【課題】可動物体３２の傾きを防止して、ポケット２ａの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット２ａに流入させる可変絞り３を、流体供給室３ａと流体排出室３ｂの間を可動物体３２で仕切る。流体排出室３ｂの端面の中央部にポケット２ａに連通する流出口３１ｂを備え、その外周に流体貯留溝３１ｃと第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅを配置した構造とする。可動物体３２の端面３２ｅの第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅの間に対向する部位に窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を備える。流体供給室３ａと流体貯留溝３１ｃの間を連通する流路３２ｄと、流体供給室３ａと窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を連通し固定絞り３２ｂを持つ流路３２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】複数のユニットを有するモータ制御装置において、大きな負担を必要とせずに、モータ軸の振れ回りを抑制する。
【解決手段】軸変位検出値α１，β１，α２，β２から、軸変位検出値の並進運動成分αｐ，βｐと回転運動成分αｒ，βｒとを求め、前記並進運動成分αｐ，βｐと回転運動成分αｒ，βｒのそれぞれについて、ローパスフィルタＬＰＦ１によって、軸の回転周波数に同期した直流成分の信号のみを抽出し、周期外乱オブザーバ５０ａ，５０ｂによって前記直流成分の信号に基づいて外乱を推定し、前記推定した外乱を抑制する軸変位指令値の並進運動成分αｐ^*，βｐ^*と回転運動成分αｒ^*，βｒ^*を演算する。そして、軸支持制御部２０において、軸変位指令値の並進運動成分αｐ^*，βｐ^*と回転運動成分αｒ^*，βｒ^*に基づいて、各モータの軸変位指令値を算出する。 （もっと読む）

【課題】外乱が作用して、スラスト空気軸受の釣り合い位置から回転軸が上下動した場合でも、回転軸の自励振動を抑制して短時間に釣り合い位置に戻すことができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】シール円板１ｂの下面に向けてスラスト支持用の加圧空気を供給するスラスト給気孔１１ａを有する軸受マウント１０と、スラスト給気孔１１ａに加圧空気を供給する加圧空気源１２と、スラスト給気孔１１ａと加圧空気源１２との間に設けられた空気たまり１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ポンプ運転中にハイレベル信号およびローレベル信号の生成が不安定になるのを未然に防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータと一体に設けられたセンサターゲットと、そのターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式の回転センサと、センサ信号の電圧レベルとHigh-Low判定用の閾値Ｖ_Ｌ，Ｖ_Ｈとを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する回転センサ回路とを備える。電源投入時に、ロータを複数の回転角度位置に順に停止させ、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｌ以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｈ以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】基板の平面度調整を行うために、基板を保持する保持手段の裏面を支持する支持手段と前記裏面とに隙間が生じないようにするステージ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】保持手段の裏面と支持手段との間に空気を供給し、前記保持手段を前記支持手段から浮上させる軸受手段と、前記軸受手段から供給される気体の流量を検出する検出手段と、前記支持手段の駆動を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記軸受手段により前記保持手段を浮上させたときに、前記検出手段によって検出される流量が、所定の流量の範囲内になるように前記支持手段の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】油分を許容しない真空環境下で使用される軸受において、高回転数で使用できかつ長寿命な軸受の提供を目的とする。
【解決手段】内輪２および外輪３と、この内輪２および外輪３間に介在する複数の転動体４と、該複数の転動体４と摺接し保持する保持器５とを備えた転がり軸受１であって、上記保持器５が、金属材料または耐熱性樹脂材料からなり、上記保持器５表面の少なくとも一箇所以上の面に、二硫化タングステン粉末を含有する被膜を形成してなり、該被膜中に占める二硫化タングステン粉末の配合割合が 80 体積％〜95 体積％である。 （もっと読む）

【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸５０が挿通される軸受孔７と、流体軸受２の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔９，１０と、流体軸受２内で軸受孔７を外囲し、流体流入孔９，１０に連通する流体流路１１と、流体流路１１を軸受孔７に連通させる流体絞り１４，１５と、を有し、流体流入孔９，１０が複数設けられ、流体流路１１が流体流入孔９，１０に対応して複数の分割流体流路１２，１３に仕切られ、分割流体流路１２，１３にはそれぞれ少なくとも１つの流体絞り１４，１５が連通している。 （もっと読む）

【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ（２部材の間隔）の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段５６Ｖから軸受ポケット５６Ｐまでの経路における、可変絞り手段５６Ｖまたは流体流路５６Ｈまたは軸受ポケット５６Ｐの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段５６Ｅと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段５６Ｅの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）

本発明はピストン機関（１）に関する。これはピストン（３）とハウジング（２）とから構成されている。ピストン（３）がハウジング（２）内で移動可能に磁気軸受されている。ピストン（３）の磁気軸受のための装置（７）がハウジング（２）に対して相対的に位置を固定されて配置されている。第１ピストン（３）の磁気軸受と併せたリニア機械（１５）は、摩擦防止をもたらし、従って機械エネルギを電気エネルギに変換するための機械が潤滑油注入を要することなく少ない機械費用でもたらされる。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関しており、真空ポンプは軸(12)に支持されたポンプ要素(14)を備えている。軸(12)は、第１の軸受組立体(24)と第２の軸受組立体(26)とによりポンプハウジング(10)内に支持されている。動作中に生じる軸(12)とポンプハウジング(10)との熱膨張の差を補償するために、第１の軸受組立体(24)は、軸方向の移動を少なくとも部分的に補償するための補償要素(32)を有する。
（もっと読む）

