【課題】赤外線による劣化および重金属汚染の双方を防止することのできるゴム製シール部材を提供すること。
【解決手段】半導体製造装置等において、赤外線ヒーターを備えた処理室に用いるゴム製シール部材は、充填材として、ポリイミド樹脂やフッ素樹脂等の有機粒子を含み、比重が４以上の金属（重金属）や重金属化合物が配合されていない。かかるゴム製シール部材は、ポリテトラフルオロエチレンからなる標準白板での反射率を１００％としたときの７４０ｎｍから１２４０ｎｍの波長域での相対反射率が２０％以上であり、赤外線が照射されたときでも表面で反射するので、劣化しにくい。 （もっと読む）

【課題】複数の貫通穴間に設けられる共用ビード部に発生する反力を低減させることができ、もってビード全体に亙る圧縮特性を揃えることにより、安定したシール機能を発揮することができるガスケットのシールビード構造を提供する。
【解決手段】金属ガスケットの平面部に一方の貫通穴および他方の貫通穴が並んで設けられ、一方の貫通穴の周縁部に一方のシールビードが設けられ、他方の貫通穴の周縁部に他方のシールビードが設けられ、両貫通穴間の中間部位に両シールビードの共用ビード部が設けられているガスケットのシールビード構造において、共用ビード部が、同じ方向にハーフビードを２段成形した２段ハーフビード形状とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスケットに設けられたタブ部に、耐久性を有する着色を施し得るようにする。
【解決手段】ガスケット本体２の外周部に、タブ部５を一体に張出形成する。このタブ部５を、ガスケット本体２の材質を識別可能な色に着色されたゴム系被膜６によって被覆する。このゴム系被膜６を、ガスケット本体２のゴム硬度とほぼ等しいゴム硬度を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】温度変化に起因するシール性の低下を抑制することができる密封装置を提供する。
【解決手段】軸４に設けられた環状溝４０に装着され、環状溝４０の側面４１と、軸孔３０周面とに密着する樹脂製のシールリングであって、円周上一箇所に分離部Ｓ１を有するとともに、軸孔３０周面と密着する周面上を周方向に延びる周方向溝１０を備える第１シールリング１と、円周上一箇所に分離部Ｓ２を有し、周方向溝１０に装着され、周方向溝１０の側面１０ａと、軸孔３０周面とに密着する樹脂製のシールリングであって、分離端部Ｓ２が周方向溝１０の終端側面１０ｂ、１０ｃとの間に温度変化による周長変化を吸収しうる隙間を有して対向する第２シールリング２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】限られたスペースで、十分な嵌合力を備えると共に、センサ−の検出する磁力を低下させないボアプラグを使用した密封装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ハウジングと、前記ハウジングの内周側に挿入された状態で回転する軸部材と、前記軸部材の一端部に固定されたエンコーダと、前記ハウジングの内周面に嵌着固定されて前記ハウジングの開口を塞ぐ非磁性の鋼板から製作されたボアプラグと、前記ボアプラグを介して前記エンコーダと対峙して配置されている前記エンコーダの回転速度を検出するセンサーとより成る密封装置において、
前記ボアプラグは、前記ハウジング内周面と嵌合する円筒状部と、前記円筒状部の前記センサー側の軸方向端部と連結して前記開口を塞いでいる円盤状部とより構成され、前記円盤状部が前記エンコーダ側に窪んでいる窪み部を形成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高気密状態で連結でき、従来よりも安価で取り扱いも容易なフランジ及びそれに使用するガスケットを提供する。
【解決手段】本発明は、任意の形状のフランジであって、中央部に貫通孔を形成し、表面に前記貫通孔を囲んで嵌入溝を形成し、前記嵌入溝内の貫通孔側の底部を高くして挟持部を形成し、前記嵌入溝の挟持部外方にノックピン孔を設け、表面に前記嵌入溝に連設し外周面まで到達する大溝を設け、表面に前記嵌入溝に連設し前記貫通孔まで到達する小溝を設け、前記嵌入溝の周囲（外側に）に表面から背面にかけて貫通する複数のボルト孔を穿設したことを特徴とするフランジの構成とした。 （もっと読む）

【課題】外壁パネル組付けと同時にガスケットを組み込んだ目地を施工する際、或いは目地施工後、目地幅が変化するようなことがあっても屋外側の外観面が傾いたり、屈曲することのないガスケットを提供する。
【解決手段】目地組込時に屋外側となる前壁部１２と、目地組込時に目地底側となり、前記前壁部１２に向かって略く字形に突出する後壁部１３と、前記前壁部１２と後壁部１３の両端を連結する側壁部１４及び１５よりなって中空断面をなし、側壁部１４は外側の一部がスポンジ１６で、外側面がほぼフラットに形成され、内側には、後壁部１３の中央部の屈折端に向かって突出する突起１７が一体形成されており、ガスケットを目地に組込んだ状態において、後壁部１３又は側壁部１４又は１５を支持する。側壁部１５は外向きに膨出し、外側の一部がスポンジ１８で形成されている。 （もっと読む）

