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Fターム[3J102CA05]の内容

その他の軸受(磁気軸受、静圧軸受等) (9,013) | 目的又は効果 (1,371) | 一般的な目的又は効果 (1,113) | 耐久性の向上 (131) | 密封性の向上又は防塵 (40)

Fターム[3J102CA05]に分類される特許

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【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸3に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸3の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材4を有している。回転軸3の筒状部材4から大気側に延出する部分には、回転軸3より大径のフランジ部5が一体的に形成され、このフランジ部5に所定の隙間を存して囲うカバー部材6が配置されている。カバー部材6の内周面には、回転軸3の長手方向に沿う環状の2つの第2の加圧溝61a,61bが凹設されている。給気通路62a,62bと給気管63a,63bとコンプレッサー48とが、第2の加圧溝61a,61bにベアリングガスを供給する第2のガス供給手段を構成する。 (もっと読む)


【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽21の開口22に筒状部材11を設け、筒状部材11と開口22に挿通した動力伝達軸12の先端を真空槽21内に挿入し、根本を真空槽21の外部に配置された動力源16に取り付ける。筒状部材11内周面の噴出装置17からベアリングガスを噴出し、筒状部材11と動力伝達軸12とを非接触にして動力源16を動作させて動力伝達軸12を直線移動と回転移動させる。噴出装置17と開口22との間に複数の排気溝を設け、真空槽21に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置15に接続する。開口22に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽21内を高真空雰囲気にすることができる。 (もっと読む)


【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽21の開口22に筒状部材11を設け、筒状部材11と開口22に挿通した動力伝達軸12の一端を真空槽21内に挿入し、他端を真空槽21の外部に配置された動力源16に取り付ける。筒状部材11内周面の噴出装置17からベアリングガスを噴出し、筒状部材11と動力伝達軸12とを非接触にする。真空槽21内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸12に真空槽21内に引き込む力がかかり、第二の板状部材32が球状部材33を介して第一の板状部材31に押しつけられ、動力伝達軸12は一定の向きに維持される。動力源16を動作させて動力伝達軸12を回転移動させると、動力伝達軸12は一定の向きに維持されたまま筒状部材11と接触せずに回転移動する。 (もっと読む)


【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部21が形成された第1ハウジング11と、第1開口部21と対向するように第2開口部22が形成された第2ハウジング12と、第1開口部21の周縁部に形成された第1挟持部32と、第2開口部22の周縁部に形成された第2挟持部33と、第1開口部21と第2開口部22との間に設けられ、第1挟持部21と第2挟持部22により周縁が挟持されたダイアフラム13と、第1開口部21に連通する流体導入路41と、第1開口部21に設けられた弁座45と、ダイアフラム13との弁座45との隙間43に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第1ハウジング11の第1挟持部32と弁座45は別体となっており、第1挟持部32は弁座45に取り付け又は取り外しが可能とした。 (もっと読む)


【課題】超高速回転でも長寿命と安全性を確保することができるスキャナモーターを提供する。
【解決手段】回転可能な軸支用回転軸140、及び回転軸140を回転可能に支持するために、上部に流体動圧軸系131が備えられ、下部に含油焼結軸系132が備えられた中空の円筒状ベアリング130を含む。また含油焼結軸系132と回転軸140の間の接触面が曲面であり、流体動圧軸系131の長さは含油焼結軸系132の長さより長いスキャナモーター。 (もっと読む)


【課題】定盤上の塵を簡単な構造で容易に除去する。
【解決手段】重量キャンセル装置40のベース41aの下面に取り付けられたベースパッド100では、軸受面106aから定盤12に向けて噴出する加圧空気が、コアンダ効果により軸受面106aに連続して形成された傾斜面107に沿って流れる。この際、定盤12上の塵Dがベルヌーイ効果により加圧気体に引きつけられ、その加圧気体とともに、定盤12から離れる方向に案内される。加圧気体は、フィルタ部材126で濾過されてベースパッド100外に排気される。ベースパッド100は、特別な吸引装置などを用いることなく、定盤上12の塵Dを吸引できるので構造が簡単である。 (もっと読む)


【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受2は、軸受本体3を備え、軸受本体3は、軸受面41を有する矩形板状に形成される板状部材4と、軸受面41の裏面42に取り付けられる矩形板状の蓋部材5とを備える。軸受面41には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面41の四辺に沿って形成される。軸受面41の裏面42には、溝部421が裏面42の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部421に連通し、蓋部材5にて溝部421を覆うことで排気用流路を構成する。 (もっと読む)


【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材AM11、AM12を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部JT12を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置BR12を有する。 (もっと読む)


【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸50が挿通される軸受孔7と、流体軸受2の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔9,10と、流体軸受2内で軸受孔7を外囲し、流体流入孔9,10に連通する流体流路11と、流体流路11を軸受孔7に連通させる流体絞り14,15と、を有し、流体流入孔9,10が複数設けられ、流体流路11が流体流入孔9,10に対応して複数の分割流体流路12,13に仕切られ、分割流体流路12,13にはそれぞれ少なくとも1つの流体絞り14,15が連通している。 (もっと読む)


【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙301に気体を供給する圧送部340と、間隙301から気体を圧送部340に帰還させる帰還部394とを備える。上記帰還部394は、圧送部340から間隙301に供給された気体が、間隙301から外部に向かって流れる過程で、間隙301から気体を帰還させてもよい。上記圧送部340および上記帰還部394は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部340は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部394は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 (もっと読む)


【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト11及びその周囲に取付けられた動翼12を有するロータ13と、ロータ13を囲むケーシング14及びケーシング14の内側に設けられた静翼15を有するステータ16と、シャフト11を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ10であり、軸受に超電導磁気軸受17、18が使用され、かつステータ16を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受17、18に用いる冷媒が使用されている。 (もっと読む)


