【課題】流量制御機器の流量精度を常時監視しつつ、必要な場合には、再検定又は流量監視ユニット自体の自己診断を含む、より信頼性の高い流量検定を行う。
【解決手段】ガスを流量制御機器を経由してから所定のプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスラインに配設し、流量制御機器の前後におけるガス圧の下降又は上昇を測定することで流量制御機器の流量監視を行うガス流量監視システムにおいて、プロセスガスラインの内、選択した任意のプロセスガスラインの流量制御機器の上流側流路に備える第１流量監視ユニットと、プロセスチャンバの上流側流路から分岐する排出流路に備える第２流量監視ユニットと、第１流量監視ユニットによって流量制御機器の流量を常時監視するとともに、第１流量監視ユニットが複数回流量異常と検知した時に第２流量監視ユニットによって流量制御機器の流量異常の有無を再検定するよう指令する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】格段に優れた応答性を得ることができてガス濃度の安定化が図れ、しかも、従来のパネル型形状をそのまま維持できる集積型ガスパネル装置を提供する。
【解決手段】集積型ガスパネル装置１のパネル体２を、少なくとも主流路Ｒ２を形成する主流路用ブロック体３２と、枝流路Ｒ１を形成する枝流路用ブロック体３１とからなるものにし、その主流路用ブロック体３２を中心として左右両側に対向するように前記枝流路用ブロック体３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】ガスの無駄な廃棄を減らすことができるシリンダーキャビネットを提供すること。
【解決手段】実施形態のシリンダーキャビネットでは、第１のガス供給配管内におけるガスの圧力である第１の圧力、第２のガス供給配管内におけるガスの圧力である第２の圧力および外部装置に流されるガスのガス流量に基づいて、前記第１および第２のガス供給配管の何れか一方から前記ガスを前記外部装置に供給するよう自動弁を制御する制御部を備えている。そして、前記制御部は、前記第１の圧力が所定値以下となった場合に前記配管を前記第１のガス供給配管から前記第２のガス供給配管に切り替え、その後、前記ガス流量が所定値以下となった場合に前記第１のガス容器の残ガス量が所定値以上であれば、前記配管を前記第２のガス供給配管から前記第１のガス供給配管に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 ラインの増設・変更に容易に対応できる集積化流体制御装置およびこのような流体制御装置を備えたガス処理装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置は、各ラインA1,A2,A3,A4,A5,B1,B2,B3が複数のブラケット8,9,18,19,20を介して基板1に着脱可能に取り付けられ、通路接続手段47,48が上方に取り外し可能とされている。複数の継手部材11,12,13,14,15,16,17として、複数の管状継手部材13,15,17と複数のブロック状継手部材11,12,14,16とが使用されている。 （もっと読む）

【課題】ガスの無駄な廃棄を減らすことができるシリンダーキャビネットを提供すること。
【解決手段】実施形態のシリンダーキャビネットでは、制御部は、第１のガス容器の残ガス量が所定量以下となった場合にガスを供給するガス供給配管を、前記第１のガス供給配管から第２のガス供給配管に切り替える。また、前記制御部は、第２のガス容器から前記ガスを供給している間に前記第１のガス容器内の残ガスを回収容器内に回収させる。さらに、前記制御部は、前記第１のガス容器が新しいガス容器に交換された際には、前記回収容器に貯められた残ガスで前記第１のガス供給配管内をパージする。 （もっと読む）

【課題】エアコンプレッサの運転を適正化することが可能で、電力消費を低減することができるとともに、タンクで回収される凝集水量を低減することが可能で、タンクのメンテナンス性を向上することができる高圧ドライエア供給システムを提供する。
【解決手段】エアコンプレッサ２で圧縮しタンク６に貯留した高圧エアを、ミストセパレータ１２で除湿し高圧ドライエアにして設備機器２１に供給する高圧ドライエア供給システム１において、ミストセパレータの下流側に、ミストセパレータへの高圧ドライエアの逆流を防止する逆止弁２２を設け、ミストセパレータとタンクとの間に、タンクからミストセパレータへの高圧エアの供給・停止を切り替える電磁開閉弁１９を設けると共に、逆止弁の下流の高圧ドライエア圧力を検出し、当該高圧ドライエア圧力が設定値を超えたとき、電磁開閉弁を閉じてタンクの内部圧力の低下を抑制する第２圧力スイッチ２０を備えた。 （もっと読む）

