【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸３に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸３の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材４を有している。回転軸３の筒状部材４から大気側に延出する部分には、回転軸３より大径のフランジ部５が一体的に形成され、このフランジ部５に所定の隙間を存して囲うカバー部材６が配置されている。カバー部材６の内周面には、回転軸３の長手方向に沿う環状の２つの第２の加圧溝６１ａ，６１ｂが凹設されている。給気通路６２ａ，６２ｂと給気管６３ａ，６３ｂとコンプレッサー４８とが、第２の加圧溝６１ａ，６１ｂにベアリングガスを供給する第２のガス供給手段を構成する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの外径寸法を減少させることが可能であり、軽量化及び小型化が可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】ハウジング２内へ静圧気体軸受６により回転可能に支持されている回転軸４の一端側へ取り付けられ、且つタービン羽根１２を有する円板状のタービン部１０と、ハウジング２に形成され、且つタービン羽根１２へ向けて気体を噴出するためのタービンエア噴出用ノズル部２２を備え、ハウジング２は、軸方向の両端面のうちタービンエア噴出用ノズル部２２に近い側の端面である第一ハウジング端面２ａ側に形成された凹状溝２４と、タービンエア噴出用ノズル部２２と凹状溝２４とを連通するタービンエア供給用連通路２８を有し、凹状溝２４は、回転軸４の径方向及び軸方向から見て、タービン部１０と重ならない位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度な加工を安定して実現できる静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械を提供する
【解決手段】スピンドル１０と、このスピンドル１０を空気層を介して回転可能に支持したエアーベアリング機構と、増圧装置(５１，５２)および圧力レギュレータ５４を含み、圧力レギュレータ５４からの空気をエアーベアリング機構に供給するエアー供給手段５０と、スピンドルを回転させる回転駆動機構とを備えた静圧空気軸受スピンドル装置。増圧装置と圧力レギュレータとの間に、増圧装置からの空気の温度を制御して圧力レギュレータに供給する温度調整装置５３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】スラスト軸受を冷却可能とした回転電機を提供する。
【解決手段】主軸と、主軸のラジアル方向を軸支持するジャーナル軸受と、主軸のスラスト方向を軸支持するスラスト軸受と、主軸をジャーナル軸受およびスラスト軸受を介して支持するフレームと、を備え、スラスト軸受は、スラスト軸受を冷却するための冷却液を流す冷却液路が形成されている。また、主軸は、スラストフランジ部に対する負荷側を縮径させた縮径部が形成されており、縮径部側に配置された第２のスラスト軸受部に、主軸の縮径分に相当する拡幅部分を形成し、拡幅部分に冷却液路を形成するための冷却液路形成領域を形成している。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２ＳまたはウェットＣＯ_２を包含している腐食環境中で動作するに適したステータを提案する。
【解決手段】エアギャップによってローターから分離された複数の磁極片３８を有している加圧回転機械のためのジャケット付き電磁機械ステーターは、前記ステーターを前記腐食環境から保護するハーメチックシールエンクロージャーが、前記磁極片に合って配置された前記腐食環境に接触しない磁性体象眼３６Ｂを有している非磁性シリンダー３６Ａによって構成されたジャケットを有しており、前記ハーメチックシールエンクロージャーは、どんな熱処理にもさらされなかった溶接部によって互いに固定される非磁性体３６Ａで作られたパーツによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＩＰＭ型ベアリングレスモータにおける軸支持力の脈動を抑制する。
【解決手段】２極の電動機巻線と４極の軸支持巻線とが倦回された一つの固定子５と、鉄心１に永久磁石３が埋め込まれた回転子７と、を備えたＩＰＭ型ベアリングレスモータにおいて、前記回転子７の鉄心１に、軸支持力Ｆ_βが最大となる回転角度時に軸支持磁束が界磁磁束に干渉することにより磁束が強弱する場所に対応する永久磁石３の周囲に空隙４を形成する。これにより、軸支持磁束が最大となる回転角度における軸支持力Ｆ_βが小さくなり、軸支持力が最小となる回転角度における軸支持力Ｆ_βとほぼ同一の大きさとなるため、軸支持力Ｆ_βの脈動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】ロータの機器浮上時において、補助軸受に支えられた状態から基準位置までロータを段階的に浮上させるようにして、ロータの急激な浮上を防止した磁気軸受制御システムおよび磁気軸受制御方法を提供する。
【解決手段】ロータの上下に配置され通電によりロータを基準位置に磁気的に浮上させるコイルと、ロータの上下に配置されロータ位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器からの信号に基いて前記各コイルに電流指令を与えるサーボ制御器を備え、前記位置検出器からのロータ位置のフィードバックにより前記コイルへの通電を制御する磁気軸受制御システムにおいて、ロータの上下に配置されロータの磁気浮上前にロータを支える補助軸受と、ロータの磁気浮上時に、前記補助軸受の間でロータを上記基準位置まで段階的に浮上させるように前記サーボ制御器を制御する制御部を設けた。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受において、制御電流と合成電磁力の線形性を保ちつつ、電磁石のコイルで消費する電力を低減できるようにする。
