口３５、３７とを有する二次ポンプ２６、２８とを含む。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバのような減圧容器と真空ポンプのように加振源となる機器との間に介設される防振継手１として、従来一般的なものを２つ繋げた場合のように設置スペースの増大やコストの上昇を招くことなく、これに匹敵する性能のものを提供する。
【解決手段】単一の金属ベローズ１０を用いながら、その中間部の外周に連結リング６を介して錘５を連結し、中間マスを構成することによって、あたかも２つの防振継手を繋いだかのように完全な二重防振構造とする。金属ベローズ１０の外周を取り囲むゴム弾性体４は筒軸Ｚ方向の中央で２つに分割し、この２つの部材４０，４０間に連結リング６を挟み込む。ゴム弾性体４の外周に全周に亘って凹部４ｂを形成し、ここに錘５の内周凸部５ａを嵌め込む。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のステータの温度を所定の高温に保つことができると共に排気ガス中の付着凝固性を有するプロセスガスが分子ポンプ内の排気ガス通路に凝着せず、しかも排気ガスの熱が該分子ポンプのベース部等に伝達することがなく、更に分子ポンプの全長を短くすることができるような構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部ロータ４ｂの外側にステータ３ａを有するねじ溝ポンプ部３をベース部８上に立設して有する分子ポンプ１において、該ねじ溝ポンプ部３を囲繞するケーシング５と前記ステータ３ａとの間に円筒状の排気ガス室６ｃを介在させると共に前記ケーシング５の側壁部５ｃに排気口５ａを設けて、前記ねじ溝ポンプ部３の排気ガスが前記排気ガス室６ｃを介して前記排気口５ａへ連通するように形成した。 （もっと読む）

【課題】公知技術の欠点を克服した真空ポンプと排気チャンバとの間の迅速かつ信頼性の高い連結を可能とした連結継手が望まれていた。
【解決手段】真空ポンプ３５の吸気口２５と、ポンプが連結されるべき構造体３９の排気口６５との間の機械的連結および真空シールの確立に適した真空ポンプ用の分割継手３１である。分割継手は、真空ポンプの外部ケース、またはポンプが連結されるべき構造体に連結可能である複数のオス係合要素４１；４３を備えているオス継手３３;３７を含んでいる。オス係合要素は、対応するメス継手の対応するメス係合要素４１；４３との機械的連結を提供し、機械的連結は、オス継手３３；３７とメス継手３７；３３との間の相対的回転運動で達成される。 （もっと読む）

【課題】外乱によって電源装置の自重により発生する慣性トルクをトルク反力構造で受けることにより、締結部のボルト径を細くする。
【解決手段】ターボ分子ポンプ装置１０は、ポンプ本体１１と、ポンプ本体１１を駆動制御する電源装置１４と、ポンプ本体１１と電源装置１４との間に介在して電源装置１４を冷却する冷却装置１３とを有する。冷却装置１３と電源装置１４との間の締結部には、外乱により作用するトルクの反力を取るトルク反力構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】排気速度の低下を抑えつつ、反跳パーティクルの逆流を防止するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】多段の回転翼32が形成され、高速回転するロータ30と、回転翼32に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼33と、回転翼32および固定翼33を収容し、吸気口21aが形成されたポンプハウジング34と、ロータ30の吸気口側に近接して設けられ、ロータ30の回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤150と、吸気口21aとロータ30との間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体153a,153bとを備え、ロータから吸気口側に反跳したパーティクルを、網目構造体153a,153bの内部に捕捉するようにした。 （もっと読む）