【課題】需要先にガスを供給する需要流路に、着脱可能な外部の系から、空気を混入させることなく、ガスを供給できるガス供給システムを提供する。
【解決手段】需要流路１３に受入弁１４を介して接続される受入流路１５の受入カプラ１７と、ガス供給源１９に供給弁２３を介して接続される供給流路２６の供給カプラ２５とを、受入弁１４および供給弁２３を閉鎖した状態で結合し、受入流路１５または供給流路２６に排気流路２８を接続する排気弁２７を閉鎖した状態で供給弁２３を開放することにより受入流路１５および供給流路２６の中にガスを供給してから供給弁２３を閉鎖し、排気弁２７を開放することにより受入流路１５および供給流路２６の中のガスを排出してから排気弁２７を閉鎖するパージング処理を少なくとも１回行い、供給弁２３および受入弁１４を開いて、需要流路１３にガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】設備負担の少ないガスボックスを提供すること。
【解決手段】ガスボックス３０は、処理装置へガスを供給するガス供給配管２２に設けられたバルブ２４およびマスフローコントローラ２３の少なくとも一方、ならびにそれらをガス供給配管２２に接続する継手２６を収容するボックス本体３１と、ボックス本体３１内に液体を供給し、その中に液体が充填されるようにする液体供給機構３６と、ボックス本体３１内に充填された液体Ｌをガス供給配管２２内の圧力と同等またはそれ以上に加圧する加圧機構３８とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の配管系とは独立した比較的簡素な検査ユニットを構成し、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知を可能とする。
【解決手段】易破断性の導電部１１を有しており、接続された配管を支持することにより導電部の導通ループが形成される配管支持部１０と、導電部１１と電気的に接続されており、導電部１１の破断を導通ループの分断に基づいて電気的に検知する破断検知部２０とを備えて、接続装置１が構成される。 （もっと読む）

【課題】管路切替装置を小型軽量化し、接続切替を迅速化して運転効率を上げ、液密性を保持するとともに液溜まりを発生させないで、クロスコンタミネーションを防止して高度のサニタリー性を確保することが可能な管路切替装置及びプラント配管システムを提供する。
【解決手段】左右に向いた第１及び第２ポートと下方に向いた第３ポートとを有するＴ字型三方ダイヤフラム弁本体と、上方に向いた第４ポートと第１及び第２ポートと交差した状態で左右に向いた第５及び第６ポートとを有する逆Ｔ字型三方ダイヤフラム弁本体とから構成され、前記第３ポートと前記第４ポートとが上下方向に接続されて前記第１ポートから供給された流体がそれ以外のポートから選択的に排出される管路切替装置において、逆Ｔ字型三方ダイヤフラム弁本体の、第５ポートと第６ポートと両ポートを本体内で連絡する通路の各内面最低高さ水準は、同一または上流側が高く下流側が低くされている。 （もっと読む）

【課題】ガス供給に影響のある地震を検知した場合には速やかにガス流路を遮断しながらも、地震の検知が誤りであった場合の復帰を速やかに行うことを可能とする地震信号処理装置および地震信号処理方法を提供する。
【解決手段】ガスが充填されたボンベから配管を通ってガス供給先にガスが供給されるガス供給システムにおいて、配管からガス供給先へガスを供給または遮断する第１の遮断弁と、ボンベから配管へガスを供給または遮断する第２の遮断弁との開閉を制御する地震信号処理装置が、Ｐ波検知信号が入力されると、第１の遮断弁を閉じてガスの供給を遮断し、Ｓ波検知信号が入力されると、第２の遮断弁を閉じてガスの供給を遮断し、Ｐ波検知信号が入力されて第１の遮断弁を閉じた後にＳ波検知信号が入力されない場合、閉じられた第１の遮断弁を開けてガスの供給を復帰させる。 （もっと読む）

【課題】複数のユースポイントへ液体を分配供給する場合において、各ユースポイントへ供給する液体の流量変動を抑制することができる液体供給システムを提供する。
【解決手段】本液体供給システムには、液体タンク内の液体を下流に供給するための供給ライン１２が設けられており、供給ライン１２には液体を複数の装置等に分配供給するための３本の分岐ラインＬＮ１〜ＬＮ３が接続されている。供給ライン１２において各分岐ラインＬＮ１〜ＬＮ３との接続部位はそれぞれ分岐点Ｃ１〜Ｃ３となっている。本システムには供給ライン１２の液体圧力を検出する圧力センサ３３が設けられており、分岐点Ｃ２と分岐点Ｃ３との中間に当該圧力が検出される圧力検出位置Ｋが設定されている。そして、供給ライン１２の圧力はその検出された圧力に基づいてフィードバック制御される。 （もっと読む）

【課題】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室の雰囲気を大容量でスループットを低下させることなく置換し、定常時などには精度良く処理ガスを導入して雰囲気を常に適切に管理することができる半導体処理装置を提供する。
【解決手段】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室を備え、前記半導体処理室の雰囲気調整を行うため半導体処理室に接続された真空排気系および処理ガス導入系を有し、前記処理ガス導入系には、大容量マスフローコントローラと小容量マスフローコントローラとを備える。大容量のガスを供給する際には、大容量マスフローコントローラによって大容量ガスをスループットを低下させることなく導入でき、定常時などには、大流量マスフローコントローラの精度の悪い領域を使うことなく、小容量ガスの流量を精度良く制御して導入できる。 （もっと読む）

