【課題】外部リークをより少なくして真空状態を維持することができ、頻度の高いローラ交換時に素早く雰囲気圧力状態を形成し、１min（分）に１回は要する動作頻度に即座に対応することのできるフィルム搬送装置に使用するゲートバルブを提供する。
【解決手段】入口側のフィルム通過窓、弾性筒体の内部および出口側のフィルム通過窓はフィルムを通過させ、該フィルムが通過の一過程で、ピストンは弾性筒体を面押圧して該弾性筒体の内部両面を前記フィルムを介して密着させて前記入口側のフィルム通過窓および出口側のフィルム通過窓の連通を遮断する。 （もっと読む）

【課題】連続してシート状部材を供給／排出することができるとともに、発生したダストを効果的に除去できる真空シール機構を提供すること。
【解決手段】本発明の真空シール機構は、真空チャンバ等に形成されたスリットの延長線上でシート状部材の移動面を中心として対向配置され、回動自在に密着されたロール群と、前記ロール群の側面に当接された側板と、前記側板を前記ロール端面方向に押圧する駆動手段と、前記側板を真空チャンバ方向へ押圧する第２駆動手段とから成り、前記ロール群の先端に配設されたロール対を互いに密着させると共に、前記先端に配設されたロールに隣接配置されたロール対を所定の間隔を有して配置し、真空チャンバに形成されたスリット部をシールするので、連続してシート状部材を供給／排出することができとともに、ダストを効果的に除去できる。 （もっと読む）

【課題】改良された密封作用を有し、異なった幅のストリップのために万能に使用できるストリップ密封ゲートを提供すること。
【解決手段】この発明は、第二空間（３）に対して第一空間（２）を密封し、両空間（２、３）がストリップ（４）、特に金属ストリップにより通過され、空間（２、３）を密封するために、少なくとも二つのロール（５、６）が設けられ、ストリップの両面に密封してこのストリップに当接するストリップ密封ゲート（１）に関する。改良された密封作用を達成させるために、ロール（５、６）の少なくとも一方がその周面に部分的に柔軟な弾性材料７を備えていて、少なくとも一方のロール（５、６）が柔軟な弾性材料７製の外套を備えている内部芯（８）を有し、内部芯（８）が中心領域（９）内に円筒状輪郭（１０）を有し、芯（８）が縁領域（１１、１２）にて拡大されている。
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本発明は、第２の空間（３）に対して第１の空間（２）をシールするためのストリップシールゲート（１）であって、２つの空間（２、３）をストリップ（４）、特に金属ストリップが通過し、空間（２、３）をシールするために、少なくとも１つのシール手段（５）が設けられているストリップシールゲート（１）に関する。優れたシール作用を簡単に達成するために、本発明は、シール手段（５）が、互いに移動可能な少なくとも２つの絞り要素（６、７、８、９）を備えており、これらの絞り要素が、シールすべきストリップ（４）の周縁輪郭に合わせられている少なくとも１つのシール面（１０、１１、１２、１３）を有することを意図する。
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【課題】シール性を向上させると共に、シール流体使用量を抑制してコスト低減を図ることができるシール装置を提供すること。
【解決手段】加熱帯２内及び急速冷却帯３内から流出した水素ガス及び窒素ガスからなる雰囲気ガスＧｈ，Ｇｎをスリット２５ａ，２５ｂから吸引して混合し、その混合した混合ガスｇを雰囲気ガスＧｈ，Ｇｎと同じ成分になるように水素ガス及び窒素ガスを補充して成分調整した後、再び加熱帯２内及び急速冷却帯３内に戻すようにした。 （もっと読む）

【解決課題】 薄膜材料の化学反応を行うための処理容器内の気密性を確保して、不活性ガス雰囲気中での処理を好適な条件下で行うことができ、しかも、薄膜材料を傷つけることがなく、高速に大量に且つ連続して薄膜材料の処理を行うことができる薄膜材料処理装置及び該処理装置に用いられるシール装置を提供する。
【解決手段】 入口シール装置４及び出口シール装置６は、処理容器５の薄膜材料入口５ａ及び出口５ｂにそれぞれ取り付けられている。入口シール装置４及び出口シール装置６は、それぞれ、薄膜材料の出入口１１及び１６を備えるケーシング１２と、ケーシング１２の対向壁からそれぞれケーシング１２の内方に向かって延在するシール部材である複数の邪魔板対１３と、を備え、一対の邪魔板１３の各先端部１３ａは、互いに対向するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を克服可能とする平坦製品上への減圧下の付着ラインのための入口／出口密封ロックを提供する。
【解決手段】この密封ロックは、幾つかの対の金属ローラーがカバーに第一の洩れを構成する隙間を持って留められたクレードル内に保持されており、同じ対のローラーが同じ垂直面内に配置された軸を持ち、かつ異なる直径であり、より小さい直径を持つローラーの位置が所定の対から次の対へ交互に上下しており、同じ対の二つのローラーを支持するクレードルが中心に向けて横方向の突出を持ち、それらのローラーの横表面に関する隙間が第二の洩れを構成することを特徴とする。 （もっと読む）