【課題】長尺であっても軸受が中央部に位置したときに、当該軸受と無端ベルトとの干渉が発生することを低減するアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する軸受５とを備える。従動プーリ２の径は、駆動プーリ１の径よりも大きく設定される。 （もっと読む）

【課題】 送りねじの熱膨張による影響を回避すると共に、駆動装置の静音化を可能とする送りねじ駆動装置を提供する。
【解決手段】 本発明の送りねじ駆動装置は、送りねじと、送りねじの両端部にそれぞれ設けられた一対の歯車機構と、一対の歯車機構を介して送りねじをそれぞれ駆動する一対のモータと、送りねじの両端部をそれぞれ支持する一対の支持部と、を備え、一対の支持部の一方は、送りねじを軸線方向に移動不能に支持する固定支持部であり、一対の支持部の他方は、送りねじを軸線方向に移動可能に支持する可動支持部であり、固定支持部側に設けられた歯車機構は、送りねじの固定支持部側端部および固定支持部側モータの出力軸にそれぞれ固定されたはすば歯車を備え、可動支持部側に設けられた歯車機構は、送りねじの可動支持部側端部および可動支持部側モータの出力軸にそれぞれ固定された平歯車を備える。 （もっと読む）

【課題】軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する軸受５とを備える。軸受５は、軸方向に並んだ４個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄよりなる。ベルト接続用軸受部材５Ｂ，５Ｃは、第１の連結部材によって無端ベルト３に接続される。搭載物用軸受部材５Ａ，５Ｄは、搭載物を搭載する。軸受部材５Ａ及び軸受部材５Ｂ、並びに軸受部材５Ｃ及び軸受部材５Ｄは、それぞれ、第３の連結部材によって連結される。一方、第２の連結部材によって相互に連結される軸受部材５Ａ及び軸受部材５Ｄは無端ベルト３には直接連結されていない。 （もっと読む）

【課題】チェーン幅方向に沿った撓みの発生、噛合チェーンの寿命低下、部品点数増加及びチェーン組み立て時の作業負担増大を回避する噛合チェーンユニットを提供すること。
【解決手段】内リンクプレート１１１のピン孔１１１Ｈに圧入嵌合されているとともに外リンクプレート１１２のピン孔１１２Ｈに対して回転自在に遊嵌されている連結ピン１１３を備えている噛合チェーンユニット１１０。 （もっと読む）

【課題】１つのガイドレール上で、複数のスライダーブロックが位置の制約なく移動することができ、独立して異なる動作をすることができるリニアガイド装置を提供する。
【解決手段】リニアガイド装置は、電源により電力を供給され、制御装置の指令により回転運動する１対のモータ(10A,10B)と；各々のモータの回転運動をそれぞれのボールネジ(50A,50B)に伝達する１対の動力伝達機構と；各々のモータを取付ける１対のブラケット(30A,30B)と；１対のブラケットに両端を結合されたガイドレール(40)と；ガイドレールの上方に、ガイドレールと平行に、１対のブラケットにより軸方向に移動不能で回転可能に両端を支持され、外周にねじ山が形成された１対のボールネジ(50A,50B)と；各々のボールネジに組み合わされ、各々のボールネジが回転運動すると、それぞれがガイドレール上を直線移動する１対のスライダー組立体(66A,66B)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シール部材の軸方向の寸法に関わらず、ねじ軸とシール部材の芯を合わせ、シール部材とねじ軸の位相を調整することを容易に行うことができるボールねじ装置を提供する。
【解決手段】ボールねじ装置１００のナット３の端部とシール部材７の固定部１１とでインロー部１３を構成し、シール部材７に固定用の長孔部１２を形成し、長孔部１２はねじ軸方向に貫通し、ねじ軸の回転軸を中心とする円弧状として、シール部材７を長孔部１２を通した固定ねじ８によってナット３の端部に固定する。 （もっと読む）