【課題】軸シール本来のシール機能を発揮してタービン車室側の真空を維持しつつ、シール部材の破損を防止するタービンの軸シール構造を提供すること。
【解決手段】回転軸廻りに環状に配設され、加圧流体を外部から受入れて回転軸をシールするタービン用軸シールであって、該軸シールは、回転軸の周方向に沿って回転軸の中心方向に開口するように配置された溝部を備えるハウジングと、該溝部内の周方向に配置され、幅方向の両端を前記溝部の側面に狭持された断面Ｕ字状の弾力性を有するシール板と、を含む構造を備え、前記溝部の開口端の溝幅は、前記シール板の板幅より小さく形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数のケーシング部材の合わせ面に跨って形成された複雑な形状の孔を良好な組付性にてシールすること。
【解決手段】孔７１に挿入された栓１は、挿入手前側の端部が閉塞された円筒状の本体部２と、本体部の外周より軸方向に間隔をおいて径方向に延出された複数の円環状部２と、本体部の挿入手前側の端部外周より径方向に延出され、ケーシング外部壁面５１に係止された係止部４と、を備える弾性体からなる。栓の円環状部２は、外径側ほど薄肉に形成され、かつ、無負荷状態において、挿入奥側の面が外径側ほど挿入手前側に後退した部分を有しており、栓の円環状部２が孔の内壁面５２に密着し、かつ、少なくとも１つの円環状部がケーシング５，６の孔７１を貫通して内部壁面５２，６２に係合している。 （もっと読む）

【課題】ノズルとフォルダとの間を良好にシールし、取付け取外しが容易であって、バネなどの固定具を用いることなくメッシュを固定する充填ノズルの提供。
【解決手段】液体を容器に定量ずつ充填する液体定量充填装置の充填ノズルであって、ノズル本体から液体を吐出する吐出口に配設される板状のメッシュ４１ａ、ｂ、ｃと、メッシュ４１ａ、ｂ、ｃを収容して固定しノズル本体の下端に着脱自在に取付けられるノズル先端部１４とからなり、ノズル先端部１４は、ノズル本体の下端を収容する上部開口と、ノズル本体とバヨネットによって係合する係合溝と、下端に形成された吐出口と、メッシュの落下を防止する係合段１４ａとを有し、メッシュ４１ａ、ｂ、ｃは、周縁部５０ａ、ｂ、ｃで上方に盛り上がって弾性材シール４５ａ、ｂ、ｃに埋め込まれ、メッシュ取付け前の外周端面４５Ａ、Ｂ、Ｃが上にいくに従って張出している。 （もっと読む）

【課題】密封性に寄与する柔軟性と、締付けバンドによる締付け力を受け止める剛性とを合わせもった差し込み型排気管継手に使用されて好適な円筒状ガスケット及びその製造方法並びに該円筒状ガスケットを使用した差し込み型排気管継手を提供すること。
【解決手段】円筒状ガスケット２３において、膨張黒鉛からなる耐熱材と金網からなる補強材とは、圧縮されて、互いに絡み合って構造的一体性を有しており、円筒状ガスケット２３の露出した円筒状の内周面１９及び円筒状の外周面２０並びに軸方向の環状の端面２１及び２２の夫々は、耐熱材１からなる面と補強材２からなる面とが混在した面からなっており、円筒状ガスケット２３において、耐熱材１の密度は、１．２１〜１．５８Ｍｇ／ｍ^３を呈し、補強材２の質量は、円筒状ガスケット２３全体の質量の５０〜８０％を占めている。 （もっと読む）

【課題】 平面方向に力がかかったときにも、溝から脱落しにくいパッキンを提供する。
【解決手段】 パッキン１は、断面形状が十字型であって、縦方向（パッキン溝の深さ方向）の両方向に突出した上突部１１及び下突部１２と、内外方向（パッキン溝の幅方向）の両方向に突出した内突部１３及び外突部１４と、を有する。パッキン１の自由姿勢における幅Ｗは、パッキン溝の幅よりも広い。パッキン１は、溝に収容される際に、周方向に直交する断面が、周方向軸周りに回動して収まる。つまり、パッキン１は、縦方向（溝の深さ方向）の軸Ａが傾斜した姿勢で溝に収容される。このため、パッキン１には、自由姿勢に戻ろうとする、回動方向の弾性復元モーメントを有する。このモーメントの方向は、パッキンに外から内へ向かう力がかかったときの外力の方向と反対方向であるので、パッキンのメクレ外れを自動的に妨げ、溝から脱落しにくい。 （もっと読む）

【課題】極高真空領域まで真空排気される真空容器のシール材としてエラストマー素材のシール材を使用することができる真空容器を提供する。
【解決手段】２分割される真空容器１２の合せ面にシール材２０を有して気密に保持される真空容器１２であって、合せ面の真空容器の内側にラビリンス形成装置を備え、ラビリンス形成装置２２は、凹部２３が形成された凹部材２３と、凹部２３ａの内面と僅かな隙間を有して配置される凸部２５を有する凸部材２５ａと、凹部材２３ａに凸部材２５ａを近づける方向に動作させる上下動機構２８とを有する。 （もっと読む）

