【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸３に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸３の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材４を有している。回転軸３の筒状部材４から大気側に延出する部分には、回転軸３より大径のフランジ部５が一体的に形成され、このフランジ部５に所定の隙間を存して囲うカバー部材６が配置されている。カバー部材６の内周面には、回転軸３の長手方向に沿う環状の２つの第２の加圧溝６１ａ，６１ｂが凹設されている。給気通路６２ａ，６２ｂと給気管６３ａ，６３ｂとコンプレッサー４８とが、第２の加圧溝６１ａ，６１ｂにベアリングガスを供給する第２のガス供給手段を構成する。 （もっと読む）

【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の先端を真空槽２１内に挿入し、根本を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にして動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を直線移動と回転移動させる。噴出装置１７と開口２２との間に複数の排気溝を設け、真空槽２１に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置１５に接続する。開口２２に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽２１内を高真空雰囲気にすることができる。 （もっと読む）

【課題】シール対象流体がシール部に溜まる不都合が回避できるようにして、比較的構造が簡単でありながら高回転にも対応可能となる特徴が余すところなく発揮できるように改善された縦軸用軸封装置を提供する。
【解決手段】流体処理用の回転機器から下方に延設される上下向きの回転軸１に対してシールすべく、回転軸１に外装配備される縦軸用軸封装置において、回転軸１に外嵌される状態でハウジング２に支持されるシール用のリング体９を設け、リング体９にその下面から上方に凹入する状態の周溝状の第１凹部１４を形成し、リング体９における周溝状の第１凹部１４の径内側となる内側壁１５が、回転軸１に沿って下方に延設される第１円筒状シールリップに構成されるとともに、周溝状の第１凹部１４に、第１円筒状シールリップ１５を回転軸１の外周面３ａに押し付けて軸シール部Ｓを形成するための弾性機構１１が装備される。 （もっと読む）

【課題】シール空気の漏れ量が少なく、且つ確実にシール能力を発揮することができる回転軸のシール構造を提供する。
【解決手段】回転軸と、該回転軸の外周面の周方向に配置されるシールとを有する回転軸のシール構造であって、前記シールの回転軸と対向する面が、軸方向両端に位置する両端面と該両端面間に位置して両端面よりも回転軸からの位置が遠い中間面とを有することで、前記中間面と回転軸との間に空間部が形成され、前記空間部内部に外部から流体を供給する流体供給手段を備え、前記シールは、前記回転軸側に押圧されており、前記空間部内部に供給される流体が所定の圧力以上で前記回転軸から浮上する。 （もっと読む）

【課題】大型の蒸気タービンの要求の厳しい環境に対応するために公知のフィルムライディングシールを改良する。
【解決手段】タービンの固定部分に取り付けられた第１のシール面と、タービンの回転部分に取り付けられた第２のシール面とを有し、これらのシール面が、運転中に、２つのシール面の間に流体媒体の薄いフィルムが形成されることにより接触及び／又は漏れを減じるように構造化されており、第１又は第２のシール面のうちの少なくとも一方が、タービンタービンが停止している間又は低速で回転している間、シールを開放させる引込め力を受け、タービンの運転回転速度において、前記引込め力に反作用する力を受けるように、第１又は第２のシール面のうちの少なくとも一方が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】ドライガスシールを採用した圧縮機において、ドライガスシールへの液体の浸入、供給されるシールガスの液化に伴う不具合の発生を抑制しうるシールシステムを備えた圧縮機を提供する。
【解決手段】ケーシング１ａとロータ軸１１の間に配設され、ロータ軸１１に周設された回転環１６と、ロータ軸１１と略垂直な回転環１６の垂直端面に当接可能となるように弾性部材１７，１８を介してケーシング１ａに設けられた静止環１９，２０とを有するドライガスシール１５と、吐出流路５と一端が接続されるとともにドライガスシール１５の回転環１６の外周面１６ａとケーシング１ａの間の空間３７と連通するように他端が接続され、シールガス調整弁８が介設されたシールガス流路６と、回転環１６の下方のケーシング１ａに形成された貫通孔３５を介して空間３７と連通するように一端が接続され、他端が吸込流路３に接続されたドレンガス流路２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】シールガスの供給量を適切に調節できる酸素圧縮機のシール装置を提供する。
【解決手段】圧縮機１に付帯の軸封装置本体Ａの密封ポケット８へのシールガス供給圧力と圧縮機１の酸素吸入圧力との差が、２〜３ｋＰａ（Ｇ）の範囲となるように、コントローラ３１が基幹シールガス送給配管１１の流量調整弁２８の開度を調整するので、圧縮機１の酸素吸入圧力が低くなったときには、多量の窒素が大気中に放風されず、窒素の消費量を低減させることができ、反対に、圧縮機１の酸素吸入圧力が高くなったときには、多量の酸素が大気中に放風されず、酸素を効率良く回収することができる。 （もっと読む）