【課題】塗工装置に供給する塗液の送液開始時における塗液供給経路への気泡の混入を効率的に防止することができる塗液供給装置ならびに塗液供給方法を提案することである。
【解決手段】複数の塗液タンクを有し、各塗液タンクには、塗液供給配管と、加圧ガス供給配管と、気泡除去配管が、それぞれ接続手段によって気密に接続されており、各塗液供給配管は、塗液タンクの底部から塗液を吸い上げる構造を有し、それぞれ塗液供給バルブを経由した後、１本に合流し、塗液供給ポンプを経て塗工装置に接続されており、加圧ガス供給配管は、加圧ガス供給源からそれぞれ塗液タンク加圧バルブを経由し、塗液タンク圧力解放バルブを分岐した後、各塗液タンクに接続されており、気泡除去配管は各塗液供給配管の、塗液供給バルブの直前から分岐して、それぞれ気泡除去バルブを経由して他の塗液タンクに接続されていることを特徴とする塗液供給装置である。 （もっと読む）

【課題】 標準化を阻害することなく、誤組付けを防止した流体制御装置を提供する。
【解決手段】 ３ポート弁5の接続部5aの追加のおねじ部材挿通孔17に対応する継手部材13のねじ孔に、追加のおねじ部材挿通孔17に挿通されて上端部が第２接続部材5aの上方に突出させられる位置決め兼用おねじ部材18の下部がねじ込まれている。３ポート弁5の接続部5aの４隅のおねじ部材挿通孔16に、上方から流体制御機器固定用おねじ部材11が挿通されて、これらのおねじ部材11が対応する継手部材12,14のねじ孔12a,14aにねじ合わされている。３ポート弁5の接続部5aの追加のおねじ部材挿通孔17に挿通されている位置決め兼用おねじ部材18の上端部に、上方から流体制御機器固定用めねじ部材15がねじ合わされている。 （もっと読む）

【課題】流動体を管内に流通させた場合に流動体と管との界面に発生する流動帯電をより確実に除去する技術を提供する。
【解決手段】管体１００は、螺旋状に巻回し、内部に流動体が流通する中空の螺旋状導通管１００Ｃと、螺旋状導通管１００Ｃの流入口１００Ａ及び流出口１００Ｂ近傍同士を電気的に短絡させる短絡部材１４０と、流入口１００Ａ近傍に接続され、螺旋状導通管１００Ｃと短絡部材１４０とで構成された閉回路を接地するアース部１６０とを含み構成される。 （もっと読む）

【解決手段】一実施形態において、複数のガスのガス混合物を提供する装置は、複数の質量流量コントローラ（ＭＦＣ）と、複数のＭＦＣのそれぞれと流体連通する混合マニホールドと、混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口と、複数の混合マニホールド出口のそれぞれと流体連通する隔離デバイスと、を有し得る。 （もっと読む）

【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。
【解決手段】第１遮断弁７Ａと、第１遮断弁７Ａの下流側に配置された流量制御機器８Ａと、流量制御機器８Ａの下流側の圧力を測定する圧力センサ１２とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ１２が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム１６において、流量制御機器８Ａの正常時に圧力センサ１２が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段２７と、第１遮断弁７Ａを介して流量制御機器８Ａに供給され、流量制御機器８Ａに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ１２に供給したときに、圧力センサ１２が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の循環配管を有することにより、並列した循環配管の対応した配管部分を同時に使用して移送物を移送することができ、より自由度の高い移送処理を実施することが可能な配管システムを提供する。
【解決手段】機器群同士を連結する配管システムであって、機器群内の各機器Ｅ_１〜Ｅ_１４に個別に接続する専用配管ＳＰ_１〜ＳＰ_１４と、環状の複数の循環配管１，２と、各専用配管ＳＰ_１〜ＳＰ_１４と各循環配管１，２とを接続する切替装置ＳＷ_１〜ＳＷ_１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】シリンダーキャビネットからのプロセスガスの排気量を制御して除害装置の負荷を低減させることができ、十分な安全性を保ちながらプロセスガス供給設備の装置コストや除害装置の保守コストの削減を図れるシリンダーキャビネットを提供する。
【解決手段】ガス供給経路２２から高圧側排気弁２６，低圧側排気弁３１を介して分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路４１を備えたシリンダーキャビネット１１において、前記排気経路として、主排気弁４２を備えた主排気経路４３と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段４４及び副排気弁４５を備えた副排気経路４６とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設ける。 （もっと読む）