【課題】分割ガスケットにおいて、溶接による熱収縮の影響がガスケット周方向寸法精度に及ぶのを極力抑制することが可能であり、もって優れた寸法精度を備え、組み付け性に問題を生じることがないガスケットを提供する。
【解決手段】金属板の平面上にゴム状弾性体よりなるシール材を被着してなる平板状金属ガスケットであって、金属板はガスケット周方向に分割されて分割体同士が溶接接合されているガスケットにおいて、互いに溶接接合された分割体はその接合部に、ガスケット周方向に対し直交する向きの面よりなる対向面部と、ガスケット周方向に対し平行な向きまたは斜めに交差する向きの面よりなる対向面部とを有し、このうち後者の、ガスケット周方向に対し平行な向きまたは斜めに交差する向きの面よりなる対向面部のみが溶接接合されている。 （もっと読む）

【課題】ガスケットに係り、車両冷却系等、内部圧力や温度が低い流体に使用されるガスケットに改良を加え、Ｏ−リングと同等のシール性を確保しつつ、相手部品にリング溝加工が必要なく再使用が可能なガスケットを提供する。
【解決手段】ガスケット１１は、流体通路孔１７が形成された１枚の薄肉なゴム製プレート部材１３と、ゴム製プレート部材１３を挟持し、流体通路孔１７に対応して流体通路孔１７より大径な流体通路孔１９が形成された２枚の薄肉な金属製プレート部材１５とからなり、ゴム製プレート部材１３は、その両面に、流体通路孔１７，１９に沿って金属製プレート部材１５より厚肉なリング状の突条２１が一体形成され、金属製プレート部材１５の流体通路孔１７，１９は、突条２１の外周縁との間に、突条２１の潰し代たる溝部２５を形成している。 （もっと読む）

【課題】環状部材を軽量で簡単に梱包することができ、環状部材に傷をつけることなく、容易に環状部材を取り出しでき、従来のように梱包部材がゴミとなることもなく、再利用可能で環境に優しい環状部材の梱包方法を提供する。
【解決手段】長手方向の両側端が開口するとともに、短手方向の一端で脱着自在に封止可能な長尺状の袋状の梱包部材を用いて、梱包部材の一端の封止部を開いて、環状部材を梱包部材中に挿着するとともに、梱包部材の一方の側片と、他方の側片とで、環状部材を被包するようにして、一端を合わせて、一端で封止し、梱包部材の両側端の開口部を重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】携帯電話等の電子機器のハウジングをシールするシール構造体であって、ハウジングを確実に密封すると共に、簡易な構成によって意匠性の向上を図ることが可能なシール構造体を提供する。
【解決手段】ハウジング２を密封するシール構造体１において、ハウジング２に取り付けられるシール部材１０と、シール部材１０と一体成形されており、シール部材１０がハウジング２に取り付けられた状態において、少なくともその一部がハウジング２内部にある基板２０と、基板２０上に設けられる光源素子３０と、を備えており、シール部材１０が透明又は半透明であって、かつ光源素子３０がシール部材１０による密封領域内に設けられていることで、光源素子３０から射出された光によってシール部材１０の少なくとも一部が発光するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、また、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、使用時に、高荷重下でも、金属パーティクルが発生することがない複合シール材を提供する。
【解決手段】第１のシール部材が、複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、シール本体部の軸方向の略中央部より、第２のシール部材側に延設された第１の結合部とを備え、第２のシール部材が、スペーサー部と、スペーサー部の軸方向の両端部より、第１のシール部材側に延設された第２の結合部とを備え、第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化された連結部を備える。 （もっと読む）

【課題】相手材との摺動において摩擦異常音の発生をなくし得る上に、安定したシール特性を有した球帯状シール体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】球帯状シール体３８において、球帯状基体３６は、耐熱材６と補強材５とが互いに圧縮され、互いに絡み合って構造的一体性を有するように構成されており、外層３７は、耐熱材６と、潤滑組成物からなる焼成された固体潤滑剤と、金網からなる補強材５とが圧縮されて補強材５の金網の網目に焼成された固体潤滑剤及び耐熱材６が充填されて固体潤滑剤及び耐熱材６と補強材５とが混在一体化されてなり、外層３７の外表面３９は、補強材５からなる面と焼成された固体潤滑剤からなる面とが混在した平滑な面４２に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ハウジング内への水の浸入を防ぐことができるシール構造を提供する。
【解決手段】ハウジング１に形成された挿通孔１０から突き出た状態で設けられたパイプ２の外表面２ｃと、挿通孔との間をシールするシール構造であって、前記パイプは、前記挿通孔に嵌め込まれるシール部５０と、前記パイプの前記外表面に弾性的に接触するリップ部５１とを備えたシール部材５に挿通され、前記シール部が前記挿通孔に嵌め込まれた状態で前記パイプに前記接続部材が組み付けられ、前記リップ部の先側５２ａが前記接続部材の端部３０で覆われていることを特徴とする。 （もっと読む）