【課題】酸素純度の低下を抑制できる酸素圧縮機のシール装置を提供する。
【解決手段】圧縮機１に付帯の軸封装置本体Ａの回収ポケット６の内圧が、予め設定してある内圧下限範囲を上回るように基幹酸素回収配管１４の流量調整弁３２の開度を調整するので、圧縮機１における酸素吸入圧力が低くなった際には、流量調整弁３２の開度が狭まって回収ポケット６の内圧が上昇し、放出ポケット７、２１から酸素吸入配管１０へ窒素が流入せず、酸素純度が低下を抑止できる。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの内部に超臨界状態の流体が収容される回転機械に適用した場合でも、回転軸の駆動開始時にシール隙間で不具合が生じることのないドライガスシール構造を提供する。
【解決手段】本発明に係るドライガスシール構造１０は、超臨界状態の流体を収容するハウジング１２と、該ハウジング１２を貫通する回転軸１３と、該回転軸１３と一体的に回転する回転環２５と、回転軸１３の停止時に回転環２５と当接し、回転軸１３の回転時に回転環２５との間にシール隙間３０を開けた状態で静止する静止環２８と、シール隙間３０の入口部分に対し、流体の一部を供給する循環配管路２０と、循環配管路２０を流れる流体の温度を調節する温調装置と、回転軸１３を駆動する前に、シール隙間３０の入口部分が所定温度まで加熱されるよう、温調装置の動作を制御する制御部と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】大水量の冷却下においても、充分な耐水性を確保することができる軸受シールの耐水構造を提供する。
【解決手段】軸受ボックス２０内の軸受に対して水が浸入することを防止するための軸受シールとして、軸受ボックス２０内に、三段のオイルシール（一段目オイルシール２１、二段目オイルシール２２、三段目オイルシール２３）が配置されているとともに、ロール胴部１１と一段目オイルシール２１との間の空間に向かってガス（例えば、エアや窒素等）を吹き込むためのガス供給穴２４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い主軸受を提供する。
【解決手段】軸受領域をシーリング及びパージするための装置は、少なくとも１つの孔４２、４４を有しておりこの少なくとも１つの孔４２、４４を通じて空気流を流す軸受ハウジング１６と、少なくとも１つの軸受シール１８であってこの少なくとも１つの軸受シール１８を通じて空気流を流すことによってこの軸受シール１８を挟んだ圧力差を生じる軸受シール１８と、を有する。この装置は、更に、空気配向装置４６であってこの空気配向装置４６の近傍を流れる空気流の少なくとも一部を有する空気配向装置４６と、一対の部品であってこの一対の部品の間に間隙３２を有しておりこの間隙３２を通じて空気流の少なくとも一部を流すことによって間隙３２をパージする一対の部品と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ドライガスシールの一次シールからリークした可燃性プロセスガスを簡単な装置構成で回収できる廉価で信頼性の高いドライガスシールからのリークガス回収装置を提供する。
【解決手段】ドライガスシールの一次シール１１ａ，１１ｂからリークした可燃性プロセスガスのリークガスライン１９ａ，１９ｂ，１９をエジェクター２０に接続し、該エジェクター２０で噴射される高圧ガス源からの高圧ガス中に前記リークした可燃性プロセスガスを吸引・混入させて低圧ガス源へ回収する。 （もっと読む）