【課題】ラックに対するピニオン６の伝達精度が高くなることに伴い、良好な初期の作動状態を長期にわたって維持できるピンローラ形ピニオン装置７を提供する。
【解決手段】第１軸受１３の第１ピンニードル１７は、第１円孔９ａの内周壁９Ａとピンローラ８の一端部８ａとの間に挿入配列され、第２軸受１４の第２ピンニードル１８は、第２円孔１０ａの内周壁１０Ａとピンローラ８の他端部８ｂとの間に挿入配列されている。このため、第１ピンニードル１７の挿入時、第１円孔９ａの内周壁９Ａに外力が生じない。また、第２ピンニードル１８の挿入時、第２円孔１０ａの内周壁１０Ａに外力が生じない。この結果、第１円盤９および第２円盤１０の膨出変形が生じず、ラックに対するピニオン６の伝達精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、シャフト軸体を湾曲させた状態でもコイル体を送り移動させることができる送り機構を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の送り機構は、らせん状に巻回された複数の素線から形成されたシャフト軸体と、上記シャフト軸体の外周面にらせん状に巻回された単一のコイル素線から形成されたコイル体とからなる送り機構であって、上記複数の素線の巻回方向と上記単一のコイル素線の巻回方向とは、同じであり、上記シャフト軸体は、上記素線間に形成された複数のらせん状の谷部を有しており、上記コイル体は、上記コイル素線上に形成された複数の山部を有しており、少なくとも一の上記谷部と少なくとも一の上記山部とが嵌合しており、上記シャフト軸体を回転させることにより、上記シャフト軸体の端部間を上記コイル体が送り移動可能に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】連包パウチから個々に切断等されたパウチを従来よりも高速に搬送し、且つ、定位置投入性を向上できるロータリー式定位置投入装置の提供を目的とする。
【解決手段】旋回軸３０の回転する際に、案内用カムフォロア４６が案内用カム溝内を移動し且つ、首振り用カムフォロア４７が首振り用カム溝内を移動して各フォロア４６、４７がカム溝に応じて駆動されると共にバルブ制御手段４８の真空吸引が制御されることによって、連包パウチ５における切断前のパウチ６に吸着パッド４３を当てて真空吸引し、カッター７で切断後に前記パウチ５を一方向に搬送した後、他方向に搬送して定位置で吸着を解除することによって当該パウチ６を前記定位置に投入する動作を各吸着パッド４３が順次行なうものである。 （もっと読む）

【課題】転動体転走路と転動体との間で発生した微粒子が装置外に漏れ出る量を極力抑制できる、半導体製造装置や液晶表示パネル製造装置等のクリーン環境に好適な直動装置を提供する。
【解決手段】直動装置１において、１対のシール部材７の各々は、移動部材３に取り付けられた状態で、軌道部材２の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、軌道部材２に対して０．０２５〜０．１５ｍｍの範囲の隙間δを有する形状に形成され、転動体転走路５と転動体４との間には混和ちょう度２５０以下のグリースが塗布してある。 （もっと読む）

【課題】高圧ポンプ用の往復運動する動力装置として活用されるプランジャシリンダに関して、様々な必要圧力に対応、安定した連続運転を可能にし、長寿命かつ小型化された電動シリンダを提供する。
【解決手段】中空軸モータに、ボールネジとボールスプラインを同一軸上にて接合した駆動軸を挿通させ、ボールネジ部には動力を伝達させるネジナットを、スプライン部には回転を抑制させるスプラインナットを各々装着させ、中空軸モータの回転駆動力を、緩衝装置を介してボールネジナットへ伝達させ、駆動軸を、特に短い距離（１５０mm以下）を往復運動させることを特徴とする電動シリンダを提供する。緩衝装置により機械誤差等を吸収する構造である為、機械要素部の変位等に影響されることなく運転が可能。シリンダ容量も大きく、消耗品も無く部品交換も不要であり、高圧ポンプ用の動力装置として、安定性・小型化・長寿命を達成した最適なシリンダとなる。 （もっと読む）

【課題】確実且つ強固な噛み合わせ、チェーン剛直化部分の座屈、折損及び曲がりを回避する噛合チェーンユニットを提供すること。
【解決手段】噛合動作を完了させる直前にある外歯リンクプレート１１２ＡＹと外歯リンクプレート１１２ＢＺとの噛合動作が、第１ピン間距離ｄ１を第２ピン間距離ｄ２にほぼ等しくさせるとともに、第３ピン間距離ｄ３を第２ピン間距離ｄ２に近接させるように完了する噛合チェーンユニット１００。 （もっと読む）

【課題】本発明は，高剛性で軽量であって高速，高加減速の作動にも対応可能で高精度に位置決め可能で，断面高さが小さいコンパクトな構造に構成する。
【解決手段】本発明のクリーン環境用アクチュエータは，ベッド５とスライダ３とを筐体１で覆い，ベッド５の側壁３３に形成されたＴスロット２９にパッキン３０を挿入して装着してベッド５とサイドカバー３との隙間を密閉する。筐体１は，ベッド５の両端面を覆うエンドブラケット９とモータブラケット１０，ベッドの両側面と上面とを覆う一対のサイドカバー３，サイドカバー３間の開口部を覆うシールプレート４，及びシールプレート４の両側面から突出して露出したテーブル６とスライダ２に掛かるシールプレート４の部分とを上方から覆うテーブルカバー７から構成されている。 （もっと読む）

【課題】ボールねじのナットの軸方向端部に接触シールを取り付ける際に、シールのリップ部とねじ軸との周方向での位置合わせが簡単にできるようにする。
【解決手段】シール４が固定されたシールキャップ５をナット１の取付部１２に固定することで、シール４をナット１に取り付ける。取付部１２の外周面の周方向で異なる位置に３つの平面部１３を形成する。シールキャップ５は、取付部１２に外嵌する環状部５１と、内向きフランジ部５２とからなる。環状部５１には、３つの平面部１３と同じ位置に、３つの貫通ねじ穴（貫通穴）５１ａを形成する。シールキャップ５の環状部５１をナット１の取付部１２に外嵌し、平面部１３に貫通ねじ穴５１ａを合わせて小ねじ７を螺合することで、シール４がナット１に取り付けられるとともに、シール４のリップ部４１とねじ軸２との周方向での位置合わせがなされる。 （もっと読む）