【課題】可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供する。
【解決手段】支持ベース体21と、支持ベース体に対して相対移動可能な可動体22と、可動体の先端部に取付けられた工具15と、可動体を支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータ24と、可動体の位置を検出する位置検出手段25とを備え、可動マグネット型リニアモータは、可動体に配設されたマグネット構成体42と、支持ベース体に配設されたコイル41とを備え、マグネット構成体は、可動体の移動方向に間隔を有して配設された第1および第2の主マグネット51、52と、これら第1および第2の主マグネットの可動体の移動方向の両側に配設された第1および第2の補助マグネット53、54と、第1および第2の主マグネットの間に配設された第3の補助マグネット55とからなる。 (もっと読む)


軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第1および第2の構成要素を有し、それらは第1および第2のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第1および第2のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第1および第2のアキシャルすべり軸受表面が、第1の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第2のアキシャルすべり軸受表面は、第1の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
(もっと読む)


【課題】流体の漏出を抑制できる継手装置を提供する。
【解決手段】継手装置は、第1流路が形成された第1部材と、第2流路が形成され、第1部材とは異なる第2部材と、第1流路と第2流路とを導通させた状態で第1部材と第2部材とを回転可能に接続する支持部と、第1部材と第2部材との間に配置された気体軸受とを備えている。 (もっと読む)


【課題】減衰性や制御性を高めることができ、また、クリーンルーム等の環境で使用する装置類に好適な流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフト1と、シャフト1の外周に対して非接触状態の軸受2を備え、軸受2は、シャフト1の軸線方向における両側に、シャフト1の全周にわたって気体を供給する気体供給部3,3を備えると共に、両気体供給部3,3の間に、シャフト1の全周にわたって液体L1を供給する液体供給部4を備えた流体軸受装置としたことにより、気体による低摩擦機能に加え、液体の粘性によるダンパ機能を確保して減衰性や制御性を高めることができ、また、液体の漏出を阻止してクリーンルーム等の環境で使用する装置類に非常に好適なものとなった。 (もっと読む)


【課題】装置コストの増大を抑制しながらシール性能を高めた差動排気シール機構を有する静圧気体軸受スピンドルの提供。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸1と、軸受スリーブと、シールカバー10と、吸引ポンプ29、30とを備える。軸受スリーブは、回転軸1の外周面の一部を取り囲み、回転軸1の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することでジャーナル軸受を構成する。シールカバー10と回転軸1の外周面とが対向する領域では、シールカバー10の表面と回転軸1の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸1の外周面を周回する環状溝17が複数形成される。吸引ポンプ29、30は、環状溝17に管路としての配管31、32を介して接続される。管路は、複数の環状溝17と吸引ポンプ29、30とを接続するように途中で分岐点40を有している。 (もっと読む)


【課題】シール隙間への加工液の浸入を抑制することができる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルは、貫通孔28の形成された回転軸1を備える。また、静圧気体軸受を介して回転軸1を回転可能に支持するハウジング2を備える。また、貫通孔28の内部を減圧して、貫通孔28の一方の端部が開口するワークチャック面30にワークを吸着固定する、吸着機構を備える。カバー8には、貫通孔28の内部の圧力を変化させるための気体が流通する、通気口26が形成されている。回転軸1とハウジング7との間には、通気口26と静圧気体軸受とを隔てるシール隙間が形成されている。また、通気口26とシール隙間とが連通する通路に設けられており、貫通孔28の内部を通気口26側へ流れる液体のシール隙間への浸入を抑制する、液流抑制部をさらに備える。 (もっと読む)


電磁軸受を利用するターボ機械内にて軸及び関係したシールを位置決めする方法である。該方法は、電磁軸受の巻線に電力を印加して、軸の中心が第一の位置にあり、軸は、関係したシールと接触している。電磁軸受に対する電力を調節することにより、ターボ機械の通常の作動中に、軸がその中心合わせした位置にて回転するとき、シールが軸と非接触状態となる位置まで減少する振幅の一連の動きにて軸を動かすことにより、シールは、軸により操作することができる。軸の軸線が電磁軸受の軸線と実質的に同軸状となるとき、通常の作動中に、軸はその中心決めした位置にある。減少する振幅の一連の動きは、1つの以上の軸線の回りにて減少する振幅の揺動を含むことができ、又は軸を当初の位置すら最終位置まで動きさせる減少する振幅の半径を有するスパイラル状の回転を含むことができる。軸の動きは、電磁軸受の巻線に対する電力を調節することにより、実現される。 (もっと読む)


【課題】従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル1は、円筒状の形状を有する軸部12と、軸部12の一方の端部に接続され、被回転物を保持するためのテーブル11とを含む回転軸10と、軸部12の外周面を、回転軸10を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間51を隔てて取り囲む固定部40とを備えている。そして、軸受用気体は、テーブル11と固定部40との間に形成された隙間であるシール隙間93から排出される。 (もっと読む)


【課題】所望の特性を得ることのできる直動案内装置およびこれを備えた計測機器を提供する。
【解決手段】直動案内装置20は、直線状に延在し、摺動面4を有する案内レール1と、案内レール1に沿って相対的に移動可能であるように案内レール1に配置され、摺動面5を有するスライダ2と、案内レール1の摺動面4とスライダ2の摺動面5との間に介在する磁性流体3とを備えている。スライダ2の摺動面5に複数の磁極が形成されており、かつ案内レール1の摺動面4が非磁性体で形成されている。 (もっと読む)


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