【課題】本発明は、軽量化を図った反動吸収装置を提供すること、あるいは軽量化を図った反動吸収装置を用い、更に処理時間を短い生産性或いは品質の高い半導体組立装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、装置ベースと、装置ベースに固定された支持体と、第１のボールネジと、前記第１のボールネジによって所定方向に移動され、少なくとも半導体を組み立てる処理ヘッドを負荷とする負荷ユニットと、前記所定方向と逆の方向に反力を発生させる第２のボールネジと、前記第１のボールネジと前記第２のボールネジを駆動する動力源を有する駆動ユニットと、を具備するカウンタ機構部と、前記支持体と、前記カウンタ機構部を前記第２のボールネジにより移動可能に支持する支持部材とを備えている反動吸収ユニットを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】必要な最大推力を維持しながらロッドの動作時間による生産効率の低下を抑制する電動シリンダを提供する。
【解決手段】本電動シリンダ１は、ボールねじ軸６に設けた、リードが互い相違する小リードねじ部１０及び大リードねじ部１１と、シリンダ本体２内に軸方向に移動自在に、且つ回転不能に配置され、小リードねじ部１０に各ボールを介して螺合可能な第１ピストン１２と、シリンダ本体２内に軸方向に移動自在に、且つ回転不能に配置され、大リードねじ部１１に各ボールを介して螺合可能な第２ピストン１３と、第１ピストン１２と第２ピストン１３との間に配置されたコイルスプリング１４と、第１ピストン１２に連結され、先端部がシリンダ本体２の底部から突出するロッド１５とを備えたので、必要な最大推力を維持しながらロッドの動作時間による生産効率の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動部の回転方向を切り換えることで第１被駆動部または第２被駆動部に駆動力を選択的に伝達する駆動力伝達機構においてその機構の専有スペースを小さくすること。
【解決手段】歯車７（駆動部）が第１の方向に回転駆動されたとき、雄ネジ７Ｄと雌ネジ９Ｂとの螺合が解除されると共に雄ネジ７Ｂと雌ネジ５Ｂとが螺合して、歯車７は歯車５（第１被駆動部）に近接する方向に軸３に沿って摺動する。そして、雄ネジ７Ｂと雌ネジ５Ｂとの螺合がある程度進行すると、その螺合によって歯車７と歯車５とが一体に回転する。逆に、歯車７が前記第１の方向とは逆方向に回転駆動されたとき、雄ネジ７Ｂと雌ネジ５Ｂとの螺合が解除されると共に雄ネジ７Ｄと雌ネジ９Ｂとが螺合して、その螺合がある程度進行すると歯車７と歯車９（第２被駆動部）とが一体に回転する。 （もっと読む）

【課題】変位増幅機構で相対変位する部材間の相対変位を効率的に増幅させることができると共に、変位増幅機構から制振ダンパーに伝達される変位のロスを少なくすることができる。
【解決手段】互いに相対変位する下階梁（第１部材）３２および上階梁（第２部材）３３の間に介装され、下階梁３２と上階梁３３との相対変位を増幅させる変位増幅機構１０と、一方の端部４０ａが下階梁３２に固定され、他方の端部４０ｂが変位増幅機構１０と接続される制振ダンパー４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ロボットハンドの指機構の屈伸用駆動系の簡素化を可能とするようなアクチュエータの提供。
【解決手段】進退動を行う直動軸３（３ａ、３ｂ、３ｃ）を有した複数の直動モータ２（２ａ、２ｂ、２ｃ）を組み合わせて多段直動アクチュエータ１を形成する。それについて、直動モータそれぞれの直動軸を中空構造として軸腔を有するように形成し、そして隣接前段の直動モータの直動軸の軸腔に対し隣接後段の直動モータの直動軸が挿通するように、各直動モータを組み合わせることで、各直動モータそれぞれの直動軸が同一の軸芯上で個々に進退動をなせるようにしている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムへの空気給排による高さ調節に伴うストッパの高さ調節が、従来に比べて簡便に行えるように改善された空気ばねを提供する。
【解決手段】車体側の外筒１と、台車側の内筒２と、ゴム製ダイヤフラム３とで成る空気ばね部ａを有し、ダイヤフラム３の圧縮量が所定値になると、共にダイヤフラム３内に配置される上ストップ部材５と下ストップ部材１５とが当接して外筒１の過剰下降が規制される下降規制手段Ｓを持つトッパ付空気ばねにおいて、下ストップ部材１５の高さを無段階に変えて圧縮量を調節する高さ調節装置１２と、下ストップ部材１５の高さ位置を変更調節する操作をダイヤフラム３の外側にて行う操作機構１３を有する。 （もっと読む）