【解決手段】複数の電磁石（24）を有し、負荷（Ld）が変動する駆動軸（13）に、該複数の電磁石（24）の合成電磁力（F）を付与するステータ（21）を設ける。負荷（Ld）とは逆方向の電磁力を発生する電磁石（24）のコイル（23）に流す第１コイル電流（IU）（上側コイル電流）と、負荷（Ld）と同方向の電磁力を発生する電磁石（24）のコイル（23）に流す第２コイル電流（IL）（下側コイル電流）との電流差を制御して駆動軸（13）の位置制御を行う制御部（30）を設ける。制御部（30）では、第２コイル電流（IL）の平均値が低下するように、第２コイル電流（IL）を逐次調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スピンドルモータに関する。
【解決手段】本発明によるスピンドルモータは、回転軸と、前記回転軸を収容して回転可能に支持する軸受と、軸受が内部に取付けられる軸受ホルダと、前記軸受ホルダの外径に積層されて取付けられたコア及び前記コアに巻線されたコイルからなる電機子と、前記電機子との電磁気力により回転するように、内部に磁石が取付けられ、前記回転軸の外径に取付けられるロータケースと、前記ロータケースに対向するように前記電機子または前記軸受ホルダに選択的に取付けられ、吸引力により前記ロータケースの浮上及び離脱を防止する電磁石と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転軸と軸受パッドとの接触面積が減少した場合においても、ポンプの許容油圧範囲内で回転軸を浮上させる。
【解決手段】回転軸の外周面に接触して回転軸との間で所定の接触範囲Ｅを形成する支持面を有する軸受パッド４と、軸受パット４と軸受ハウジングとの間に介在され、軸受パットを搖動可能に支持するピボットとを備えるジャーナル軸受において、支持面５の接触範囲Ｅの内側に、接触範囲Ｅの外縁に沿う環状の溝部８が形成され、この溝部に対して軸受パッド４内に穿設された給油孔９を介して高圧油を供給する高圧油供給手段をさらに備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル軸受としての性能を低下させることなくＪＯＰ機構を備えたジャーナル軸受。
【解決手段】回転軸Ｒの外周側に周方向に間隔をあけて複数が設置され、回転軸を外周側から支持する軸受パッド４と、互いに周方向に隣り合う軸受パッド４の間にそれぞれ設けられ、回転軸の外周面に対して潤滑油を供給する給油ノズル６，７とを備えるジャーナル軸受１において、複数の給油ノズルのうち回転軸Ｒの下方に位置する少なくとも一の給油ノズル６に、回転軸の停止時に回転軸の外周面に接触する接触面８が設けられ、給油ノズル６の内側に穿設された高圧油供給孔を介して潤滑油よりも圧力の大きい高圧油を接触面に供給する高圧油供給手段１１を備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】耐久性を確保しつつ、軽い操作力での開閉を可能にすることができる回転ユニットを提供すること。
【解決手段】回転ユニット１０に、鉛直方向に延在する軸部１２を有する軸側部材１１と、軸部１２が入り込む中空部２３を有すると共に、中空部２３に軸部１２が入り込んだ状態で相対回転可能に軸部１２を支持する支持側部材２１と、軸側部材１１における鉛直方向で支持側部材２１に対向する面に配設される軸側磁石１６と、対向面同士の極性が同じ極性で軸側磁石１６に対向するように支持側部材２１に配設される支持側磁石２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は十分な軸受剛性が得られるとともに、ヘリングボーンタイプの動圧発生溝で生じる結露の水分をストレートタイプの結露防止溝より排出して、結露した水分による影響の不具合の発生を効率よく阻止することができる空気動圧軸受および該空気動圧軸受を用いた送風機を得るにある。
【解決手段】 シャフトあるいはスリーブにヘリングボーンタイプの動圧発生溝を形成した空気動圧軸受において、前記へリングボーンタイプの動圧発生溝の圧力が高まり、空気が結露し易い部位の近傍で該動圧発生溝が形成されていてる側に少なくとも１本以上のストレートタイプの結露防止溝を形成して空気動圧軸受を構成している。 （もっと読む）

【課題】
機能性を損なうことなくターボ機械の製造費用を削減する。
【解決手段】
機械ハウジング（１）と、少なくとも１つのインペラ（３）を支持するロータシャフト（２）と、少なくとも１つの能動型磁気軸受（５Ａ，５Ｂ）を備える軸受装置と、少なくとも１つのギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）と、このギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）に接続された、能動型磁気軸受（５Ａ，５Ｂ）を制御するための制御機器（８）とを有するターボ機械であって、ギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）によって位置決定をするために、ロータシャフト（２）に、ギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）と協働するターゲット面（７Ａ，７Ｂ）が配設されている形式のものにおいて、ターゲット面（７Ａ，７Ｂ）として、ロータシャフト（２）のベース材料上に形成された銅層を設ける。 （もっと読む）

【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】電磁石の浮上制御電流には主にセンシングキャリア周波数より低い周波数の成分が含まれているので、電磁石電流からセンシングキャリア成分のみを抽出して増幅したとしても、位置検出用信号のＳＮ比を上げることは困難であった。
【解決手段】電磁石ＭＧの駆動信号中に混入されているセンシングキャリア成分を検出することにより被支持体１２と電磁石ＭＧとの距離ｘを検出するに際し、電磁石駆動回路６の電源端子間に接続されているバイパスコンデンサＣに流れるセンシングキャリア成分を検出する。このことにより、位置検出信号のＳＮ比を上げることができる。これは、高い周波数を持つセンシングキャリア成分は主にバイパスコンデンサＣから供給されるという点に着目したものである。 （もっと読む）