【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置１は、スライダ案内面２１１、２１２が磁性体で形成されたレール２と、レール２の長手方向Ｘにレール２のスライダ案内面２１１、２１２上を非接触で移動するスライダ３と、を備えている。スライダ３は、Ｌ字型に組み合わされたスライドプレート３１と、スライドプレート３１およびレール２の間に介在するようにスライドプレート３１に取り付けられた第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂと、を備えている。第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂは、磁力を発生する磁力発生部４１と、磁力発生部４１の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部４２と、を備えている。圧縮空気供給部４２の端面４２１は、磁力発生部４１の端面４１１とともに、レール２のスライダ案内面２１１、２１２と非接触で対面する支持面４０を構成している。 （もっと読む）

【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸３に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸３の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材４を有している。回転軸３の筒状部材４から大気側に延出する部分には、回転軸３より大径のフランジ部５が一体的に形成され、このフランジ部５に所定の隙間を存して囲うカバー部材６が配置されている。カバー部材６の内周面には、回転軸３の長手方向に沿う環状の２つの第２の加圧溝６１ａ，６１ｂが凹設されている。給気通路６２ａ，６２ｂと給気管６３ａ，６３ｂとコンプレッサー４８とが、第２の加圧溝６１ａ，６１ｂにベアリングガスを供給する第２のガス供給手段を構成する。 （もっと読む）

【課題】可動物体３２の傾きを防止して、ポケット２ａの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット２ａに流入させる可変絞り３を、流体供給室３ａと流体排出室３ｂの間を可動物体３２で仕切る。流体排出室３ｂの端面の中央部にポケット２ａに連通する流出口３１ｂを備え、その外周に流体貯留溝３１ｃと第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅを配置した構造とする。可動物体３２の端面３２ｅの第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅの間に対向する部位に窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を備える。流体供給室３ａと流体貯留溝３１ｃの間を連通する流路３２ｄと、流体供給室３ａと窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を連通し固定絞り３２ｂを持つ流路３２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】負荷変動に強く、かつ搭載装置の小型・軽量化を可能とする静圧気体軸受構造を提供する。
【解決手段】エアベアリング１は、相手部材を引き寄せる磁力を発生する磁力発生部１１と、磁力発生部１１の周囲に配置され、相手部材に向けて圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部１２と、磁力発生部１１および圧縮空気供給部１２が取り付けられるベースプレート１３と、エアベアリング１の傾きを調整自在に保持するボールジョイント１４と、を備えている。磁力発生部１１は、円柱状に形成されたネオジム磁石等の永久磁石である。圧縮空気供給部１２は、貫通孔１２３が中央に形成された円板状部材であり、この貫通孔１２３に磁力発生部１１が嵌入されている。圧縮空気供給部１２の一方の端面１２１は、貫通孔１２３に嵌入された磁力発生部１１の一方の端面１１１とともに、相手部材の表面と非接触で対面する支持面１０を構成している。 （もっと読む）

【課題】長尺であっても軸受が中央部に位置したときに、当該軸受と無端ベルトとの干渉が発生することを低減するアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する軸受５とを備える。従動プーリ２の径は、駆動プーリ１の径よりも大きく設定される。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの外径寸法を減少させることが可能であり、軽量化及び小型化が可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】ハウジング２内へ静圧気体軸受６により回転可能に支持されている回転軸４の一端側へ取り付けられ、且つタービン羽根１２を有する円板状のタービン部１０と、ハウジング２に形成され、且つタービン羽根１２へ向けて気体を噴出するためのタービンエア噴出用ノズル部２２を備え、ハウジング２は、軸方向の両端面のうちタービンエア噴出用ノズル部２２に近い側の端面である第一ハウジング端面２ａ側に形成された凹状溝２４と、タービンエア噴出用ノズル部２２と凹状溝２４とを連通するタービンエア供給用連通路２８を有し、凹状溝２４は、回転軸４の径方向及び軸方向から見て、タービン部１０と重ならない位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度な加工を安定して実現できる静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械を提供する
【解決手段】スピンドル１０と、このスピンドル１０を空気層を介して回転可能に支持したエアーベアリング機構と、増圧装置(５１，５２)および圧力レギュレータ５４を含み、圧力レギュレータ５４からの空気をエアーベアリング機構に供給するエアー供給手段５０と、スピンドルを回転させる回転駆動機構とを備えた静圧空気軸受スピンドル装置。増圧装置と圧力レギュレータとの間に、増圧装置からの空気の温度を制御して圧力レギュレータに供給する温度調整装置５３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受案内面の精度が不十分であったとしても、移動テーブルの変形が生じにくく移動テーブルを安定姿勢で移動させることができる移動テーブル装置及び露光装置並びにエアパッドを提供する。
【解決手段】ＸＹテーブル装置は、軸受案内面２ａを有するベース２と、ベース２上を直線移動する移動テーブル１と、気体を噴出する噴出口１０ｂが形成された気体軸受面１０ａを備え軸受案内面２ａと気体軸受面１０ａとの間に静圧気体軸受を構成可能なエアパッド６と、を備える。エアパッド６は、気体軸受面１０ａを備える軸受部１０と、気体軸受面１０ａの垂直方向に進退可能に軸受部１０を保持するハウジング部１１と、を備える。さらにエアパッド６は、軸受部１０を気体軸受面１０ａの垂直方向に進退させて、移動テーブル１とベース２との間の垂直方向距離を一定に保つコイルバネ２０を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で動作の確実な２段絞りを構成できる板ばねを用いた可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞ってポケットに流入させる可変絞りを、流体供給室３１ａと突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａの間を突起部３１ｂと所定の隙間を隔てて正対する板ばね３３で仕切り、突起部３１ｂに開口３１ｃを有しポケット２ａに連通する流路を備える構造の可変絞り形静圧軸受において、板ばね３３の突起部３１ｂに対向しない部位に、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を連結する固定絞り３３ａを備える。 （もっと読む）