【課題】大型化することなく、大きな慣性質量効果を得ることができる回転慣性質量ダンパーを提供する。
【解決手段】当接離間する方向に相対変位する第１部材および第２部材の間に介装され、相対振動を低減するための回転慣性質量ダンパー４０において、変位増幅機構を備え、変位増幅機構は、ねじ部と、ねじ部を挿通可能なナットと、ねじ部とナットとの間に配されたボールベアリングと、を有するボールねじ２１，２２と、ねじ部またはナットとともに回転可能に配された回転錘３１と、を備え、回転錘を境界にして両側に第１ねじ部１１および第２ねじ部１２がそれぞれ配されるとともに、第１ねじ部が挿通された第１ナット１３および第２ねじ部が挿通された第２ナット１４が配され、第１ねじ部および第１ナットの間に配された第１ボールベアリングの第１リードと、第２ねじ部および第２ナットの間に配された第２ボールベアリングの第２リードと、が異なっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、軽量化を図った反動吸収装置を提供すること、あるいは軽量化を図った反動吸収装置を用い、更に処理時間を短い生産性或いは品質の高い半導体組立装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、第１のボールネジによって所定方向に移動される負荷ユニットと、前記所定方向と逆の方向に反力を発生させる第２のボールネジと、前記第１のボールネジと前記第２のボールネジを駆動する駆動モータを有する駆動ユニットとを具備するカウンタ機構部を有する反動吸収装置において、一端側は前記第２のボールネジと結合するナットを具備し、他端側は前記カウンタ機構部と相対的に移動可能な装置ベースに固定されている反動吸収ユニットを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】進み角の差異によるメリットをより有効活用すること。
【解決手段】進み角が異なるねじ部を有した駆動軸５１と伝達軸７１との間にクラッチ機構６０を介在させ、かつ回転体３０に対する第１ハウジング１０および第２ハウジング２０の相対的な回転を規制する固定体５２およびスプリング７３を設けている。このため、クラッチ機構６０を伝達状態と非伝達状態とに切り替えることにより、回転動作させるねじ部を選択的に変更することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造で製造コストを削減できる直進、回転機構を提供する。
【解決手段】シャフト３ａ，３ｂを平行に固定して設置した１対のシャフトリニアモータ１ａ、１ｂの可動部２ａ，２ｂに、それぞれ各シャフトの中心軸に平行な回転軸を有する螺合部材であるボールナット２１ａ、２１ｂを固定する。これらのボールナット２１ａ、２１ｂは、１本のボールネジ４の正リード部４１と逆リード部４２にそれぞれ螺合しているのであるが、２箇所のリード部は逆方向にネジが切ってある。このように構成することによって、可動部２ａ、２ｂの動作方向と速度を制御することによって、ボールネジ４の直進運動と回転運動を同時に制御できる。 （もっと読む）

【課題】小型化と大きな動作量という相反する２つの技術的課題を同時に達成することができる回転−直動変換機構およびアクチュエータを提供する。
【解決手段】回転−直動変換機構３は、遊星歯車機構５と、第１、第２のねじ棒８、３２と、送り部材７と、主軸９およびスリーブ３３を備えている。遊星歯車機構５は、モータ４によって太陽歯車２０を駆動し、遊星歯車２４を回転させるとともに公転させる。第１のねじ棒８は、送り部材７に一体に設けられ、主軸９を直動させる。第２のねじ棒３２は、遊星歯車軸２３に一体に設けられている。送り部材７は、遊星歯車２４の公転にともなって回転するとともに第２のねじ棒３２に沿って直動する。スリーブ３３は、カバー２Ｂに回転を防止されて摺動自在に支承され、送り部材７と一体に進退する。 （もっと読む）

【課題】進み角の差異によるメリットを有効活用した上で、進み角が小さいねじ部で回転動作している状態においてハウジングと駆動軸とを軸方向に沿って相対移動させるべく操作力が加わった場合に、この操作力によってハウジングと駆動軸とを軸方向に沿って相対移動させること。
【解決手段】回転体３０が、駆動めねじ部３４を介して駆動軸５０の駆動おねじ部５１に螺合する一方、駆動軸５０の駆動ねじ部５１よりも小さい進み角で形成した伝達おねじ部３６を介してハウジング２０に螺合している。このため、軸方向に操作力が加わった場合に、進み角が大きい駆動めねじ部３４および駆動おねじ部５１が回転動作することになり、ハウジング２０と駆動軸５０とを軸方向に沿って相対移動させることができる。これにより、バックドアＤの開閉操作によって、車両の取り付け部分に負荷がかかる事態を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】長尺の案内レールを使用することなく被駆動体をロングストロークにわたって搬送可能とする。
【解決手段】この多段構造のアクチュエータ１は、複数の駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄそれぞれが、二つのボールねじ１１Ａ，１１Ｂを有している。二つのボールねじ１１Ａ，１１Ｂは、相互のナット５，５が逆方向に駆動され、また、隣り合う駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄのナット５，５相互が連結されている。さらに、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄには、案内レール２が取り付けられ、これを支持する複数の案内部材３は、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄ毎に軸方向に離間してベースＢに配置されている。そして、各案内レール２は、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄの移動に伴って、複数の案内部材３に順次に受け渡されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】一の駆動源により複数のヘッドをスライド駆動させることができるとともに、複数のヘッドにおけるヘッド同士のピッチを高い自由度を以って設定することができるスライド駆動装置を提供する。
【解決手段】スライド駆動装置１は、固定ヘッド３０と可動ヘッド３１とが、ボルト３０３とナット３１６とにより連結されている。また、可動ヘッド３１と可動ヘッド３２とが、ボルト３１３とナット３２６により連結され、可動ヘッド３３と可動ヘッド３３とがボルト３２３とナット３３６により連結されている。ボルト３０３，３１３，３２３には、それぞれギア３０１，３０２，３１１，３１２，３２１，３２２を介して回転駆動力が伝達される。ここで、ギア３０１はシャフト２１に固定されており、ギア３１１，３２１はシャフト２１の延伸方向にスライド自在となっている。 （もっと読む）