【課題】外部からの異物浸入防止と、内部からの潤滑剤漏出防止とを同時に図り、鉄鋼用圧延設備のバックアップロールの軸受などのように過酷な環境下での使用においても、耐久性に優れて長寿命な軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受装置１０は、ロール軸１１と、ロール軸１１に外嵌する転がり軸受１２と、転がり軸受１２に外嵌してロール軸１１に対して相対回転可能に支持されるロール１３と、軸方向に並列配置される複数のシール部２３，２４を有し、転がり軸受１２の軸方向外側に配設されてロール軸１１とロール１３の間を封止するシール装置２０と、複数のシール部２３，２４の間に開口して圧縮流体を供給するノズル孔２６と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、ターボ機械(10)、特に蒸気タービンに関し、これは、マシンハウジング(12)と、エンジンハウジングによってガイドされかつ少なくとも一方側においてそこから外に突出するようガイドされたシャフト(14)とを具備し、シャフト(14)とマシンハウジング(12)との間に存在する、少なくとも一つの環状ギャップが、シャフトシーリングアセンブリ(40)によってシールされ、このシャフトシーリングアセンブリ(40)は本質的に半径方向に離間したシーリング面の二つの対(48,50)を備えた少なくとも一つのラジアル二重シール(44)を具備し、その間には環状シーリング流体チャンバー(54)が形成され、それにはシーリング流体供給ライン(52)を介してシーリング流体を供給でき、各シーリング面対(48,50)は、環状回転シーリング面(56,58)と環状非回転シーリング面(60,62)とを有し、これらは本質的に軸方向に互いに向き合って配置されておりかつ互いに付勢されている。
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【課題】基本的には静圧型シール装置としながらも、故障による不測のガス遮断時や停止に向けての減速回転時にシール面どうしが接触する不都合が回避され、半導体洗浄装置等のパーティクルを嫌う機器にも好適に使用できる非接触型シール装置を提供する。
【解決手段】基本的に静圧型である複合型非接触シール装置において、回転によって静止密封環５をコイルバネ９による付勢力に抗して押戻す動圧を発生するように回転密封環３のシール面３ａに形成される動圧溝１０と、シールガス圧で静止密封環５を軸心Ｘ方向で回転密封環３に押付けるシリンダ機構ｃとを設け、ガス供給により、コイルバネ９の付勢力とシリンダ機構ｃの付勢力との和に抗してシール面３ａに静圧を生じさせてシールする静圧非接触シール状態を基本としながら、停止に向かう減速時には回転密封環３の回転による動圧により弾性機構ｄの付勢力に抗してシール面３ａをシールする動圧非接触シール状態に自然に切換るように構成する。 （もっと読む）

【課題】起動／停止を繰り返しても、回転環及び固定環の摩耗が少なく、両者間のシール性能を長時間維持することができるドライガスシール装置を提供する。
【解決手段】固定部２に固定され円筒形内面１１を有する固定環１０と、回転体１に固定されこれと共に回転する回転環ベース１２と、回転軸Ｚ−Ｚに対し周方向に分割され、全体として円筒形内面１１の内側に位置する中空円筒形の回転環を構成する複数の回転環セグメント１４と、各回転環セグメントを半径方向内方に引っ張る弾性体１６とを備える。固定環１０の円筒形内面１１又は回転環セグメント１４の外面に、回転体１の回転により両者間に動圧効果によりクリアランスを形成する動圧溝が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガス・タービン内のシール間間隙を低減する。
【解決手段】ガス・タービン（２）、第１のアーチ形構成要素（３８）と、これが隣接する第２のアーチ形構成要素（４０）と、第１のアーチ形構成要素（３８）の端部上の第１のスロット（４２）および接続された第２のスロット（４４）と、第１のスロット（４２）と第２のアーチ形構成要素（４０）上の第１の隣接するスロット（４６）との中に配置された第１のシール（５０）と、第２のスロット（４４）と第２のアーチ形構成要素（４０）上の第２の隣接するスロット（４８）との中に配置され、第１のシール（５０）と第２のシール（５２）との間に間隙（５４）を残す第２のシール（５２）と、第１のシール（５０）と第２のシール（５２）とに結合され、第１のシール（５０）と第２のシール（５２）との間の間隙（５４）を実質的に覆うコネクタ（５６）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】機械及び機械用のシール組立体を提供する。
【解決手段】本機械（１００）及び機械（１００）用のシール（１０８、９０４）組立体（１０１）は、回転シャフト（１０６）と、該回転シャフト（１０６）に結合されたホイール（１０４）とを含み、ホイール（１０４）は、該ホイール（１０４）に結合されたバケット（１０２）を含み、本機械（１００）及び機械（１００）用のシール（１０８、９０４）組立体（１０１）はさらに、バケット（１０２）及びホイール（１０４）の側面に沿って延びかつ該バケット及びホイール間のインタフェース部（８０４）を覆ったシール（１０８、９０４）を含む。 （もっと読む）

【課題】高濃度スラリー等の流体に良好なシール特性を有するシール装置を提供する。
【解決手段】機内側を非接触シール、機外側を接触シールとし、機内側シールのさらに機内側に第１及び第２の仕切り壁５１０、５３０を設けて第１のガス室４１０及び第２のガス室４２０を設置する。第１及び第２の仕切り壁５１０、５３０の内周部にはフローティングリング５２０、５４０を設け、流体が機内側シール方向からも機内側からも第２のガス室４２０に流れるようにし、第２のガス室４２０に流れた流体は第２のガス室４２０の排気口４２１から排出する。バッファガスの流れと非接触シールによりスラリーを適切にシールするとともに接触シールにより機外に流体が漏れるのを確実に防止する。 （もっと読む）