【課題】小型軽量で高いトルクが発生でき、軸方向位置および回転制御と傾き制御の簡単な構成、軸方向位置および回転制御と傾き制御の容易なアキシャル型磁気浮上モータおよびアキシャル型磁気浮上遠心ポンプを提供する。
【解決手段】上部ステータの突極にロータの軸方向位置および回転制御を行なう上部軸方向位置・回転制御用コイルおよびロータの傾き制御を行なう上部傾き制御用コイルを巻回して設ける。下部ステータの突極にロータの軸方向位置および回転制御を行なう下部軸方向位置・回転制御用コイルおよびロータの傾き制御を行なう下部傾き制御用コイルを巻回して設ける。上部軸方向位置・回転制御用コイルおよび上部傾き制御用コイルと下部軸方向位置・回転制御用コイルおよび下部傾き制御用コイルをロータの軸線方向に沿って対称的に配置する。上部ステータと下部ステータでロータの回転制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】大きな振動を受けることがなく、その結果、プロペラユニットの各部の摩耗を減らすことのできる船舶用のリムドライブ・プロペラユニットを提供すること。
【解決手段】本発明は、船舶用リムドライブ・プロペラユニットの軸受装置に係る。複数のプロペラ羽根を備えたプロペラユニットの回転ロータハウジングの周りに複数の永久磁石が配設され、回転ロータハウジングを格納した外部静止ケーシングの周りに複数の永久磁石が配設される。回転ロータハウジングおよび外部静止ケーシングの一部に配設された永久磁石が同じ極性をもって互いに上下に配置される一方、回転ロータハウジングおよび外部静止ケーシングの他の部分に配設された永久磁石は反対の極性をもって相互に対向することにより、ロータハウジングと静止ケーシングとが相互に反発し、また相互に引き合うことで、相互に接触しないように構成されている。 （もっと読む）

精密機器、そして、特に電磁モータの非接触軸受を作り出すための、ガス中の圧電超音波サスペンション。昇圧ガスマイクロフィルムが球状サドルと球状トラニオンの隣接する表面の間に形成される。前記球状トラニオンは、圧電振動子が励起されているとき、ガスマイクロフィルムによってサドルの前記球状表面から離れて間隔を空けられる。 （もっと読む）

【課題】回転軸と軸受が接触しても軸受の摩耗を最小限に抑えることができる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、回転軸２の外周面と対向するラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂを有する軸受ブロック１１と、回転軸２と軸受ブロック１１との間の軸受隙間に加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸受溝の深さのばらつきのない流体軸受およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】主ガイド部材３３には流体を流体軸受面３４に供給するための孔に、両端が開口している筒状部材３２が挿入されている。流体噴出口３０から加圧流体が流体軸受面に流出する。流体噴出口３０を含む近傍領域は軸受溝３１が形成されている。主ガイド部材３３と筒状部材３２は異種材料が用いられる。主ガイド部材３３と筒状部材３２の表面は陽極酸化処理がなされて薄膜が形成された構造となっている。主ガイド部材３３と筒状部材３２とが異種材料であることから、陽極酸化処理を行った場合、表面に形成される薄膜の膜厚が異なって形成される。陽極酸化処理により膜成長が速い材料をガイド部材１１に選択し、ガイド部材１１より遅い材料を筒状部材３２に選択する。 （もっと読む）

【課題】 発電部の構造を簡素化するとともに、１万回転数に及ぶ超高速回転を実現できる磁気浮上式回転体の回転推進装置を提供する。
【解決手段】 磁気浮上式回転体の回転推進装置において、発電部Ｂは、回転体中心部に配置されるアクリルパイプ７１と、このアクリルパイプ７１の外周部に配置されるスポンジリング７２と、このスポンジリング７２の外周に所定間隔で配置される４極の薄板状磁石７３と、緩衝用スポンジ７４と、アルミニウム管７５、そのアルミニウム管７５に所定間隔で８箇所に形成される穴７６とを備え、前記スポンジリング７２は、前記回転体のアルミニウム管７５の内部に配置され、多孔質によって推進気体を緩衝し、前記回転体自体が質量保存の法則とエネルギー保存の法則を基本としてセルフコントロールできる機能を有する。また、前記回転体には、前記推進気体を吹き付けるノズルとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 従来の永久磁石１０と鉄片等の磁性体１１を適切に組み合わせることで、強力な磁力を持つ集合磁石１の製造を実現し、これに伴い、磁石原料の使用量を減らしながら、磁力の強力な磁石を提供し、さらに、前記集合磁石を利用したマグネットカップリングを提供する。
【解決手段】 互いに反発する極性を向かい合わせた少なくとも２つの永久磁石１０の間に、前記永久磁石１０から発生する磁力を誘導するために任意の一方向に突出した磁力誘導部１３Aを設けた磁性体１１Aを挟み、前記永久磁石１０の外側から前記磁性体１１Aと同様の方向に磁力誘導部１３Bを設けた磁性体１１Bで挟み込んで固定し櫛歯状に構成した。 （もっと読む）