【課題】進み角の差異によるメリットをより有効活用すること。
【解決手段】進み角が異なるねじ部を有した駆動軸５１と伝達軸７１との間にクラッチ機構６０を介在させ、かつ回転体３０に対する第１ハウジング１０および第２ハウジング２０の相対的な回転を規制する固定体５２およびスプリング７３を設けている。このため、クラッチ機構６０を伝達状態と非伝達状態とに切り替えることにより、回転動作させるねじ部を選択的に変更することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】必要なストロークを確保しつつ、小型化が可能な送りねじ装置を提供する。
【解決手段】大径ナット140が回転駆動されると、大径ナット140が螺合する大径ねじ軸130及び大径ねじ軸130と一体をなす小径ナット120に回転力が作用することとなり、更に、小径ナット120が螺合する小径ねじ軸110にも回転力が作用することとなる。一方、小径ねじ軸110は、ねじ軸を中心とした回転方向の動きが拘束されており、回転することはない。そのため、大径ナット140が回転駆動されると、小径ねじ軸110に対して小径ナット120が回転すると共に、大径ねじ軸130に対して大径ナット140が回転することとなる。そうすると、小径ねじ軸110と大径ねじ軸130とで、ねじの方向が同じなので、大径ナット１４０の回転に伴って大径ねじ軸130が直線運動を行うと共に、小径ナット120の回転に伴って小径ねじ軸110が、大径ねじ軸130と同一方向に直線運動を行う。 （もっと読む）

【課題】高い強度を備えた伝達軸を用いて、耐久性の高い多重嵌合伸縮軸を提供する。
【解決手段】第１伝達軸の回転を、第１伝達軸の第１被係合部に係合された第１係合部により第２伝達軸に伝達させるようにし、かつ、第２伝達軸の回転を、第２伝達軸の第２被係合部に係合された第２係合部により第３伝達軸に伝達させるとともに、第１伝達軸の第１雄ネジを、第１移動パイプの第１ナット部にネジ嵌合し、第２伝達軸の第２雄ネジを、第２移動パイプの第２ナット部にネジ嵌合し、さらに、第３伝達軸の第３雄ネジを、第３移動パイプの第３ナット部にネジ嵌合し、第１伝達軸の回転を、第２伝達軸及び３伝達軸に伝達するとともに、第１、第２、及び第３移動パイプを軸方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招くことなく、長いストロークを有して、コンパクトで強度を確保できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】互いに並行して配置されたロッド１１及びロッド２１と、回転に応じてロッド１１を一方向に伸縮する第１伸縮機構と、回転に応じてロッド２１を第１伸縮機構と逆方向に伸縮する第２伸縮機構と、第１伸縮機構及び第２伸縮機構を同期して回転させる駆動部６とを備えるという構成を採用することによって、伸縮する長尺部材を並行に各々別軸上に設けて、一つの駆動装置によって伸縮させる。 （もっと読む）

【課題】加工が簡単であり、簡易な操作により微細な位置決め調整を可能とした位置決め調整ネジをを提供する。
【解決手段】固定体１に移動可能に設けた位置決め部材２の位置決め調整ネジであって、ピッチ大のネジ６の先端にピッチ小のネジ５を形成したネジ構成よりなり、前記位置決め部材２の一側方で前記固定体１に固設したネジ穴を有する固定部材８に前記ピッチ大のネジ６をねじ込み、その先端のピッチ小のネジ５を前記位置決め部材２にねじ込んだ。 （もっと読む）

【課題】安価で簡単な機構により被調整体の位置及び姿勢の調整を可能とさせる高精度の位置及び姿勢の調整装置を提供する。
【解決手段】調整装置１３は、長手軸線方向に伸縮可能な伸縮機構と、該伸縮機構の先端に取付けられた自在機構４７とを備え、伸縮機構を伸縮させることにより自在機構４７を介して被調整体である支持台１５の位置及び姿勢を調整する。自在機構４７は、長手軸線方向に直交する面に沿って移動可能な平面移動機構と、長手軸線方向に対して揺動可能な揺動装置２３とを有する。 （もっと読む）