【課題】スラスト軸受を冷却可能とした回転電機を提供する。
【解決手段】主軸と、主軸のラジアル方向を軸支持するジャーナル軸受と、主軸のスラスト方向を軸支持するスラスト軸受と、主軸をジャーナル軸受およびスラスト軸受を介して支持するフレームと、を備え、スラスト軸受は、スラスト軸受を冷却するための冷却液を流す冷却液路が形成されている。また、主軸は、スラストフランジ部に対する負荷側を縮径させた縮径部が形成されており、縮径部側に配置された第２のスラスト軸受部に、主軸の縮径分に相当する拡幅部分を形成し、拡幅部分に冷却液路を形成するための冷却液路形成領域を形成している。 （もっと読む）

【課題】シャフトの損傷を防止し、かつコスト低減が可能なエアロールユニットの構造を提供する。
【解決手段】エアロールユニット１は、ロール本体２０に連結されたシャフト２１と、シャフト２１に装着されたカラー３と、カラー３を非接触で支持するエアベアリング４と、スラストプレート５を介してカラー３に取り付けられた回り止め板６と、を備えており、カラー３の内径ｒ２がシャフト２１の外径ｒ１より大きく設定されている。回り止め板６には、内周面６５と外周面６６とを径方向に繋ぐスリット６７が形成されるとともに、外周面６６からスリット６７を跨ぐように深座ぐり付き穴６８が形成され、この深座ぐり付きネジ穴６８にボルト８３を挿入して、ボルト８３を締めたり緩めたりすることで、回り止め板６のシャフト２１への取付および取外しが可能である。 （もっと読む）

【課題】板ばねを用いた可変絞りの構成部材の加工精度が低くても、剛性のばらつきが小さく所望の剛性を容易に得られる可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体供給室３２ａと、中央部に突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａと、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を仕切る板ばね３３により構成される可変絞り３により、静圧軸受のポケット２ａに供給される流体の流量を絞る。ポケット２ａから流体を排出する経路として、ポケット２ａとベース１０の間隔ｔ_１以外に、ポケット２ａの側面から流体を排出するための固定絞り２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】高速回転する部品を、簡易な構造で、より安定して非接触支持するコンパクトなエアベアリングユニットの構造を提供する。
【解決手段】多孔質焼結層１０２からラジアル軸受隙間６０に流体ｔを供給してラジアル軸受隙間６０内に流体膜を形成し、その流体ｔをラジアル軸受隙間６０から、ラジアル軸受隙間６０に繋がるスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに排気させる。この排気ｔ１を利用してスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂ内に流体膜を形成する。ラジアル軸受隙間６０から排気された流体ｔがスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに供給されるため、ラジアル軸受隙間６０からの流体ｔを排気するための溝や、スラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに流体ｔを噴出するスラスト軸受面を別途設ける必要がない。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】回転軸と軸受パッドとの接触面積が減少した場合においても、ポンプの許容油圧範囲内で回転軸を浮上させる。
【解決手段】回転軸の外周面に接触して回転軸との間で所定の接触範囲Ｅを形成する支持面を有する軸受パッド４と、軸受パット４と軸受ハウジングとの間に介在され、軸受パットを搖動可能に支持するピボットとを備えるジャーナル軸受において、支持面５の接触範囲Ｅの内側に、接触範囲Ｅの外縁に沿う環状の溝部８が形成され、この溝部に対して軸受パッド４内に穿設された給油孔９を介して高圧油を供給する高圧油供給手段をさらに備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）