【課題】 多様な方向からの荷重を受けることができ、剛性が高く、直動案内精度が良く、コンパクトに構成できる直動案内機構を提供する。
【解決手段】 直動案内機構１は、ハウジング２と、このハウジング２に軸中心Ｏ回りに回転自在かつ軸方向に移動不能に支持されたねじ軸３と、このねじ軸３に螺合したナット４を含みねじ軸３の回転によりねじ軸３の軸方向に移動させられる直動体５とを備える。ハウジング１にねじ軸３の軸方向に沿う複数の案内面１５，１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを設ける。これら複数の案内面１５は２面ずつが対となる。これら対となる２つの案内面１５は、互いに非平行で背を向き合う。直動体５に、各案内面１５にそれぞれ接する複数の被案内体１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】確実且つ強固に噛み合うとともにチェーン剛直化部分の座屈や捩れを回避する噛合チェーンユニットを提供すること。
【解決手段】プレート重なり領域Ｐが、接触部分面１１１ａａ、１１１ａａと平坦な座屈規制端面１１２ｂ、１１２ｂとで外縁を規定されているとともにフック状噛合端面１１１ａ、１１１ａ及び座屈規制端面１１２ｂ、１１２ｂの交差点Ｃに対して相互に点対称な2つのプレート重なり部分Ｐａ、Ｐａの輪郭から構成されている噛合チェーンユニット１００。 （もっと読む）

【課題】中空軸モータ及び減速機を挟み、緩衝装置と２つのネジナットを設置した構造を特徴とするシリンダ装置（特願２０１０−５０７１５３号公報、以下特願という）を、両端に出力軸フランジが存在する中空軸モータ（以下サーボモータという）を擁するシリンダ装置用に構造を簡素化。
【解決手段】本発明は、サーボモータにネジ軸を挿通させ、このサーボモータの一方の出力軸に連結される第１ネジナットを備え、さらにサーボモータを挟んで、他方の出力軸に連結される緩衝装置及び第２ネジナットを備えた構造を特徴とするシリンダ装置であり、前記シリンダ装置（特願）の発明である中空軸モータの回転駆動力を、緩衝装置を介して２つのネジナットへ伝達させる機構を維持しつつ、かつ、減速機等を必要としないサーボモータ用に簡素化された構造となり、搬送のみならず、サーボモータを擁する高圧ポンプの動力源としても使用可能なプランジャシリンダ装置となった。 （もっと読む）

【課題】低コスト化が可能なワイヤ駆動式搬送装置及びワイヤ駆動式搬送装置の制御方法を提供する。
【解決手段】ステージ３と、駆動装置４と、張力付与装置５と、制御装置７と、を備えている。駆動装置４は、前記ステージ３に接続された第１ワイヤ１２、前記第１ワイヤ１２をその回転により巻き取り及び送り出すことで前記ステージ３を移動させる第１モータ１１、及び、前記第１モータ１１の回転を検出する第１ロータリエンコーダ１３を具備する。張力付与装置５は、前記第１ワイヤ１２に一定の張力を付与する。制御装置７は、前記第１ロータリエンコーダ１３により検出した前記第１モータ１１の回転から前記第１ワイヤ１２の伸縮量、及び、前記伸縮量から前記ステージ３の位置を補正する補正量を算出する算出部３２を有し、前記補正量に基づいて前記モータを駆動させる。 （もっと読む）

【課題】相変態を制御してω相を消失させるとともに新相を析出させたチタン材料を転動装置に対して適用する技術を提供する。
【解決手段】この転動装置４０は、外面に軌道面４１ａを有する内方部材４１と、内方部材４１の軌道面４１ａに対向する軌道面４３ａを有して内方部材４１の外側に配置された外方部材４３と、両軌道面４１ａ，４３ａ間に転動自在に配置された転動体４２と、を備えるものである。そして、内方部材４１、外方部材４３及び転動体４２のうちの少なくとも１つが、電子顕微鏡法によって得られた電子回折図形上で、隣り合う母相の回折斑点の略中心を結ぶ仮想線上から逸れた位置に回折斑点が存在する新相２２を有するチタン材料から成っている。 （もっと読む）

【課題】壁掛け姿勢においてもレール内への異物の侵入を防ぎ、スパッタ環境での充分な耐久性を有し、高負荷に対応する際に大型化することのない防塵カバーを有する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシート５とを有する。スライドユニット３０は、その移動方向に沿って、シート５を収容し、スライドベース３１と、方向転換部４０とを有する。スライドユニット３０内に異物が侵入することを防ぐ側面カバー３６が、レール１０の長手方向に沿ってスライドユニット３０と前記レールとの間の隙間の少なくとも一方を覆うように設けられている。 （もっと読む）