【課題】減衰性や制御性を高めることができ、また、クリーンルーム等の環境で使用する装置類に好適な流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフト１と、シャフト１の外周に対して非接触状態の軸受２を備え、軸受２は、シャフト１の軸線方向における両側に、シャフト１の全周にわたって気体を供給する気体供給部３，３を備えると共に、両気体供給部３，３の間に、シャフト１の全周にわたって液体Ｌ１を供給する液体供給部４を備えた流体軸受装置としたことにより、気体による低摩擦機能に加え、液体の粘性によるダンパ機能を確保して減衰性や制御性を高めることができ、また、液体の漏出を阻止してクリーンルーム等の環境で使用する装置類に非常に好適なものとなった。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で単純、加工および組立精度が低くて良く、隙間の変動に対し安定で、かつ安価な、スクイーズ空気膜圧特性に優れたスクイーズ空気軸受、および大がかりな付帯設備が不要で、小型で簡便な装置であり、高精度駆動および位置決めが可能な平面アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】スクイーズ空気軸受は、振動子１により振動する振動面２１と対向する面のいずれかが外周部に凸部２２を設けるなど平面でなくすことにより、スクイーズ空気膜力特性を改善させる。平面アクチュエータ装置は、非接触軸受としてスクイーズ空気膜力特性に優れたスクイーズ空気軸受を備える。 （もっと読む）